显示装置、显示模块、电子设备及显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术是一种包括第一绝缘层、第二绝缘层、第一晶体管、第二晶体管、第一发光二极管、第二发光二极管以及颜色转换层的显示装置。第一绝缘层位于第一晶体管及第二晶体管上。第一发光二极管及第二发光二极管位于第一绝缘层上。颜色转换层位于第二发光二极管上。颜色转换层具有将第二发光二极管所发射的光转换为波长更长的光的功能。第一晶体管及第二晶体管各自包括金属氧化物层及栅电极。金属氧化物层具有沟道形成区域。栅电极的顶面的高度与第二绝缘层的顶面的高度一致或大致一致。

【技术实现步骤摘要】
显示装置、显示模块、电子设备及显示装置的制造方法
本专利技术的一个方式涉及一种显示装置、显示模块、电子设备及它们的制造方法。注意，本专利技术的一个方式不局限于上述
作为本专利技术的一个方式的
的例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如，触摸传感器等)、输入输出装置(例如，触摸面板等)、它们的驱动方法或它们的制造方法。
技术介绍
近年来，已提出了将微型发光二极管(MicroLED(LightEmittingDiode))用于显示元件的显示装置(例如，专利文献1)。将微型LED用于显示元件的显示装置具有高亮度、高对比度、长使用寿命等优点，因此作为新一代显示装置，对其的研究开发非常活跃。[专利文献1]美国专利申请公开第2014/0367705号说明书
技术实现思路
在将微型LED用于显示元件的显示装置中，LED芯片的安装所需要的时间极长，所以制造成本的缩减是要解决的课题。例如，在取放方式中，在不同的晶片上分别制造红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的LED，逐一切割出LED，并将其安装于电路板上。因此，显示装置的像素数越多，要安装的LED的个数越多，所以安装所需要的时间变长。此外，显示装置的分辨率越高，安装LED的难易度越高。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种分辨率高的显示装置。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种显示质量高的显示装置。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种低功耗的显示装置。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。本专利技术的一个方式的目的之一是缩减将微型LED用于显示元件的显示装置的制造成本。本专利技术的一个方式的目的之一是以高成品率制造将微型LED用于显示元件的显示装置。注意，上述目的的描述并不妨碍其他目的的存在。本专利技术的一个方式不一定需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。本专利技术的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一绝缘层、第二绝缘层、第一晶体管、第二晶体管、第一发光二极管、第二发光二极管及颜色转换层。第一晶体管与第一发光二极管电连接。第二晶体管与第二发光二极管电连接。第一绝缘层位于第一晶体管及第二晶体管上。第一发光二极管及第二发光二极管位于第一绝缘层上。颜色转换层位于第二发光二极管上。颜色转换层被构成为将第二发光二极管所发射的光转换为波长更长的光。第一晶体管及第二晶体管各自包括金属氧化物层及栅电极。金属氧化物层具有沟道形成区域。栅电极的顶面的高度与第二绝缘层的顶面的高度一致或大致一致。第一晶体管优选还包括栅极绝缘层、第一导电层及第二导电层。金属氧化物层具有与第一导电层重叠的第一区域、与第二导电层重叠的第二区域以及第一区域和第二区域之间的第三区域。第一导电层及第二导电层在金属氧化物层上互相分开。第二绝缘层位于第一导电层及第二导电层上。第二绝缘层具有与第三区域重叠的开口。栅极绝缘层位于开口的内侧并与第二绝缘层的侧面及第三区域的顶面重叠。栅电极位于开口的内侧并隔着栅极绝缘层与第二绝缘层的侧面及第三区域的顶面重叠。本专利技术的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一绝缘层、第二绝缘层、第一导电层、第二导电层、第一晶体管、第二晶体管、第一发光二极管、第二发光二极管及颜色转换层。第一晶体管通过第一导电层与第一发光二极管电连接。