复合钨氧化物膜及其制造方法、以及具有该膜的膜形成基材和物品技术

本发明专利技术提供一种复合钨膜及其制造方法，该复合钨膜兼具在可见光区域的透明性、在红外光区域的红外光吸收性，具有实质的电波透过性，且除了将光吸收并遮蔽的功能、将光吸收并发热的功能、将光吸收并放出电子的功能之外还具有波长700～1200nm的光的透过性；进一步提供利用这些功能中的任一种或多种功能的膜形成基材或物品。一种复合钨氧化物膜，其为以通式M

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】复合钨氧化物膜及其制造方法、以及具有该膜的膜形成基材和物品
本专利技术涉及复合钨氧化物膜及其制造方法，进一步涉及具有该复合钨氧化物膜的膜形成基材、利用该复合钨氧化物膜所具有的功能的物品。本申请以在日本于2018年5月9日申请的日本专利申请号特愿2018-090939为基础来主张优先权，该申请通过参照而被援用于本申请。
技术介绍
作为被用于窗户材料等的遮光构件，提出了各种材料。例如，在专利文献1中，作为窗户材料等的遮光构件，记载了通过蒸镀法形成有铝等金属的具有镜面状态的膜的遮光构件。此外，也有通过溅射法形成有银等的膜的遮光构件。然而，使用这些遮光构件的情况下，外观为半反射镜状，因此在屋外使用时反射光线刺眼，会有景致上的问题。进一步，铝、银等金属膜由于具有高导电性，因此存在反射电波而使移动电话、智能手机等利用电波的设备难以联机这样的问题。对此，本申请人提出了具有专利文献2所记载的复合钨氧化物微粒的红外线遮蔽微粒分散体。复合钨氧化物微粒高效地吸收太阳光线，特别是近红外线区域的光，而且对于可见光具有高透明性。红外线遮蔽微粒分散体是使复合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合钨氧化物膜，其为以通式M

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180509 JP 2018-0909391.一种复合钨氧化物膜，其为以通式MxWyOz所表示的组成作为主成分的复合钨氧化物膜，其中，M为由碱金属、碱土金属、Fe、In、Tl、Sn中选择的1种以上元素，W为钨，O为氧，其特征在于，
0.001≤x/y≤1，2.2≤z/y≤3.0，
实质上不含有机物成分，薄膜电阻为105Ω/□以上，
在波长550nm的透过率为50％以上，在波长1400nm的透过率为30％以下，并且在波长1400nm的吸收率为35％以上，
在波长800nm的吸收率相对于在波长1400nm的吸收率为80％以下。


2.根据权利要求1所述的复合钨氧化物膜，其特征在于，来自溅射成膜。


3.根据权利要求1或2所述的复合钨氧化物膜，其特征在于，所述M为由Cs、Rb、K、Tl、In、Ba、Li、Na、Ca、Sr、Fe和Sn中选择的1种以上元素。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的复合钨氧化物膜，其特征在于，具有比20nm厚的膜厚。


5.一种膜形成基材，将权利要求1～4中任一项所述的复合钨氧化物膜形成于被成膜基材的至少一面而成。

<...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤启一，安东勋雄，
申请(专利权)人：住友金属矿山株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP