一种可自动送板的芯片剥膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可自动送板的芯片剥膜机，包括上支板以及下支板，所述上支板上圆形通孔内的旋转工作台与下支板顶部固定设置的液压缸上的液压杆固定连接，所述旋转工作台的顶部固定设有晶圆板输送机构，所述晶圆板输送机构包括顶部的左曲柄轴座、右曲柄轴座、与左曲柄轴座顶部的三角板固定连接的异形连接板、与右曲柄轴座顶部的矩形面板固定连接的矩形连接板以及分别与异形连接板和矩形面板固定连接且真空吸附固定晶圆板的上下对称设置的两个吸附转移面板，所述吸附转移面板包括Y形吸附板、均布设于Y形吸附板上的真空吸附嘴以及设于Y形吸附板上的真空气嘴。本实用新型专利技术能够自动化输送芯片，转移方便，稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种可自动送板的芯片剥膜机
本技术属于晶圆板剥膜
，具体涉及一种可自动送板的芯片剥膜机。
技术介绍
传统的用于晶圆板的剥膜采用半自动的手动剥膜机对晶圆板上的薄膜进行剥离，这种手动剥膜机不仅仅使得工人的劳动强度变大，而且剥膜效率低，现有技术的自动化剥膜机逐渐取代了传统技术的手动剥膜机，但是现有技术的自动化剥膜机对于晶圆板的上料转移还是通过人工手动进行晶圆的转移输送。为此，我们提出一种能够自动输送转移晶圆板且能够在转移的过程中对晶圆板进行防护且防止晶圆脱落损坏的可自动送板的芯片剥膜机来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可自动送板的芯片剥膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可自动送板的芯片剥膜机，包括上支板以及下支板，所述上支板通过支撑杆与下支板固定连接，所述上支板上圆形通孔内的旋转工作台与下支板顶部固定设置的液压缸上的液压杆固定连接，所述旋转工作台的顶部固定设有晶圆板输送机构，所述晶圆板输送机构包括顶部的左曲柄轴座、右曲柄轴座、与左曲柄轴座顶部的三角板固定连接的异形连接板、与右曲柄轴座顶部的矩形面板固定连接的矩形连接板以及分别与异形连接板和矩形面板固定连接且真空吸附固定晶圆板的上下对称设置的两个吸附转移面板，所述吸附转移面板包括Y形吸附板、均布设于Y形吸附板上的真空吸附嘴以及设于Y形吸附板上的真空气嘴。优选的，所述左曲柄轴座以及右曲柄轴座均设于旋转工作台上旋转圆盘的顶部。优选的，所述矩形面板的外端部为半圆弧形结构。优选的，所述异形连接板的厚度与三角板厚度的一半，所述矩形面板的厚度为矩形连接板厚度的一半。优选的，所述异形连接板连接的Y形吸附板上的真空吸附嘴的吸附口位于Y形吸附板的底部，且Y形吸附板上的真空气嘴位于Y形吸附板的顶部。优选的，所述矩形连接板连接的Y形吸附板上的真空吸附嘴的吸附口位于Y形吸附板的顶部，且Y形吸附板上的真空气嘴位于Y形吸附板的底部。本技术的技术效果和优点：该可自动送板的芯片剥膜机，利用旋转工作台对晶圆板输送机构进行旋转，调节晶圆板输送机构的朝向角度以对转不同的晶圆板加工工位，曲柄轴座定位不动时，利用左曲柄轴座运动使得左曲柄轴座上的吸附转移面板吸附上一工位上的晶圆板，左曲柄轴座运动初始位置后，定位不动的右曲柄轴座上的吸附转移面板作为晶圆板的防护托板，在晶圆板的转移过程中，对晶圆板进行防护，防止晶圆板脱落，使得晶圆板能够自动化的转移至下一工位，可根据需求更换吸附转移面板吸附固定晶圆板，使得晶圆板转移方便，转移的稳定性高。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术晶圆板输送机构的结构示意图；图3为本技术吸附转移面板的结构示意图。图中：1、上支板；2、下支板；3、支撑杆；4、圆形通孔；5、旋转工作台；6、液压缸；7、晶圆板输送机构；8、左曲柄轴座；9、右曲柄轴座；10、三角板；11、异形连接板；12、矩形面板；13、矩形连接板；14、吸附转移面板；15、Y形吸附板；16、真空吸附嘴；17、真空气嘴。