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本发明涉及靶材生产设备的技术领域，公开了一种ITO旋转靶材的直线度检测设备，包括第一平台、竖向平台，所述第一平台的顶面上设有第一基准面，所述竖向平台的端面连接在所述第一基准面上，所述竖向平台上设有竖向的第二基准面，所述竖向平台包括第二平台和...
该专利属于韶关市欧莱高新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韶关市欧莱高新材料有限公司授权不得商用。

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