显示面板的制备方法及显示面板技术

技术编号:26768779 阅读:16 留言:0更新日期:2020-12-18 23:46
本揭示实施例提供一种显示面板的制备方法及显示面板,显示面板包括衬底基板、第一金属层、绝缘层及有源层、第二金属层、以及钝化层,其中,显示面板的绑定区对应的钝化层还包括过孔结构,过孔结构对应的第二金属层的表面材料为第三金属材料,在制备时直接通入还原物质使第二金属层表面还原形成第三金属材料。从而减少了光罩使用次数,简化了生产工艺并降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
显示面板的制备方法及显示面板
本揭示涉及面板显示
,尤其涉及一种显示面板的制备方法及显示面板。
技术介绍
随着显示技术的不断发展,各显示器件对显示面板的质量及性能均提出了越来越高的要求。与传统的显示面板相比,发光二极管(LightEmittingDiode,LED)液晶显示面板由于具有低的功耗、优异的画面品质以及较高的生产良率等性能,目前已经逐渐占据了显示领域的主导地位。LED液晶显示屏在制备过程中,需要经过多次的涂布、曝光、显影等制备工艺处理。现有的生产工艺中,在进行光罩蚀刻处理时,一般需要经过5道光罩工艺制程处理,光罩次数较多,使得生产工艺复杂,同时生产成本较高。综上所述,现有的显示面板制备工艺过程中,采用的光罩工艺制程较多,较多的光罩处理不利于生产工艺的简化,同时还提高了显示面板的生产成本。
技术实现思路
本揭示实施例提供一种显示面板的制备方法及显示面板,以解决现有的显示面板制备工艺中,光罩工艺制程中光罩次数较多,以及显示面板的生产成本较高的问题。为解决上述技术问题,本揭示实施例提供的技术方案如下:根据本揭示实施例的第一方面,提供了一种显示面板的制备方法,所述显示面板包括显示区和非显示区,其特征在于,包括如下步骤:S100:在衬底基板上制备第一金属层,并对所述第一金属层进行图案化处理,形成间隔的第一电极、栅极和第二电极,所述第一电极位于所述非显示区,所述栅极、所述第二电极位于所述显示区;S101:在所述衬底基板上沉积绝缘层和有源层,并对所述绝缘层和所述有源层进行图案化处理,形成第一过孔和第二过孔,所述第一过孔贯穿所述绝缘层和所述有源层,以将所述第一电极露出,所述第二过孔贯穿所述绝缘层和所述有源层,以将所述第二电极露出;S102:在所述衬底基板上沉积第二金属层,并对所述第二金属层进行图案化处理,形成源极、漏极、第三电极和第四电极,所述源极和所述漏极设置在所述栅极上,所述第三电极通过所述第一过孔连接所述第一电极,所述第四电极通过所述第二过孔连接所述第二电极;S103:在所述衬底基板上沉积钝化层,并对所述钝化层进行图案化处理,形成第三过孔和第四过孔,所述第三过孔贯穿所述所钝化层,以将所述第三电极露出;所述第四过孔贯穿所述钝化层,以将所述第四电极露出;S104:在高温下通入还原物质,使所述第三过孔对应的所述第三电极和所述第四过孔对应的第四电极发生还原反应,并在所述第三电极和所述第四电极表面形成第三金属层。根据本揭示一实施例,所述还原物质包括还原性气体,所述还原性气体包括CO、H2。根据本揭示一实施例,对所述衬底基板加热,同时在100℃~210℃温度下通入还原物质并加热。根据本揭示一实施例,所述步骤S104中,所述还原物质包括还原性液体,所述还原性液体包括乙醇。根据本揭示一实施例,在200℃温度下,在所述第三过孔相对的所述第三电极和所述第四过孔相对的所述第四电极的表面涂布所述乙醇。根据本揭示一实施例,将所述显示面板的所述第三电极和所述第四电极加热到200℃,并在所述第三电极和所述第四电极表面涂布所述乙醇。根据本揭示一实施例,还包括步骤:将所述显示面板的外围线路与所述第三过孔对应的第三电极进行绑定,并完成所述显示面板的制备。根据本揭示一实施例,所述步骤S104中,所述第三电极和所述第四电极的材料包括CuO,所述CuO与所述还原物质发生反应还原形成所述第三金属层Cu。根据本揭示实施例的第二方面,还提供一种显示面板,所述显示面板包括显示区域和非显示区域,其特征在于,包括:衬底基板;第一金属层,所述第一金属层设置在所述衬底基板上;绝缘层及有源层,所述绝缘层设置在所述衬底基板上,所述有源层设置在所述绝缘层上;第二金属层,所述第二金属层设置在所述有源层上;以及钝化层,所述钝化层设置在所述第二金属层上;其中,所述显示面板还包括设置在所述非显示区域的第一过孔和第三过孔以及设置在所述显示区域的第二过孔和第四过孔,所述第一金属层包括第一电极和第二电极,所述第二金属层包括第三电极和第四电极,所述第一电极通过所述第一过孔与所述第三电极连接,所述第二电极通过所述第二过孔与所述第四电极连接,且所述第三过孔相对的所述第三电极和所述第四过孔相对的所述第四电极的表面为第三金属层。根据本揭示一实施例,所述第三金属层材料为金属Cu。综上所述,本揭示实施例的有益效果为:本揭示实施例提供一种显示面板的制备方法及显示面板,通过在显示面板的钝化层上设置开孔结构,同时在高温下对显示面板的衬底进行热处理,在热处理过程中通入还原性物质,使过孔结构对应的第二金属层发生还原反应,使金属氧化物还原形成金属单质材料。进而在第二金属层表面形成金属单质材料,在进行绑定时,可直接将外围线路与所述金属单质材料连接,从而提高了线路之间的接触效果,并减少了显示面板的制备工艺中的光罩次数,简化了生产工艺流程,降低了成本。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是揭示的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本揭示实施例提供的显示面板的膜层结构示意图;图2为本揭示实施例中显示面板的制备工艺流程示意图;图3-6为本揭示实施例提供的显示面板的制备工艺对应的各膜层结构示意图;图7为本揭示实施例提供的显示面板的处理过程示意图。具体实施方式下面将结合本揭示实施例中的附图,对本揭示实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本揭示一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本揭示中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本揭示保护的范围。显示面板在制备时需要经过多道次的光罩进行处理,光罩处理的次数越多,对显示面板内的各膜层的影响就越大,同时,多道次的光罩处理还进一步增加了显示面板的制造成本。现有的制备技术中,显示面板往往需要经过5道光罩蚀刻的处理,制备工艺较复杂,不利于显示面板综合性能的提高。如图1所示,图1为本揭示实施例提供的显示面板的膜层结构示意图。本揭示实施例中,显示面板包括显示区域和与显示区域相邻的非显示区域,具体的非显示区域包括第一绑定区10、显示区域包括薄膜晶体管区11以及第二绑定区12,第一绑定区10与薄膜晶体管区11相邻,第二绑定区12与薄膜晶体管区11相邻。其中,第一绑定区10可为显示面板的边框区域,在绑定时,设置在显示面板的第一绑定区10内的金属层与覆晶薄膜电连接。薄膜晶体管区11内设置多个薄膜晶体管,可为显示面板的主显示区域。进一步的,显示面板还包括衬底基板100、绝缘层101、第一金属层102以及有源层103。其中,绝缘层101设置在衬底基板100上,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板的制备方法,所述显示面板包括显示区和非显示区,其特征在于,包括如下步骤:/nS100:在衬底基板上制备第一金属层,并对所述第一金属层进行图案化处理,形成间隔的第一电极、栅极和第二电极,所述第一电极位于所述非显示区,所述栅极、所述第二电极位于所述显示区;/nS101:在所述衬底基板上沉积绝缘层和有源层,并对所述绝缘层和所述有源层进行图案化处理,形成第一过孔和第二过孔,所述第一过孔贯穿所述绝缘层和所述有源层,以将所述第一电极露出,所述第二过孔贯穿所述绝缘层和所述有源层,以将所述第二电极露出;/nS102:在所述衬底基板上沉积第二金属层,并对所述第二金属层进行图案化处理,形成源极、漏极、第三电极和第四电极,所述源极和所述漏极设置在所述栅极上,所述第三电极通过所述第一过孔连接所述第一电极,所述第四电极通过所述第二过孔连接所述第二电极;/nS103:在所述衬底基板上沉积钝化层,并对所述钝化层进行图案化处理,形成第三过孔和第四过孔,所述第三过孔贯穿所述所钝化层,以将所述第三电极露出;所述第四过孔贯穿所述钝化层,以将所述第四电极露出;/nS104:在高温下通入还原物质,使所述第三过孔处对应的所述第三电极和所述第四过孔处对应的第四电极发生还原反应,并在所述第三电极和所述第四电极表面形成第三金属层。/n...

