一种ITO旋转靶材的直线度检测设备及其使用方法技术

本发明专利技术涉及靶材生产设备的技术领域，公开了一种ITO旋转靶材的直线度检测设备，包括第一平台、竖向平台，所述第一平台的顶面上设有第一基准面，所述竖向平台的端面连接在所述第一基准面上，所述竖向平台上设有竖向的第二基准面，所述竖向平台包括第二平台和第三平台，所述第二平台上设有竖向的第二基准面，所述第三平台上设有竖向的第三基准面。本发明专利技术还提供了一种对上述设备的使用方法，包括如下步骤：将ITO旋转靶材端面与第一基准面贴合；将ITO旋转靶材的外侧壁向竖向基准面靠近至相抵接；观察或者测量竖向基准面与ITO旋转靶材外侧壁之间的间隙。本发明专利技术能够保证对ITO靶材的外侧壁直线度的检测效率，价格低廉、检测效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO旋转靶材的直线度检测设备及其使用方法
本专利技术涉及靶材生产设备的
，特别是涉及一种ITO旋转靶材的直线度检测设备及其使用方法。
技术介绍
ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，其通常有两个性能指标:电阻率和透光率。ITO为IndiumTinOxides的缩写。ITO为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以过滤掉对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线。因此，铟锡氧化物通常喷涂在玻璃、塑料及电子显示屏上，用作透明导电薄膜，同时减少对人体有害的电子辐射及紫外线、红外线。ITO靶材有高的性能优势，而且有比较高的耐热冲击性，在使用中不会对设备造成损坏，同时它的纯度特别的高。目前，市场中很多电子产品都用到了平面显示器，液晶电脑、液晶电视进入到了千家万户，液晶的产品不管是在外观上还是在质地上质量都是比较高的，而且能够降低耗能。目前，ITO靶材有二种，一种是平面氧化铟锡，一种是旋转氧化铟锡。然而，平面氧化铟锡目前靶材利用率只可达40％，旋转目前靶材利用率可达70％。但是，旋转ITO本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ITO旋转靶材的直线度检测设备，其特征在于，包括第一平台(100)、竖向平台(200)，所述第一平台(100)的顶面上设有第一基准面(101)，所述竖向平台(200)的端面连接在所述第一基准面(101)上，所述竖向平台(200)上设有竖向的第二基准面(201)。/n

【技术特征摘要】
1.一种ITO旋转靶材的直线度检测设备，其特征在于，包括第一平台(100)、竖向平台(200)，所述第一平台(100)的顶面上设有第一基准面(101)，所述竖向平台(200)的端面连接在所述第一基准面(101)上，所述竖向平台(200)上设有竖向的第二基准面(201)。


2.如权利要求1所述的ITO旋转靶材的直线度检测设备，其特征在于，所述竖向平台(200)包括第二平台(210)和第三平台(220)，所述第二平台(210)上设有竖向的第二基准面(211)，所述第三平台上设有竖向的第三基准面(221)，所述第二基准面(211)和第三基准面(221)相互成夹角设置。


3.如权利要求2所述的ITO旋转靶材的直线度检测设备，其特征在于，所述第二基准面(201)和第三基准面(301)相接触设置。


4.如权利要求3所述的ITO旋转靶材的直线度检测设备，其特征在于，所述第二基准面(201)和第三基准面(301)之间呈90度夹角。


5.如权利要求4所述的ITO旋转靶材的直线度检测设备，其特征在于，所述第一平台(100)、第二平台(200)和第三平台均为大理石或者花岗岩制成。


6.如权利要求5所述的ITO旋转靶材的直线度检测设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：文宏福，蔡良，王慧河，
申请(专利权)人：韶关市欧莱高新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44