试验装置、试验方法及计算机可读取媒体制造方法及图纸

本发明专利技术所要解决的问题在于：利用以下方法无法一并检查复数个LED的光学特性，所述方法是使成为检查对象的一对LED中的一个发光，并以另一个受光，使用通过光电效应所输出的电流的电流值，来检查LED的光学特性。为了解决上述问题，本发明专利技术提出一种试验装置，具备：电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；光源部，其一并对复数个LED照射光；测定部，其测定光电信号，所述光电信号是复数个LED分别对被光源部照射的光进行光电转换，并经由电性连接部输出；及，判定部，其基于测定部的测定结果来判定复数个LED各自的良否。

【技术实现步骤摘要】
试验装置、试验方法及计算机可读取媒体
本专利技术关于一种试验装置、试验方法及计算机可读取媒体。
技术介绍
已知一种方法，其使成为检查对象的一对LED(发光二极管)中的一个发光并以另一个受光，使用通过光电效应而输出的电流的电流值来检查LED的光学特性(参照例如专利文献1、2)。[现有技术文献](专利文献)专利文献1：日本特表2019-507953号公报专利文献2：日本特开2010-230568号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，在上述的方法中，需要使各LED依序发光以进行检查，而无法一并检查复数个LED的光学特性。解决问题的技术手段在本专利技术的一实施方式中，提供一种试验装置。试验装置具备：电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；具备光源部，其一并对复数个LED照射光；测定部，其测定光电信号，所述光电信号是复数个LED分别对被光源部照射的光进行光电转换，并经由电性连接部输出；判定部，其基于测定部的测定结果来判定复数个LED各自的良否。电性连接部也可配置于光源部及复数个LED之间。电性连接部也可具有基板，所述基板具有开口，所述开口使来自光源部的光朝向复数个LED而通过。电性连接部也可具有复数个探针，其分别从基板朝向露出至开口内的复数个LED延伸，并接触复数个LED各自的端子。试验装置也可进一步具备载置部，其载置有LED群。电性连接部，也可通过载置部以载置有LED群的状态移动，而从LED群中依次切换成为试验对象的连接处的复数个LED的群组。测定部也可测定光电信号，所述光电信号来自电性连接部依次连接的复数个LED的群组。判定部，也可将复数个LED中的所测定的光电信号在正常范围外的至少一个LED，判定为不良。作为正常范围，也可使用以下范围，也就是以与复数个LED分别输出的光电信号相对应的统计量作为基准的范围。作为正常范围，也可使用以下范围，也就是在一边从LED群中依次改变成为试验对象的复数个LED的群组并一边进行复数次测定而得的测定结果中，以与在复数个LED的群组之间被配置于相同位置的LED所输出的光电信号相对应的统计量，作为基准的范围。光源部也可发出白色光。光源部也能够切换色成分不同的复数种光。光源部也可具有复数种彩色滤光片，通过使光分别通过复数种彩色滤光片，分别发出复数种光。光源部也可具有光波长不同的复数个光源。光源部也可通过切换复数个光源，分别发出色成分不同的复数种光。试验装置也可进一步具备遮蔽部，所述遮蔽部遮蔽除了来自光源部的光以外的光。在本专利技术的一实施方式中，提供一种试验方法。试验方法具备：连接阶段，其将电性连接部电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；照射阶段，其一并对复数个LED照射光；测定阶段，其测定光电信号，所述光电信号是复数个LED分别对被照射的光进行光电转换，并经由电性连接部输出；判定阶段，其基于测定阶段的测定结果来判定复数个LED各自的良否。在本专利技术的一实施方式中，提供一种计算机可读取媒体，其记忆有程序，所述程序通过对复数个LED进行试验的试验装置来执行，并用于使试验装置执行上述的试验方法。再者，上述的
技术实现思路
，并非列举本专利技术的全部必要特征。又，这些特征群的子组合也可成为专利技术。附图说明图1是示出对复数个LED10进行试验的试验装置100的概况的整体图的一例。图2是载置部150、被载置于载置部150上的LED群、及复数个探针113接触LED群中的特定复数个LED10的群组的状态的电性连接部110的侧视图的一例(A)及平面图的一例(B)。图3是说明通过试验装置100所实施的试验方法的流程的流程图的一例。图4是示出对复数个LED20进行试验的试验装置200的概况的整体图的一例。图5是示出对复数个LED30进行试验的试验装置300的概况的整体图的一例。图6是示出本专利技术的复数个实施方式可全体或部分地具体化的计算机1200的一例的图。附图标记说明如下：10、20、30：LED11、21、31：端子15、25、35：晶圆100、200、300：试验装置110、210：电性连接部111、211：基板112：开口113、213：探针120：光源部121：光源122：平行光123：透镜单元124：滤光片切换部125：彩色滤光片130：测定部140：控制部145：储存部150：载置部160：遮蔽部1200：计算机1201：DVD-ROM1210：主机控制器1212：CPU1214：RAM1216：图形控制器1218：显示设备1220：输入输出控制器1222：通讯接口1224：硬盘驱动器1226：DVD-ROM驱动器1230：ROM1240：输入输出芯片1242：键盘具体实施方式以下，通过专利技术的实施方式来说明本专利技术，以下的实施方式并非限定权利要求的范围的专利技术。又，实施方式中所说明的特征的组合并非全是专利技术的解决手段所必需的。再者，在图式中，相同或类似的部分有时会标注相同的附图标记并省略重复说明。图1是示出对复数个LED10进行试验的试验装置100的概况的整体图的一例。在图1中，X轴、Z轴及Y轴是以相互正交的方式示出，其中，X轴是面向纸面时右方成为+X方向的轴，Z轴是面向纸面时上方向成为+Z方向的轴，Y轴是面向纸面时纵深方向成为+Y方向的轴。下文中，有时使用这三个轴进行说明。试验装置100，利用LED10的光电效应，并基于从被光照射的LED10输出的光电信号，一并对复数个LED10的光学特性进行试验。试验装置100，具备：电性连接部110、光源部120、测定部130及控制部140。本实施方式中的试验装置100，也可进一步具备储存部145、载置部150及遮蔽部160。本实施方式中的试验装置100，例如，将在晶圆15上形成有复数个LED10的LED群载置于载置部150上，其中晶圆15是未设置电气配线的裸硅晶圆，在该状态下，一并对LED群中的特定复数个LED10的群组的光学特性进行试验。本实施方式中的LED10是尺寸为100μm以下的微型LED。再者，LED10，除了微型LED以外，也可为尺寸大于100μm且200μm以下的迷你LED、或尺寸大于200μm的LED。又，本实施方式中的复数个LED10，在晶圆15上，并非相互地电性连接，且为单色。再者，复数个LED10也可形成于设置有电气配线的晶圆上、或具有大致方形的外形的玻璃基底的面板(Panellevelpackaging；PLP)上，并相互地电性连接且被单元化或单元格(cell)化，此时，也可通过例如从RGB(红绿蓝)各自本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种试验装置，其特征在于，具备：/n电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；/n光源部，其一并对所述复数个LED照射光；/n测定部，其测定光电信号，所述光电信号是所述复数个LED分别对被所述光源部照射的光进行光电转换，并经由所述电性连接部输出；及，/n判定部，其基于所述测定部的测定结果来判定所述复数个LED各自的良否。/n

