断层摄影检查装置以及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种能无损的检查检查对象的表面及内部的断层摄影检查装置及方法。所述断层摄影检查装置，包括：光源，其产生向检查对象的内部照射的测量光；分束器，其将所述测量光分割为参考光和测量光，将参考光照射至参考镜，并将测量光照射至检查对象，使在参考镜反射的参考反射光和在检查对象散射以及反射的信号反射光重叠来产生干涉光；扫描部，其将在所述分束器分割的测量光引导至检查对象的检查位置；散射滤波器，其安装于在检查对象反射的反射光的路径上，使在检查对象反射的反射光散射，使引导至分束器的信号反射光的强度增加；以及光电检测器，其检测所述干涉光，以获得检查对象的内部影像信号。

【技术实现步骤摘要】
断层摄影检查装置以及方法
本专利技术涉及一种断层摄影检查装置以及方法，更详细而言，涉及一种能够无损地检查检查对象的表面及内部的断层摄影检查装置及方法。
技术介绍
智能手机、平板电脑和显示器等的现代电子设备是通过将合成树脂膜、玻璃基板、金属成分、颜料等各种材料层压多层而制造。近年来，随着电子设备的高性能化，这种多层层压产品的结构也发展为高度多层化、超薄化、超精细图案化和芯片封装一体化。在多层层压产品的每个制造步骤中，为了检查外部异物的流入、破损等产品不良，通常利用提取局部产品的样品，破坏样品以目视检查产品是否有异常的方法。但是，这种破坏检查方法不仅存在损坏昂贵的半成品或成品的问题，而且，存在不能对产品进行全面检查，也不能有效地检查超薄化和超精图案化的电子设备的内部缺陷的问题。为了无损地检查多层层压产品，在韩国专利公开第10-2015-0056713号等公开了利用光学相干断层摄影(Opticalcoherencetomography：OCT)的无损检查方法。光学相干断层摄影(OCT)将近红外光透射到检查对象，检测从每个检查对象的各断层反射的微弱的散射光(信号)，然后对检查对象的内部进行断层摄影。当使用光学相干断层摄影(OCT)时，可以以照射到检查对象的光的波长程度的分解能获得检查对象的断层影像，从而，可以获得亚微米单位的高分辨率的检查对象的表面和内部影像。为了利用光学相干断层摄影(OCT)检查对象，检查对象(样本)必须由可以透射及散射(反射)光的材料而制成。若不透射光，则仅可以获得在检查对象的表面反射的影像，即检查对象的表面影像。另一方面，尽管光透射检查对象，但是，若透光率过高，例如，所述检查对象为透明膜等时，在检查对象的内部反射的散射光的强度变得太弱，而不会引起光的干涉，难以利用相机等的光电检测器检测反射光。尤其，如智能手机的显示面板、触摸屏等具有高透射率的材料的层压结构的电子设备的情况下，由于散射信号较弱，因此，难以通过断层摄影获得内部影像。为了防止这种情况，还可以利用将水蒸气吸附在透光率高的检查对象等的方法，故意污染检查对象来增加散射信号之后，执行视觉机器检查、光学干涉断层摄影等，但是，由于污染不均匀、增加污染度的其他的装置、检查后的清洗等而导致生产性降低的问题。另外，当由于污染物引起的反射过多时，难以区分噪声和散射信号，因此，难以进行断层摄影。在线技术文件专利文件(专利文件1)韩国专利公开第10-2015-0056713号
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种断层摄影检查装置及方法，其能够以优异的感应度获得透光性高或在层压面上的光散射少的检查对象的表面及内部的影像。本专利技术的其他目的在于，提供一种断层摄影检查装置及方法，其能够无污染或无损地检查检查对象。为达成所述目的，本专利技术提供一种断层摄影检查装置，其特征在于，包括：光源22，其产生向检查对象5的内部照射的测量光L；分束器23，其将所述测量光L分割为参考光R和测量光L，将参考光R照射至参考镜24，并将测量光L照射至检查对象5，使在参考镜24反射的参考反射光R1和在检查对象5散射以及反射的信号反射光S重叠来产生干涉光I；扫描部25，其将在所述分束器23分割的测量光L引导至检查对象5的检查位置；散射滤波器30，其安装于在检查对象5反射的反射光的路径上，使在检查对象5反射的反射光散射，使引导至分束器23的信号反射光S的强度增加；以及光电检测器26，其检测所述干涉光I，获得检查对象5的内部影像信号。而且，本专利技术提供一种断层摄影检查方法，其特征在于，包括：利用分束器23将从光源22射出的测量光L分割为参考光R和测量光L，将参考光R照射至参考镜24，并将测量光L照射至检查对象5的检查位置P1之后，在分束器23重叠在参考镜24反射的参考反射光R1和在检查对象5的检查位置P1被散射并反射的信号反射光S来生成干涉光I的步骤；利用散射滤波器30散射在检查对象5的检查位置P1反射的反射光R1，增加引导至分束器23的信号反射光S的强度的步骤；以及利用光电检测器26检测通过所述强度增加的信号反射光S而生成的干涉光I，并获得检查对象5的检查位置P1上的影像信号的步骤。专利技术效果根据本专利技术的断层摄影检查装置及方法，不会污染或破损检查对象，能以优异的感应度获得透光性高或在层压上的光散射少的检查对象的表面及内部的影像。附图说明图1是示出根据本专利技术的一实施例的断层摄影检查装置的外观的图。图2是用于根据本专利技术的断层摄影检查装置的光学相干断层摄影部的结构框图。图3及图4是用于说明在根据本专利技术的断层摄影检查装置中信号反射光S的强度通过散射滤波器而增加的过程的图及照片。图5是示出在根据本专利技术的断层摄影检查装置中通过散射滤波器去除因反射光的噪声的过程的照片。图6是示出根据本专利技术获得检查对象的三维断层摄影影像的过程的图。具体实施方式下面，参照附图详细说明本专利技术。图1是示出根据本专利技术的一实施例的断层摄影检查装置的外观的图。如图1所示，根据本专利技术的断层摄影检查装置包括光学相干断层摄影部20、30(Opticalcoherencetomographydevice；OCT)，作为用于安装所述光学相干断层摄影部20、30及检查对象(样本，省略图示)的单元，还可包括XY平台12、Z轴驱动部14、倾斜驱动部16及框架10。所述XY平台12在上部安装检查对象，以能够在平行于地面的方向，即在x、y方向(水平方向))上移动的方式安装于框架10上，来调整检查对象的x、y方向的检查位置。所述Z轴驱动部14在上下方向上，即在z方向上移动所述光学相干断层摄影部20、30，以调整检查对象与光学相干断层摄影部20、30之间的距离。所述倾斜驱动部16(tiltingactuator)可旋转地安装所述光学相干断层摄影部20、30，以调整检查对象与光学相干断层摄影部20、30之间的摄影角度。所述框架10是常规的固定框架，在该固定框架安装有所述XY-平台12、Z轴驱动部14及倾斜驱动部16。图2是用于根据本专利技术的断层摄影检查装置的光学相干断层摄影部20、30的结构框图。如图2所示，所述光学相干断层摄影部20、30是对检查对象进行断层摄影来获得检查对象的表面及内部影像的装置，包括对检查对象5进行断层摄影的断层摄影模块20及散射滤波器30。所述断层摄影模块20以通常的方式执行光学相干断层摄影(Opticalcoherencetomography：OCT)(例如，参见韩国专利公开第10-2015-0056713号)，来获得检查对象的一维(A-scan)、二维(B-scan)及三维(C-scan)影像，由此，不仅获得检查对象的表面和形状的信息，而且，还能获得检查对象的内部是否存在异物(气泡、微尘等)的信息、异物的大小、异物所存在的层的位置、异物的体积以及内部损坏位置等的信息。所述断层摄影模块20，包括：光源22、分束器23(Beamsplitter)、参考镜24(Referencemirro本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种断层摄影检查装置，其特征在于，包括：/n光源(22)，其产生向检查对象(5)的内部照射的测量光(L)；/n分束器(23)，其将所述测量光(L)分割为参考光(R)和测量光(L)，将参考光(R)照射至参考镜(24)，并将测量光(L)照射至检查对象(5)，使在参考镜(24)反射的参考反射光(R1)和在检查对象(5)散射以及反射的信号反射光(S)重叠来产生干涉光(I)；/n扫描部(25)，其将在所述分束器(23)分割的测量光(L)引导至检查对象(5)的检查位置；/n散射滤波器(30)，其安装于在检查对象(5)反射的反射光的路径上，使在检查对象(5)反射的反射光散射，使引导至分束器(23)的信号反射光(S)的强度增加；以及/n光电检测器(26)，其检测所述干涉光(I)，获得检查对象(5)的内部影像信号。/n

