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本发明公开了一种气相化学沉积托盘装置，中心轴联动齿轮和载板联动齿轮均安装在行星托盘内并互相啮合传动，中心轴一端穿入中心轴联动齿轮的齿轮内孔中并与中心轴联动齿轮一起联动旋转，载板旋转轴下端穿入载板联动齿轮的齿轮内孔中并与载板联动齿轮一起联动旋...
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