【技术实现步骤摘要】
一种气相化学沉积托盘装置
本专利技术涉及外延制作材料
，尤其涉及的是一种气相化学沉积托盘装置。
技术介绍
气相化学沉积（MOCVD）技术是利用金属有机化合物进行金属元素输运的一种气相外延新技术，通过将带有外延层元素的气态化合物输运至衬底上，在衬底上进行物理化学反应而获得单晶，这常被用于制备化合物半导体。能够进行大批量生产是MOCVD设备突出的优点，以气相状态输送金属元素这种方式可以达到很高的输运效率，这使得大面积、均匀的外延晶体生长成为了可能。采用气相化学沉积技术在衬底上进行外延生长的过程中，反应室的设计是非常关键的，目前主流方法是采用行星式旋转反应室。在行星式旋转反应室中，反应气体从腔室顶部中心位置注入到反应室内，沿轴向向下扩散到行星式托盘上。在高温条件下，反应气体在衬底表面反应成目标生长化合物并沉积在衬底表面。越靠近反应室中心，反应气流浓度和反应温度越高，外延生长速度越快，这将造成衬底外延生长厚度不均匀，而厚度均匀性是外延生长的重要指标。目前的行星式旋转反应器多采用衬底载板气悬浮式设计来保证均匀性，...
【技术保护点】
1.一种气相化学沉积托盘装置，其特征在于，包括中心轴（12）、行星托盘（1）、中心轴联动齿轮（4）、载板联动齿轮（5）、外延衬底载板（2）和载板旋转轴（3），所述中心轴联动齿轮（4）和载板联动齿轮（5）均安装在行星托盘（1）内并互相啮合传动，中心轴（12）一端穿入中心轴联动齿轮（4）的齿轮内孔中并与中心轴联动齿轮（4）一起联动旋转，载板旋转轴（3）的下端穿入载板联动齿轮（5）的齿轮内孔中并与载板联动齿轮（5）一起联动旋转，外延衬底载板（2）设置在载板旋转轴（3）的上端随载板旋转轴（3）一起联动旋转；外延衬底载板（2）设置在行星托盘（1）内，外延衬底载板（2）顶端与行星托盘（1）的顶端平齐。/n
【技术特征摘要】
1.一种气相化学沉积托盘装置，其特征在于，包括中心轴（12）、行星托盘（1）、中心轴联动齿轮（4）、载板联动齿轮（5）、外延衬底载板（2）和载板旋转轴（3），所述中心轴联动齿轮（4）和载板联动齿轮（5）均安装在行星托盘（1）内并互相啮合传动，中心轴（12）一端穿入中心轴联动齿轮（4）的齿轮内孔中并与中心轴联动齿轮（4）一起联动旋转，载板旋转轴（3）的下端穿入载板联动齿轮（5）的齿轮内孔中并与载板联动齿轮（5）一起联动旋转，外延衬底载板（2）设置在载板旋转轴（3）的上端随载板旋转轴（3）一起联动旋转；外延衬底载板（2）设置在行星托盘（1）内，外延衬底载板（2）顶端与行星托盘（1）的顶端平齐。
2.根据权利要求1所述的气相化学沉积托盘装置，其特征在于，还包括托盘旋转轴（6），所述托盘旋转轴（6）的一端穿入行星托盘（1）的内孔中与行星托盘（1）一起联动旋转，托盘旋转轴（6）通过外力驱动旋转；在托盘旋转轴（6）内开设有沿托盘旋转轴（6）长度方向贯穿整个托盘旋转轴（6）的中孔，所述中心轴（12）穿入中孔内，中心轴（12）的自旋转和托盘旋转轴（6）的自旋转互相独立。
3.根据权利要求2所述的气相化学沉积托盘装置，其特征在于，还包括托盘旋转齿轮（7），所述托盘旋转齿轮（7）设置在托盘旋转轴（6）上并与托盘旋转轴（6）一起联动旋转，驱动托盘旋转齿轮（7）旋转即可带动托盘旋转轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄星星，徐平，胡琅，侯立涛，冯杰，胡强，尤晶，侯少毅，方威，郭远军，李晓峰，
申请(专利权)人：佛仪科技佛山有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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