第二晶体管通过第二导电层与第二发光二极管电连接。第一绝缘层位于第一晶体管及第二晶体管上。第一发光二极管及第二发光二极管位于第一绝缘层上。第一发光二极管包括与第一导电层接触的第一电极。第二发光二极管包括与第二导电层接触的第二电极。第一电极的顶面的高度及第二电极的顶面的高度与第二绝缘层的顶面的高度一致或大致一致。颜色转换层位于第二发光二极管上。颜色转换层被构成为将第二发光二极管所发射的光转换为波长更长的光。第一晶体管及第二晶体管各自包括金属氧化物层。金属氧化物层具有沟道形成区域。颜色转换层优选与第二发光二极管接触。另外，优选的是，本专利技术的一个方式的显示装置还包括第二发光二极管和颜色转换层之间的第三绝缘层，颜色转换层与该第三绝缘层接触。第一发光二极管及第二发光二极管各自优选为微型发光二极管。第一发光二极管及第二发光二极管各自优选发射蓝色光。优选的是，第一晶体管和第二晶体管具有沟道长度和沟道宽度的一方或双方彼此不同的结构。本专利技术的一个方式的显示装置优选还包括驱动电路及第四绝缘层。优选的是，驱动电路包括电路晶体管，电路晶体管在半导体衬底中具有沟道形成区域，半导体衬底隔着第四绝缘层与第一晶体管、第二晶体管、第一发光二极管及第二发光二极管重叠。本专利技术的一个方式的显示装置优选还包括颜色转换层上的着色层。此时，第二发光二极管所发射的光优选经过颜色转换层及着色层而被提取到显示装置的外部。本专利技术的一个方式是一种包括具有上述任何结构的显示装置的模块，该模块安装有柔性印刷电路板(Flexibleprintedcircuit，以下记为FPC)或TCP(TapeCarrierPackage：带载封装)等连接器或者利用COG(ChipOnGlass：玻璃覆晶封装)方式或COF(ChipOnFilm：薄膜覆晶封装)方式等安装有集成电路(IC)。本专利技术的一个方式是一种包括上述模块、天线、电池、框体、照相机、扬声器、麦克风及操作按钮中的至少一个的电子设备。本专利技术的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在第一衬底上以矩阵状形成多个晶体管；在第二衬底上以矩阵状形成多个发光二极管；在第一衬底或第二衬底上形成与多个晶体管中的至少一个或者多个发光二极管中的至少一个电连接的第一导电体；以通过第一导电体使多个晶体管中的至少一个和多个发光二极管中的至少一个电连接的方式贴合第一衬底和第二衬底；通过剥离第二衬底使第一面露出；以及在第一面上形成颜色转换层，颜色转换层与多个发光二极管中的至少一个重叠，在形成多个晶体管的工序中至少进行一次平坦化处理。多个发光二极管中的至少一个优选是微型发光二极管。多个晶体管中的至少一个优选在沟道形成区域中包括金属氧化物。根据本专利技术的一个方式，可以提供一种分辨率高的显示装置。根据本专利技术的一个方式，可以提供一种显示质量高的显示装置。根据本专利技术的一个方式，可以提供一种低功耗的显示装置。根据本专利技术的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置。根据本专利技术的一个方式，可以缩减将微型LED用于显示元件的显示装置的制造成本。根据本专利技术的一个方式，可以以高成品率制造将微型LED用于显示元件的显示装置。注意，上述效果的描述并不妨碍其他效果的存在。本专利技术的一个方式不一定需要具有所有上述效果。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述效果以外的效果。附图说明图1是示出显示装置的例子的图；图2A至图2C是示出显示装置的制造方法的例子的图；图3A及图3B是示出显示装置的制造方法的例子的图；图4A及图4B是示出显示装置的制造方法的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置，包括：/n第一绝缘层；/n第二绝缘层；/n第一晶体管；/n第二晶体管；/n第一发光二极管；/n第二发光二极管；以及/n颜色转换层，/n其中，所述第一晶体管与所述第一发光二极管电连接，/n所述第二晶体管与所述第二发光二极管电连接，/n所述第一绝缘层位于所述第一晶体管及所述第二晶体管上，/n所述第一发光二极管及所述第二发光二极管位于所述第一绝缘层上，/n所述颜色转换层位于所述第二发光二极管上，/n所述颜色转换层被构成为将所述第二发光二极管所发射的光转换为波长更长的光，/n所述第一晶体管及所述第二晶体管各自包括金属氧化物层及栅电极，/n所述金属氧化物层具有沟道形成区域，/n并且，所述栅电极的顶面的高度与所述第二绝缘层的顶面的高度一致或大致一致。/n