【技术特征摘要】
20190531 JP 2019-1031551.一种试验装置，其特征在于，具备：
电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；
光源部，其一并对所述复数个LED照射光；
测定部，其测定光电信号，所述光电信号是所述复数个LED分别对被所述光源部照射的光进行光电转换，并经由所述电性连接部输出；及，
判定部，其基于所述测定部的测定结果来判定所述复数个LED各自的良否。


2.如权利要求1所述的试验装置，其特征在于，所述电性连接部，以使所述复数个LED位于所述光源部及所述电性连接部之间的方式配置，且具有：
基板；及，
复数个探针，其分别从所述基板朝向所述复数个LED延伸，并接触所述复数个LED各自的所述端子。


3.如权利要求1所述的试验装置，其特征在于，所述电性连接部，被配置于所述光源部及所述复数个LED之间，且具有：
基板，其具有开口，所述开口使来自所述光源部的光朝向所述复数个LED而通过；及，
复数个探针，其分别从所述基板朝向露出至所述开口内的所述复数个LED延伸，并接触所述复数个LED各自的所述端子。


4.如权利要求3所述的试验装置，其特征在于，进一步具备载置有LED群的载置部；
所述电性连接部，通过所述载置部以载置有所述LED群的状态移动，而从所述LED群中依次切换成为试验对象的连接处的所述复数个LED的群组；
所述测定部，测定光电信号，所述光电信号来自所述电性连接部依次连接的所述复数个LED的群组。


5.如权利要求1至4中任一项所述的试验装置，其特征在于，所述判定部，将所述复数个LED中的所测定的所述光电信号在正常范围外的至少一个LED，判定为不良。


6.如权利要求5所述的试验装置，其特征在于，作为所述正常范...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川宏太郎，宫内康司，歌丸刚，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP