一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统包括进样单元、检测单元与控制单元；所述检测单元与进样单元连接，在控制单元的控制下检测样品的色度、TMAH与CO

【技术实现步骤摘要】
一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统
本技术属于化学分析
，涉及一种四甲基氢氧化铵的检测系统，尤其涉及一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统。
技术介绍
四甲基氢氧化铵(TMAH)，结构分子式为(CH3)4NOH，分子量为91.15，是一种与苛性碱同等强度的强碱。由于其具有强碱性，同时加热分解后不残留任何物质，尤其是不留下可导电的离子物质，因此，TMAH在电子工业领域有着广泛的应用，例如，用作硅晶片制作中的清洗剂以及集成电路、液晶面板、印刷电路板的光刻显影液等。随着大规模集成电路的不断发展，对电子级TMAH的需求量日益增大，同时，对电子级TMAH的质量有了更高的要求。国内外市场上的TMAH产品包括工业级与电子级两大类，工业级与电子级的四甲基氢氧化铵的标准有很大不同。由于痕量碱金属都会影响到电路的操作，因此电子级四甲基氢氧化铵中的离子含量必须很低。目前，工业上制备电子级TMAH都是通过离子膜电解法来生产的，所用的原料主要有两种，一种是四甲基碳酸氢铵，另一种是四甲基氯化铵，四甲基碳酸氢铵电解生产TMAH时，产品中的杂质阴离子主要含有CO32-以及NO3-，四甲基氯化铵生产TMAH时，产品中的杂质阴离子主要含有Cl-与NO3-，电解四甲基碳酸氢铵为原料电解生产TMAH，有效的避免了产品中杂质Cl-的存在，因此工业生产中，通过四甲基碳酸氢铵进行离子膜电解生产电子级TMAH为主流方法。CN203429266U公开了一种电子级四甲基氢氧化铵的生产装置，原料进入电解槽之前首先通过阴、阳离子交换树脂塔进行脱除离子处理，然后进入离子膜电解槽进行电解，从阴极室出来的TMAH产品通过过滤器脱除颗粒杂质；CN103388155A公开了一种连续制备四甲基氢氧化铵的方法和装置；CN102206832A公开了一种电解槽较为复杂的双模三室双模电解槽来制备电子级四甲基氢氧化铵的方法；CN20452993U公开了一种制备四甲基氢氧化铵的电解装置，包括电解槽，包括电解槽、四甲基碳酸氢铵中间储罐、过滤器和产品储罐。上述现有技术均能够制备电子级TMAH，但缺乏对电子级TMAH产品的检测。GB/T-37403-2019规定的技术指标中，对电子级四甲基氢氧化铵产品的色度、TMAH的浓度、CO3-浓度、Cl-浓度、甲醇浓度、颗粒数以及锂、硼、钠、镁、铝、钾等离子的浓度都有严格的规定，其中对于电子级四甲基氢氧化铵的检测项目繁多，这就造成了对电子级四甲基氢氧化铵进行检测的方法较为繁琐，操作复杂。因此，提供一种操作简单且灵敏度高，能够对电子级四甲基氢氧化铵产品中各指标进行快速检测的装置，对于提高电子级四甲基氢氧化铵的检测效率具有重要的意义。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，所述检测系统能够对电子级四甲基氢氧化铵产品中的色度、TMAH与CO3-浓度、Cl-浓度、甲醇浓度、杂质离子浓度以及颗粒数进行检测，且操作简单、检测快速，能够提高电子级四甲基氢氧化铵产品的检测效率。为达到此技术目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供了一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统包括进样单元、检测单元与控制单元。所述检测单元包括色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置。所述进样单元的出口分别独立地与色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置连接。所述控制单元分别独立地与色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置连接，用于收集并分析所得检测结果。本技术所述进样单元将待检测电子级四甲基氢氧化铵样品分别独立地输送至色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置，从而实现对待检测电子级四甲基氢氧化铵样品的色度、TMAH与CO3-浓度、Cl-浓度、甲醇浓度、杂质离子浓度以及颗粒数进行同时检测，提高了检测效率。优选地，所述进样装置包括震荡装置、增压装置以及样品池；所述震荡装置用于震荡样品池；所述增压装置用于对样品池增压，使样品流出。本技术通过设置震荡装置，使放置于样品池内待测样品的各处成分均一，从而提高了检测的准确性；所述震荡装置为本领域常规震荡装置，包括超声震荡或机械振荡。本技术在此不对震荡装置的具体型号，以及震荡装置与样品池的连接关系做过多限定，只要使样品池能够震荡即可。优选地，所述增压装置设置于样品池的顶部，样品池的底部设置有出液口，样品池内的样品在增压装置的增压作用下流出样品池。所述增压装置用于增加样品池内部的压力，使样品池内的待测样品在压力作用下流出；例如，所述增压装置与样品池形成类似于针筒的结构，增压装置作为“针筒的活塞”，推动样品池内的待测样品由出液口流出样品池。优选地，所述样品池包括高密度聚乙烯样品池、聚丙烯样品池或聚四氟乙烯样品池中的任意一种。本技术所述高密度聚乙烯样品池、聚丙烯样品池或聚四氟乙烯样品池包括由高密度聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯制备得到的样品池，或，内衬有高密度聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯材料的样品池。高密度聚乙烯的化学稳定性好，在室温条件下，不溶于任何有机溶剂，耐酸、碱和各种盐类的腐蚀；聚丙烯能够在80℃下耐酸、碱、盐业及多种有机溶剂的腐蚀；聚四氟乙烯具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，且几乎不溶于所有的溶剂。使用高密度聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯作为样品池的材料，能够提高样品池的使用寿命，从而保证所述电子级四甲基氢氧化铵检测系统能够长期稳定地运行。优选地，所述进样装置还包括多通道液体分配器，样品池的出液口与多通道液体分配器的进液口连接，多通道液体分配器的出液口分别独立地通过出样管道与色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置连接。本技术通过多通道液体分配器的设置，使由样品池流出的待测样品分别定量地流入色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置连接。所述多通道样品分配器的设置简化了进液操作，提高了待测样品流入各检测单元的效率，进而提高了电子级四甲基氢氧化铵产品的检测效率。本技术所述“多通道液体分配器”中的“多通道”是指液体分配器包括至少6个出液口，从而使所述多通道液体分配器能够分别独立地与色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置连接。从节约设备成本以及减少所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统所占空间的角度考虑，所述多通道液体分配器为6通道液体分配器。...

【技术保护点】
1.一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，其特征在于，所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统包括进样单元、检测单元与控制单元；/n所述检测单元包括色度检测装置、TMAH与CO

【技术特征摘要】
1.一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，其特征在于，所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统包括进样单元、检测单元与控制单元；
所述检测单元包括色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置；
所述进样单元的出口分别独立地与色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置连接；
所述控制单元分别独立地与色度检测装置、TMAH与CO3-浓度检测装置、Cl-浓度检测装置、甲醇浓度检测装置、杂质离子浓度检测装置以及颗粒数检测装置连接，用于收集并分析所得检测结果。


2.根据权利要求1所述的电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，其特征在于，所述进样装置包括震荡装置、增压装置以及样品池；
所述震荡装置用于震荡样品池；所述增压装置用于对样品池增压，使样品流出。


3.根据权利要求2所述的电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，其特征在于，所述增压装置设置于样品池的顶部，样品池的底部设置有出液口，样品池内的样品在增压装置的增压作用下流出样品池。


4.根据权利要求2或3所述的电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，其特征在于，所述样品池包括高密度聚乙烯样品池、聚丙烯样品池或聚四氟乙烯样品池中的任意一种。


5.根据权利要求4所述的电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，其特征在于，所述进样装置还包括多通道液体分配器，样品池的...

【专利技术属性】
技术研发人员：白芳，华超，
申请(专利权)人：中科廊坊过程工程研究院，中国科学院过程工程研究所，
类型：新型
国别省市：河北;13