与光学MEMS装置一起使用的成像技术制造方法及图纸

使用成像系统对光学ＭＥＭＳ装置进行成像，以便组合实际的一或多个其它光学ＭＥＭＳ装置或其所成的像，形成具有所组合的每个光学ＭＥＭＳ装置大小的单个虚光学ＭＥＭＳ装置。通过使光路紧凑，例如使用适当的传统反射镜，和／或采用折叠式设置，即在折叠式设置中通过使用至少一个传统的反射镜，仅一个ＭＥＭＳ装置台实现用于输入和输出的双重功能，可以减小该装置的实际尺寸。该成像系统可以再现光从微反射镜反射的反射角，例如使用远心光路系统。可以采用棱镜对准多个光学ＭＥＭＳ装置或其像。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学微机电系统(MEMS)装置
，更准确地说，涉及使用MEMS装置的全光学开关。
技术介绍
全光学开关的一种解决方法是采用两个MEMS装置，每个MEMS装置包括一可倾斜的微反射镜阵列，例如能反射光的小反射镜，此处的光指任何感兴趣波长的辐射，无论是否在可见光谱内。通过使用第一光学MEMS装置上与输入光纤有关的第一微反射镜，将光引导到第二光学MEMS装置上与输出光纤有关的第二微反射镜上，对于从输入源(例如光纤)提供给输出端(例如输出光纤)的光建立光路。然后，第二微反射镜将光引导到输出光纤中。认为与系统连接的每个光纤为该系统的一个端口，输入光纤为输入端口，输出光纤为输出端口。使用MEMS装置的全光学开关技术中的一个问题是为了增加系统中端口的数量，即光纤的数量，必须增加所采用的执行切换功能的微反射镜的数量。在现有技术中，如上所述，第一光学MEMS装置包含所有集成在其上的第一微反射镜，第二光学MEMS装置包括所有集成在其上的第二微反射镜。由于光学MEMS装置的尺寸直接随光学MEMS装置上微反射镜的数量而变化，并且所需要的微反射镜的数量恰好正比于全光学开关中可用的最大端口数本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学开关，包括： 包含第一数量微反射镜的ＭＥＭＳ装置； 包含第二数量微反射镜的ＭＥＭＳ装置；以及 一第一成像系统，以其一个光学端与上述第一ＭＥＭＳ装置光学耦合，以便在所述成像系统的与设置上述第一ＭＥＭＳ装置的所述光学端相对的光学端产生上述第一ＭＥＭＳ装置的像； 其中： （ｉ）所述第一ＭＥＭＳ装置的所述图像和 （ｉｉ）由ａ）所述第二ＭＥＭＳ装置和（ｂ）所述第二ＭＥＭＳ装置的像组成的组中至少一个形成一虚ＭＥＭＳ装置，其具有等于所述第一和第二数量之和的微反射镜数量。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：兰迪C吉尔斯，戴维T尼尔森，罗兰德赖夫，
申请(专利权)人：朗迅科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]