与光学微机电系统装置一起使用的成像技术制造方法及图纸

一个光学ＭＥＭＳ装置以有效地组合每个第一和第二光学装置的至少一个微反射镜的倾斜角的方式成像到第二光学ＭＥＭＳ装置所在的一个不同的位置。该成像系统可以复制来自第一微反射镜的光的反射角。这可以使用一个远心系统，也称为４ｆ系统作为该成像系统实现。通过压缩光路，例如，使用合适的常规反射镜，和／或使用折叠装置，即仅有一个ＭＥＭＳ装置部件，具有通过使用至少一个常规反射镜进行输入和输出的双重任务的装置，可以减小该装置的实际尺寸。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学微机电系统(MEMS)装置的技术，并且尤其涉及使用MEMS装置的全光学开关。
技术介绍
全光学开关的一个解决方案使用两个MEMS装置，每个包括一个可倾斜微反射镜如小反射镜阵列，能够反射光，这里是指感兴趣波长的任何辐射，无论其是否位于可见光谱。通过使用第一光学MEMS装置上的与输入光纤相连的第一微反射镜使光转向与输出光纤相连的第二光学MEMS装置上的第二微反射镜，为从一个输入源如光纤到一个输出如输出光纤的光建立一条光路。然后第二微反射镜使光转向输出光纤。与系统相连的每个光纤看作系统的一个端口，输入光纤为输入端口，输出光纤为输出端口。使用MEMS装置的全光学开关技术的一个问题是，为了增加系统中的端口数，即光纤数，需要增加用于执行开关功能的微反射镜数。在如上所述的现有技术中，第一光学MEMS装置包括结合在其上的所有第一微反射镜，第二光学MEMS装置包括结合在其上的所有第二微反射镜。由于光学MEMS装置的尺寸是光学MEMS装置上的微反射镜数的正函数，并且所需的微反射镜数与全光学开关中可用的最大端口数成正比，因此增加全光学开关中可用的最大端口数需要使用一个更大的光学MEM本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学开关，包括 第一微机电系统（ＭＥＭＳ）装置，包含第一数量的微反射镜； 第二微机电系统（ＭＥＭＳ）装置，包含第二数量的微反射镜；以及 第一成像系统，光学耦合到所述第一ＭＥＭＳ装置，使得在所述第二ＭＥＭＳ装置的一个对应微反射镜上产生所述第一ＭＥＭＳ装置的每个所述微反射镜的像； 由此所述第一ＭＥＭＳ装置的至少一个所述微反射镜与所述第二ＭＥＭＳ装置的至少一个所述微反射镜成组，使得从所述第一ＭＥＭＳ装置的所述至少一个成组的微反射镜的反射角与从所述第二ＭＥＭＳ装置的所述至少一个成组的微反射镜的反射角组合，以产生所述组的一个总有效角。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：戴维T尼尔森，罗兰德赖夫，
申请(专利权)人：朗迅科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]