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制备方法,所述显示面板包括显示区和非显示区,其特征在于,包括如下步骤:
S100:在衬底基板上制备第一金属层,并对所述第一金属层进行图案化处理,形成间隔的第一电极、栅极和第二电极,所述第一电极位于所述非显示区,所述栅极、所述第二电极位于所述显示区;
S101:在所述衬底基板上沉积绝缘层和有源层,并对所述绝缘层和所述有源层进行图案化处理,形成第一过孔和第二过孔,所述第一过孔贯穿所述绝缘层和所述有源层,以将所述第一电极露出,所述第二过孔贯穿所述绝缘层和所述有源层,以将所述第二电极露出;
S102:在所述衬底基板上沉积第二金属层,并对所述第二金属层进行图案化处理,形成源极、漏极、第三电极和第四电极,所述源极和所述漏极设置在所述栅极上,所述第三电极通过所述第一过孔连接所述第一电极,所述第四电极通过所述第二过孔连接所述第二电极;
S103:在所述衬底基板上沉积钝化层,并对所述钝化层进行图案化处理,形成第三过孔和第四过孔,所述第三过孔贯穿所述所钝化层,以将所述第三电极露出;所述第四过孔贯穿所述钝化层,以将所述第四电极露出;
S104:在高温下通入还原物质,使所述第三过孔处对应的所述第三电极和所述第四过孔处对应的第四电极发生还原反应,并在所述第三电极和所述第四电极表面形成第三金属层。


2.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述还原物质包括还原性气体,所述还原性气体包括CO、H2。


3.根据权利要求2所述的显示面板的制备方法,其特征在于,对所述衬底基板加热,同时在100℃~210℃温度下通入所述还原物质并加热。


4.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述步骤S104中,所述还原物质包括还原性液体,所述还原性液体包括乙醇。
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【专利技术属性】
技术研发人员:邓永
申请(专利权)人:TCL华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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