【技术特征摘要】
20190613 KR 10-2019-00702601.一种断层摄影检查装置，其特征在于，包括：
光源(22)，其产生向检查对象(5)的内部照射的测量光(L)；
分束器(23)，其将所述测量光(L)分割为参考光(R)和测量光(L)，将参考光(R)照射至参考镜(24)，并将测量光(L)照射至检查对象(5)，使在参考镜(24)反射的参考反射光(R1)和在检查对象(5)散射以及反射的信号反射光(S)重叠来产生干涉光(I)；
扫描部(25)，其将在所述分束器(23)分割的测量光(L)引导至检查对象(5)的检查位置；
散射滤波器(30)，其安装于在检查对象(5)反射的反射光的路径上，使在检查对象(5)反射的反射光散射，使引导至分束器(23)的信号反射光(S)的强度增加；以及
光电检测器(26)，其检测所述干涉光(I)，获得检查对象(5)的内部影像信号。


2.根据权利要求1所述的断层摄影检查装置，其特征在于，
所述散射滤波器(30)是在表面形成有凹凸的散射膜，透射及散射在检查对象(5)反射的反射光。


3.根据权利要求1所述的断层摄影检查装置，其特征在于，
所述散射滤波器(30)安装于检查对象(5)和分束器(23)之间的信号反射光(S)的路径上的任意位置。


4.根据权利要求1所述的断层摄影检查装置，其特征在于，
所述散射滤波器(30)与检查对象(5)以0.5mm至100mm的间隔平行设置，所述散射滤波器(30)的厚度为0.05mm至5mm。


5.根据权利要求1所述的断层摄影检查装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：金珉洙，
申请(专利权)人：株式会社湖碧驰，
类型：发明
国别省市：韩国;KR