【技术特征摘要】
20190621 JP 2019-1152981.一种显示装置，包括：
第一绝缘层；
第二绝缘层；
第一晶体管；
第二晶体管；
第一发光二极管；
第二发光二极管；以及
颜色转换层，
其中，所述第一晶体管与所述第一发光二极管电连接，
所述第二晶体管与所述第二发光二极管电连接，
所述第一绝缘层位于所述第一晶体管及所述第二晶体管上，
所述第一发光二极管及所述第二发光二极管位于所述第一绝缘层上，
所述颜色转换层位于所述第二发光二极管上，
所述颜色转换层被构成为将所述第二发光二极管所发射的光转换为波长更长的光，
所述第一晶体管及所述第二晶体管各自包括金属氧化物层及栅电极，
所述金属氧化物层具有沟道形成区域，
并且，所述栅电极的顶面的高度与所述第二绝缘层的顶面的高度一致或大致一致。


2.根据权利要求1所述的显示装置，
其中所述第一晶体管还包括栅极绝缘层、第一导电层及第二导电层，
所述金属氧化物层具有与所述第一导电层重叠的第一区域、与所述第二导电层重叠的第二区域以及所述第一区域和所述第二区域之间的第三区域，
所述第一导电层及所述第二导电层在所述金属氧化物层上互相分开，
所述第二绝缘层位于所述第一导电层及所述第二导电层上，
所述第二绝缘层具有与所述第三区域重叠的开口，
所述栅极绝缘层位于所述开口的内侧并与所述第二绝缘层的侧面及所述第三区域的顶面重叠，
并且所述栅电极位于所述开口的内侧并隔着所述栅极绝缘层与所述第二绝缘层的所述侧面及所述第三区域的所述顶面重叠。


3.根据权利要求1所述的显示装置，
其中所述颜色转换层与所述第二发光二极管接触。


4.根据权利要求1所述的显示装置，还包括第三绝缘层，
其中所述第三绝缘层位于所述第二发光二极管和所述颜色转换层之间，
并且所述颜色转换层与所述第三绝缘层接触。


5.根据权利要求1所述的显示装置，
其中所述第一发光二极管及所述第二发光二极管各自为微型发光二极管。


6.根据权利要求1所述的显示装置，
其中所述第一发光二极管及所述第二发光二极管各自发射蓝色光。


7.根据权利要求1所述的显示装置，
其中所述第一晶体管和所述第二晶体管的沟道长度和沟道宽度的一方或双方彼此不同。


8.根据权利要求1所述的显示装置，还包括驱动电路及第四绝缘层，
其中所述驱动电路包括电路晶体管，
所述电路晶体管在半导体衬底中具有沟道形成区域，
并且所述半导体衬底隔着所述第四绝缘层与所述第一晶体管、所述第二晶体管、所述第一发光二极管及所述第二发光二极管重叠。


9.根据权利要求1所述的显示装置，还包括着色层，
其中所述着色层位于所述颜色转换层上，
并且所述第二发光二极管所发射的所述光经过所述颜色转换层及所述着色层而被提取到所述显示装置的外部。


10.一种显示模块，包括：
权利要求1所述的显示装置；以及
连接器或集成电路。


11.一种电子设备，包括：
权利要求10所述的显示模块；以及
天线、电池、框体、照相机、扬声器、麦克风及操作按钮中的至少一个。


12.一种显示装置，包括：
第一绝缘层；
第二绝缘层；
第一导电层；
第二导电层；
第一晶体管；
第二晶体管；
第一发光二极管...

【专利技术属性】
技术研发人员：楠纮慈，江口晋吾，池田隆之，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：日本;JP