五自由度激光聚焦透镜调整架制造技术

本发明专利技术公开一种五自由度激光聚焦透镜调整架，调整架的中心设置有带有透镜的镜框、过渡框、外框，三框均以Ｙ轴为中心轴线对称设置。以Ｙ轴为轴心，在镜框和过渡框上端设置有Ｙ向的位移与角度复合机构，在对应下端设置有位移与角度调节辅助支撑机构；在Ｘ轴心方向，在过渡框和外框一端设置有Ｘ向位移与角度复合机构，在对应另一端设置有Ｘ位移与角度调节辅助支撑机构；在Ｚ轴方向，在外框的下方设置有Ｚ向位移调节导轨结构。通过作为驱动基座的过渡框及外框，分别驱动镜框相对过渡框作直线及角度运动、驱动过渡框相对外框作直线及角度运动，此过渡框相对镜框固定，从而实现带透镜的镜框作五自由度调节。所有调节结构均为双支撑、无悬臂，不仅能实现激光光束聚焦所需的五自由度调节，且稳定性好，在同样通光口径的情况下整体尺寸更小。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于五自由度调节装置领域，具体涉及一种调节结构为双支撑的五自由度激光聚焦透镜调整架。2.
技术介绍
为使激光聚焦光斑准确落在指定点上，所用聚焦透镜需作除绕光束轴线旋转外的其余五自由度调节。目前，公知的五自由度激光聚焦透镜调整架中，平行于光束轴线的直线位移由直线导轨实现；垂直于光束轴线的两直线位移一个由直线导轨实现，一个由升降杆实现；垂直于光束轴线的两角度自由度一个通过双支撑孔轴配合实现，另一个通过单线段孔轴配合或推力轴承来实现。在现有的这种五自由度激光聚焦透镜调整架结构中，用升降杆实现垂直于光束轴线方向的直线位移，以及由单线段孔轴配合或推力轴承来实现垂直于光束轴线的角度自由度，其结构均为悬臂状态，为保证有足够的稳定性，只能通过增加孔轴配合长度和推力轴承的支撑面，因而造成调整架整体尺寸的加大，要求的安装空间大，特别是大口径激光聚焦透镜，为避免空气对光路造成影响，均安装在真空腔中，调整架尺寸大将直接导致整个光学系统尺寸的加大。技术专利(专利号CN 1257770A)公开了一种五自由度五轴解藕并联微动机器人，但由于其结构的影响，不能用于真空腔内激光透镜聚焦的调节，且其工作台过小本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种五自由度激光聚焦透镜调整架，其特征在于：所述的调整架含有Ｘ向直线位移与角度复合调节机构、Ｙ向直线位移与角度复合调节机构、Ｚ向位移调节机构；调整架的中心设置有矩形镜框（１），在矩形镜框（１）内设置有透镜，矩形镜框（１）外设置有矩形过渡框（２），过渡框（２）外设置有矩形外框（３），三者均为大间隙配合；三框均以Ｙ轴与Ｘ轴为中心轴线对称设置；以Ｙ轴为轴心，在矩形镜框（１）和过渡框（２）上端设置有Ｙ向位移与角度复合调节机构，在Ｙ轴对应下端设置有Ｙ向位移与角度调节辅助支撑机构；在Ｘ轴心方向，在过渡框（２）和外框（３）左端上设置有Ｘ向的位移与角度复合调节机构，在Ｘ轴对应右端设置有Ｘ位移与角度调节辅助支撑...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张华权，陈军，刘勇，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：51[中国|四川]