前照式图像传感器制造技术

实用新型专利技术公开了前照式图像传感器，顶层金属层以及顶层金属层之间的若干凹槽区域；位于像素单元顶层金属层凹槽区域的嵌入式的彩色滤光膜层；在像素单元区域顶层金属层之间的凹槽区域形成嵌入式的彩色滤光膜层，从而降低前照式图像传感器不同像素单元之间的光学串扰，提高图像传感器的性能。

【技术实现步骤摘要】
前照式图像传感器
本技术涉及图像传感器领域，尤其涉及一种前照式图像传感器。
技术介绍
图像传感器是能够感受光学图像信息并将其转换成电学输出信号的传感器，是组成数字摄像头的重要组成部分。根据元件的不同，可分为CCD（ChargeCoupledDevice，电荷耦合元件）和CMOS（ComplementaryMetal-OxideSemiconductor，金属氧化物半导体元件）两大类。CMOS图像传感器具有工艺简单、易与其他器件集成、体积小、重量轻、功耗小、成本低等优点。因此，随着技术发展，CMOS图像传感器越来越多地取代CCD图像传感器应用于各类电子产品中。目前CMOS图像传感器已经广泛应用于静态数码相机、照相手机、数码摄像机、医疗用摄像装置（例如胃镜）、车用摄像装置等。CMOS图像传感器产品可分为FSI（FrontSideIllumination，前照式）和BSI（BackSideIllumination，背照式）。目前前照式图像传感器在光程路径的长度、相邻像素单元的串扰等性能问题上，需要进行优化，是业内亟待解决的问题。...

【技术保护点】
1.一种前照式图像传感器，其特征在于，其包括：/n顶层金属层以及顶层金属层之间的若干凹槽区域；/n位于像素单元顶层金属层凹槽区域的嵌入式的彩色滤光膜层。/n

【技术特征摘要】
1.一种前照式图像传感器，其特征在于，其包括：
顶层金属层以及顶层金属层之间的若干凹槽区域；
位于像素单元顶层金属层凹槽区域的嵌入式的彩色滤光膜层。


2.根据权利要求1述的前照式图像传感器，所述顶层金属层的厚度为：2000埃至6000埃。


3.根据权利要求1所述的前照式图像传感器，所述顶层金属层的顶面依次设置有：部分金属互联介质层、硬掩模层。

【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，李杰，付文，郑展，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31