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1-3所示的一种可自动送板的芯片剥膜机，包括上支板1以及下支板2，所述上支板1通过支撑杆3与下支板2固定连接，所述上支板1上圆形通孔4内的旋转工作台5与下支板2顶部固定设置的液压缸6上的液压杆固定连接，所述旋转工作台5的顶部固定设有晶圆板输送机构7，利用旋转工作台5对晶圆板输送机构7进行旋转，调节晶圆板输送机构7的朝向角度以对转不同的晶圆板加工工位；所述晶圆板输送机构7包括顶部的左曲柄轴座8、右曲柄轴座9、与左曲柄轴座8顶部的三角板10固定连接的异形连接板11、与右曲柄轴座9顶部的矩形面板12固定连接的矩形连接板13以及分别与异形连接板11和矩形面板12固定连接且真空吸附固定晶圆板的上下对称设置的两个吸附转移面板14，所述左曲柄轴座8以及右曲柄轴座9均设于旋转工作台5上旋转圆盘的顶部，所述矩形面板12的外端部为半圆弧形结构，所述异形连接板11的厚度与三角板10厚度的一半，所述矩形面板12的厚度为矩形连接板13厚度的一半，右曲柄轴座9定位不动时，利用左曲柄轴座8运动使得左曲柄轴座8上的吸附转移面板14吸附上一工位上的晶圆板，左曲柄轴座8运动初始位置后，定位不动的右曲柄轴座9上的吸附转移面板14作为晶圆板的防护托板，在晶圆板的转移过程中，对晶圆板进行防护，防止晶圆板脱落，使得晶圆板能够自动化的转移至下一工位，可根据需求更换吸附转移面板14吸附固定晶圆板；所述吸附转移面板14包括Y形吸附板15、均布设于Y形吸附板15上的真空吸附嘴16以及设于Y形吸附板15上的真空气嘴17，所述异形连接板11连接的Y形吸附板15上的真空吸附嘴16的吸附口位于Y形吸附板15的底部，且Y形吸附板15上的真空气嘴17位于Y形吸附板15的顶部，所述矩形连接板13连接的Y形吸附板15上的真空吸附嘴16的吸附口位于Y形吸附板15的顶部，且Y形吸附板15上的真空气嘴17位于Y形吸附板15的底部，利用真空气嘴17吸附固定晶圆板，使得晶圆板转移方便，稳定性高。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可自动送板的芯片剥膜机，包括上支板（1）以及下支板（2），其特征在于：所述上支板（1）通过支撑杆（3）与下支板（2）固定连接，所述上支板（1）上圆形通孔（4）内的旋转工作台（5）与下支板（2）顶部固定设置的液压缸（6）上的液压杆固定连接，所述旋转工作台（5）的顶部固定设有晶圆板输送机构（7），所述晶圆板输送机构（7）包括顶部的左曲柄轴座（8）、右曲柄轴座（9）、与左曲柄轴座（8）顶部的三角板（10）固定连接的异形连接板（11）、与右曲柄轴座（9）顶部的矩形面板（12）固定连接的矩形连接板（13）以及分别与异形连接板（11）和矩形面板（12）固定连接且真空吸附固定晶圆板的上下对称设置的两个吸附转移面板（14），所述吸附转移面板（14）包括Y形吸附板（15）、均布设于Y形吸附板（15）上的真空吸附嘴（16）以及设于Y形吸附板（15）上的真空气嘴（17）。/n

【技术特征摘要】
1.一种可自动送板的芯片剥膜机，包括上支板（1）以及下支板（2），其特征在于：所述上支板（1）通过支撑杆（3）与下支板（2）固定连接，所述上支板（1）上圆形通孔（4）内的旋转工作台（5）与下支板（2）顶部固定设置的液压缸（6）上的液压杆固定连接，所述旋转工作台（5）的顶部固定设有晶圆板输送机构（7），所述晶圆板输送机构（7）包括顶部的左曲柄轴座（8）、右曲柄轴座（9）、与左曲柄轴座（8）顶部的三角板（10）固定连接的异形连接板（11）、与右曲柄轴座（9）顶部的矩形面板（12）固定连接的矩形连接板（13）以及分别与异形连接板（11）和矩形面板（12）固定连接且真空吸附固定晶圆板的上下对称设置的两个吸附转移面板（14），所述吸附转移面板（14）包括Y形吸附板（15）、均布设于Y形吸附板（15）上的真空吸附嘴（16）以及设于Y形吸附板（15）上的真空气嘴（17）。


2.根据权利要求1所述的一种可自动送板的芯片剥膜机，其特征在于：所述左曲柄轴座（8）以及右曲柄轴座（9）均...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，张翔瑀，
申请(专利权)人：无锡市空穴电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32