一种溅射镀膜生产控制轨道系统技术方案

技术编号:26747666 阅读:18 留言:0更新日期:2020-12-18 20:20
为了解决镀膜基片镀膜完成后运输到卸料室进行卸料,随后将卸料后的机片架搬运到一高洁净度的洁净室内,在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程,需要耗费大量的人力和时间的问题,本实用新型专利技术提出一种溅射镀膜生产控制轨道系统,机片架通过上料系统上料后运输到真空镀膜机内部的机内轨道上,进行真空溅射镀膜,镀膜后运输到卸料室的卸料系统的第一传动轨道上,通过第一平移轨道运输到指定地点卸料,卸料后运输到输送轨道上,通过输送轨道输送到上料室的上料系统的第二传动轨道,对机片架进行下一次的上料,随后通过第二平移轨道运输到真空镀膜机内的机内轨道进行下一次的上料,自动化程度高,大了节省了人力和时间,大大提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜生产控制轨道系统
本技术涉及溅射镀膜
,较为具体的,涉及到一种溅射镀膜生产控制轨道系统。
技术介绍
目前,真空磁控溅射镀膜机是对金属、玻璃和塑料表面进行镀膜的专用设备,其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机,包括真空抽气系统、真空室、真空室的进料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置,可利用物理气相沉积(以下简称“PVD”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。随着生活水平的提高,人们对于具有更加广泛用途和性能的涂层需求也越来越大。目前镀膜基片镀膜完成后运输到卸料室1进行卸料,随后将卸料后的机片架搬运到一高洁净度的洁净室内,在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程,需要耗费大量的人力和时间。
技术实现思路
有鉴于此,为了解决镀膜基片镀膜完成后运输到卸料室进行卸料,随后将卸料后的机片架搬运到一高洁净度的洁净室内,在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程,需要耗费大量的人力和时间的问题,本技术提出一种溅射镀膜生产控制轨道系统,机片架通过上料系统上料后运输到真空镀膜机内部的机内轨道上,进行真空溅射镀膜,镀膜后运输到卸料室的卸料系统的第一传动轨道上,通过第一平移轨道运输到指定地点卸料,卸料后运输到输送轨道上,通过输送轨道输送到上料室的上料系统的第二传动轨道,对机片架进行下一次的上料,随后通过第二平移轨道运输到真空镀膜机内的机内轨道进行下一次的上料,自动化程度高,大了节省了人力和时间,大大提高了生产效率。一种溅射镀膜生产控制轨道系统,包括卸料室1、上料室2、真空镀膜机3、机片架5和输送轨道4,其特征在于:真空镀膜机3内部设有机内轨道31,卸料室1的一侧设有卸料口11和镀膜机输出口12,上料室2设有上料口21和出架口22,镀膜机输出口12和上料口21通过真空镀膜机3的机内轨道31连接,出架口22和卸料口11通过输送轨道4连接,卸料室1内设有卸料系统13,卸料系统13包括两相互平行的第一平移轨道131和第一平移架133,第一平移架133上设有第一传动轨道132,上料室2内设有上料系统23,上料系统23包括两相互平行的第二平移轨道231和第二平移架232,第二平移架232上设有第二传动轨道233,通过上料系统23上料后运输到真空镀膜机3内部的机内轨道31上,进行真空溅射镀膜,镀膜后运输到卸料室1的卸料系统13的第一传动轨道132上,通过第一平移轨道131运输到指定地点卸料,卸料后运输到输送轨道4上,通过输送轨道4输送到上料室2的上料系统23的第二传动轨道233,对机片架5进行下一次的上料,随后通过第二平移轨道231运输到真空镀膜机3内的机内轨道31进行下一次的上料。进一步的,机片架5上设有传送轨道51和齿条52,传送轨道51与第一传动轨道132和第二传动轨道233均匹配连接。进一步的,第一平移架133和第二平移架232的上框架均为中空结构,当机片架5与第一平移架133或者第二平移架232配合使用时,上框架的中空结构可进行两边同时对机片架5卸料或者上料,节省了大量的时间。进一步的,第一平移架133的底板架和第二平移架232的底板架的上表面均设有人行道,人行道表面设有凸起的纹路,增大上表面与操作人员鞋底之间的摩擦。进一步的,输送轨道4包括两条相互平行的钢轨41和设置在钢轨41下方的控制柜42。进一步的,钢轨41由数条矩形钢条首尾连接组成,相对的两条钢条的端口均设有支撑杆。进一步的,远离真空镀膜机3的钢条的外侧壁设有数个光电感应器43,光电感应器43与控制柜42中的控制器电性连接,通过光电感应器43传递机片架5之间的运输信息至控制柜42中的控制器,从而有效的控制机片架5之间的距离,防止相邻的机片架5碰撞。进一步的,输送轨道4内部间隔设有输送齿轮44,输送齿轮44与机片架5的齿条52配合运动。本技术的有益效果:本技术提出一种溅射镀膜生产控制轨道系统,机片架5通过上料系统23上料后运输到真空镀膜机3内部的机内轨道31上,进行真空溅射镀膜,镀膜后运输到卸料室1的卸料系统13的第一传动轨道132上,通过第一平移轨道131运输到指定地点卸料,卸料后运输到输送轨道4上,通过输送轨道4输送到上料室2的上料系统23的第二传动轨道233,对机片架5进行下一次的上料,随后通过第二平移轨道231运输到真空镀膜机3内的机内轨道31进行下一次的上料,自动化程度高,大了节省了人力和时间,大大提高了生产效率。附图说明图1为本技术的溅射镀膜生产控制轨道系统的结构示意图。图2为本技术的机片架的结构示意图。图3为本技术的输送轨道的结构示意图。图4为本技术的第一平移架的结构示意图。图5为本技术的第二平移架的结构示意图。主要元件符号说明如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。具体实施方式如图1所示,为本技术的溅射镀膜生产控制轨道系统的结构示意图;如图2所示,为本技术的机片架的结构示意图;如图3所示,为本技术的输送轨道的结构示意图;如图4所示,为本技术的第一平移架133的结构示意图;如图5所示,为本技术的第二平移架的结构示意图。一种溅射镀膜生产控制轨道系统,包括卸料室1、上料室2、真空镀膜机3、机片架5和输送轨道4,其特征在于:真空镀膜机3内部设有机内轨道31,卸料室1的一侧设有卸料口11和镀膜机输出口12,上料室2设有上料口21和出架口22,镀膜机输出口12和上料口21通过真空镀膜机3的机内轨道31连接,出架口22和卸料口11通过输送轨道4连接,卸料室1内设有卸料系统13,卸料系统13包括两相互平行的第一平移轨道131和第一平移架133,第一平移架133上设有第一传动轨道132,上料室2内设有上料系统23,上料系统23包括两相互平行的第二平移轨道231和第二平移架232,第二平移架232上设有第二传动轨道233,通过上料系统23上料后运输到真空镀膜机3内部的机内轨道31上,进行真空溅射镀膜,镀膜后运输到卸料室1的卸料系统13的第一传动轨道132上,通过第一平移轨道131运输到指定地点卸料,卸料后运输到输送轨道4上,通过输送轨道4输送到上料室2的上料系统23的第二传动轨道233,对机片架5进行下一次的上料,随后通过第二平移轨道231运输到真空镀膜机3内的机内轨道31进行下一次的上料。所述机片架5上设有传送轨道51和齿条52,传送轨道51与第一传动轨道132和第二传动轨道233均匹配连接。所述第一平移架133和第二平移架232的上框架均为中空结构,当机片架5与第一平移架133或者第二平移架232配合使用时,上框架的中空结构可进行两边同时对机片架5卸料或者上料,节省了大量的时间。所述第一平移架133的底板架和第二平移架232的底板架的上表面均设有人行道,人行道表面设有凸起的纹路,增大上表面与操作人员鞋底之间的摩擦。所述输送轨道4包括两条相互平本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射镀膜生产控制轨道系统,包括卸料室(1)、上料室(2)、真空镀膜机(3)、机片架(5)和输送轨道(4),其特征在于:真空镀膜机(3)内部设有机内轨道(31),卸料室(1)的一侧设有卸料口(11)和镀膜机输出口(12),上料室(2)设有上料口(21)和出架口(22),镀膜机输出口(12)和上料口(21)通过真空镀膜机(3)的机内轨道(31)连接,出架口(22)和卸料口(11)通过输送轨道(4)连接,卸料室(1)内设有卸料系统(13),卸料系统(13)包括两相互平行的第一平移轨道(131)和第一平移架(133),第一平移架(133)上设有第一传动轨道(132),上料室(2)内设有上料系统(23),上料系统(23)包括两相互平行的第二平移轨道(231)和第二平移架(232),第二平移架(232)上设有第二传动轨道(233),通过上料系统(23)上料后运输到真空镀膜机(3)内部的机内轨道(31)上,进行真空溅射镀膜,镀膜后运输到卸料室(1)的卸料系统(13)的第一传动轨道(132)上,通过第一平移轨道(131)运输到指定地点卸料,卸料后运输到输送轨道(4)上,通过输送轨道(4)输送到上料室(2)的上料系统(23)的第二传动轨道(233),对机片架(5)进行下一次的上料,随后通过第二平移轨道(231)运输到真空镀膜机(3)内的机内轨道(31)进行下一次的上料。/n...

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜生产控制轨道系统,包括卸料室(1)、上料室(2)、真空镀膜机(3)、机片架(5)和输送轨道(4),其特征在于:真空镀膜机(3)内部设有机内轨道(31),卸料室(1)的一侧设有卸料口(11)和镀膜机输出口(12),上料室(2)设有上料口(21)和出架口(22),镀膜机输出口(12)和上料口(21)通过真空镀膜机(3)的机内轨道(31)连接,出架口(22)和卸料口(11)通过输送轨道(4)连接,卸料室(1)内设有卸料系统(13),卸料系统(13)包括两相互平行的第一平移轨道(131)和第一平移架(133),第一平移架(133)上设有第一传动轨道(132),上料室(2)内设有上料系统(23),上料系统(23)包括两相互平行的第二平移轨道(231)和第二平移架(232),第二平移架(232)上设有第二传动轨道(233),通过上料系统(23)上料后运输到真空镀膜机(3)内部的机内轨道(31)上,进行真空溅射镀膜,镀膜后运输到卸料室(1)的卸料系统(13)的第一传动轨道(132)上,通过第一平移轨道(131)运输到指定地点卸料,卸料后运输到输送轨道(4)上,通过输送轨道(4)输送到上料室(2)的上料系统(23)的第二传动轨道(233),对机片架(5)进行下一次的上料,随后通过第二平移轨道(231)运输到真空镀膜机(3)内的机内轨道(31)进行下一次的上料。


2.如权利要求1所述的溅射镀膜生产控制轨道系统,其特征在于:机片架(5)上设有传送轨道(51)和齿条(52),传送轨道(...

【专利技术属性】
技术研发人员:李均平
申请(专利权)人:苏州锐世讯光学科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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