石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟制造技术

本申请提供一种石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟，涉及晶硅太阳能电池生产制造技术领域。石墨舟卡点包括固定部以及设置在固定部两端的卡点部。其中，每个卡点部包括承载部以及卡接部。承载部与固定部连接，卡接部与承载部远离固定部的一端连接，卡接部面向固定部的一端的端面作为抵接面，抵接面、承载部的周壁以及固定部的端面共同限定卡槽，抵接面设有凹槽。通过上述石墨舟卡点能够保证在插入卡槽内的硅片被有效压紧固定，极大程度的降低巨型硅片与石墨舟片之间贴合不紧密出现的缝隙的问题，降低膜厚差别较大的问题的产生，同时减少由于氮化硅缺失的外观问题引起不良影响。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟
本申请涉及晶硅太阳能电池生产制造
，具体而言，涉及一种石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟。
技术介绍
传统晶硅太阳能电池基本上只采用正面钝化技术，在硅片正面用PECVD的方式沉积一层氮化硅，降低少子在前表面的复合速率，可以大幅度提升晶硅电池的开路电压和短路电流，从而提升晶硅太阳电池的光电转换效率。而现在普遍采用PERC技术，所以也在硅片的背面使用管式镀膜设备制备背面氧化铝和氮化硅叠层的钝化层，对硅片进行钝化。所以无论是背面还是正面镀膜都使用到了PECVD管式炉。石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜沉积的承载工具。石墨舟是由石墨舟片、导电块、陶瓷杆、石墨杆、陶瓷管、石墨螺母等组成。目前硅片的尺寸越来越大，行业内都开始布局大尺寸的硅电池，已经有大量公司开始制作巨型尺寸的电池，所以也有对应尺寸的PECVD管式镀膜设备。巨型尺寸硅片也即将成为未来大尺寸电池的一个方向，但是，巨型尺寸的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟卡点，其特征在于，包括固定部以及设置在所述固定部两端的卡点部；/n其中，每个所述卡点部包括：/n承载部，与所述固定部连接；以及/n卡接部，与所述承载部远离所述固定部的一端连接，所述卡接部面向所述固定部的一端的端面作为抵接面，所述抵接面、所述承载部的周壁以及所述固定部的端面共同限定卡槽，所述抵接面设有凹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟卡点，其特征在于，包括固定部以及设置在所述固定部两端的卡点部；
其中，每个所述卡点部包括：
承载部，与所述固定部连接；以及
卡接部，与所述承载部远离所述固定部的一端连接，所述卡接部面向所述固定部的一端的端面作为抵接面，所述抵接面、所述承载部的周壁以及所述固定部的端面共同限定卡槽，所述抵接面设有凹槽。


2.根据权利要求1所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述抵接面与所述凹槽的连接处圆滑过渡。


3.根据权利要求1所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述抵接面与所述卡接部的周壁的连接处圆滑过渡。


4.根据权利要求1-3任意一项所述的石墨舟卡点，其特征在于，所述卡接部由第一端向第二端延伸所得，所述抵接面为所述第一端的端面，所述卡接部的部分或全部自第一端向第二端逐渐扩张。


5.根据权利要求4所述的石墨舟卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢毅，周公庆，马志强，陈坤，王璞，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51