用于检查大型样本的断层摄影装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种断层摄影装置，其能够非破坏性地检查用于平板电脑的显示器、用于车辆的仪表板等大型样本的表面和内部。所述断层摄影装置包括：两个以上的光干涉断层摄影部(30、40)，其在样本(5)的线扫描方向上依次配置并对样本(5)进行断层摄影，并且配置为在所述线扫描方向上使各个光干涉断层摄影部(30、40)的线扫描区域部分地重叠；驱动部(32、42)，其调节各个所述光干涉断层摄影部(30、40)的高度，以使各个光干涉断层摄影部(30、40)从样本(5)的检查面隔开规定距离；以及样本安装部(50)，其安装样本(5)，并且用于向不同于线扫描方向的方向移送所安装的样本(5)。

【技术实现步骤摘要】
用于检查大型样本的断层摄影装置
本专利技术涉及一种断层摄影装置，更详细而言，涉及一种非破坏性地检查用于平板电脑的的显示器、用于车辆的仪表板等大型样本的表面和内部的断层摄影装置。
技术介绍
智能手机、平板电脑、用于车辆的仪表板等现代电子设备通过将合成树脂膜、玻璃基板、金属成分、颜料等各种物质层叠为多层来制造。在这种多层层叠产品的各制造步骤中，为了检查外部异物的流入、破损等产品的不良与否，通常使用一种提取产品样本，并破坏样本来用肉眼检查产品的破坏性检查方法。然而，这种方法不但存在要毁损价昂的半成品或成品的问题，还存在无法有效地检查薄膜化及大型化的电子设备的内部缺陷的问题。韩国专利公开第10-2015-0056713号中公开了一种为了非破坏性地检查检查对象物而利用光干涉断层摄影(Opticalcoherencetomography；OCT)的技术。在光干涉断层摄影(OCT)中，为了使近红外线光透射至检查对象物，对由检查对象物的表面及内部的各断层反射的反射光(散射光)进行检测，并对检查对象物的表面及内部进行断层摄影。图1是在通常的断层摄影装置中使用的光干涉断层摄影部20的构造框图。如图1所示，通常的光干涉断层摄影部20包括光源22、分束器23(Beamsplitter)、参考镜24(Referencemirror)、扫描部25以及光检测器26(PhotoDetector)。所述光源22产生入射至检查对象物5的内部的测量光L。所述分束器23将测量光L分割为参考光R和测量光L，并将参考光R照射至参考镜24，将测量光L照射至检查对象物5。所述参考镜24反射参考光R以产生参考R1，并且远离或靠近分束器20时改变参考反射光R1的光路长度(Opticalpathlength：OPL)。所述扫描部25将由分束器23分割的测量光L通过物镜10引导至检查对象物5，并且依次改变测量光L的反射角度来扫描(scan)检查对象物5的表面。作为所述扫描部25，可以使用通过由通常的检流计(galvanometer)调节反射角度来扫描测量光L的反射镜。当所述测量光L照射至检查对象物5的内部时，测量光L在检查对象物5的内部的各断层散射和反射，从而生成微细的信号反射光S。所生成的信号反射光S通过物镜10和扫描部25重新被引导至分束器23，并由分束器23对信号反射光S和参考反射光R1进行叠加(superimpose)。当所述信号反射光S与参考反射光R1的光路长度相同时，所叠加的信号反射光S与参考反射光R1发生干涉而生成干涉光I(interferencelight)，因此，通过利用光检测器26检测干涉光I，可以获得检查对象物5的内部断层影像信号。在图1中，附图标记28a是对测量光L进行聚束的通常的聚束透镜28a。在图1所示的通常的断层摄影装置中，将在规定位置获得对应于检查对象物5的深度(xyz正交坐标系的z方向)的断层影像的过程称为一维扫描(A-scan，点扫描)，将利用扫描部25在规定方向(例如，x方向)上移动测量光L而执行一维扫描(A-scan)来获得一个切面影像称为二维扫描(B-scan，线扫描)，在不同于二维扫描的方向(例如，y方向)上移动测量光L而执行二维扫描(B-scan)来获得检查对象物5的内部立体影像称为三维扫描(C-scan)。在这种通常的断层摄影装置中，扫描部25的x方向及y方向的线扫描长度根据驱动扫描部25的检流计的旋转角度和物镜10的面积而定，通常为100mm左右。因此，当样本5的长度超过100mm时，无法一次性地进执行利用光干涉断层摄影部20的样本5的检查。即，对于如同用于车辆的仪表板具有大面积的样本，应将样本的位置移动至少两次以上来扫描样本，因而存在样本的检查需要花费较多的时间，且检查繁琐的缺点。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国专利公开第10-2015-0056713号。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的在于，提供一种断层摄影装置，其非破坏性地检查不能够由一个光干涉断层摄影部检查整体面积的大型样本的表面和内部。本专利技术的另一目的在于，提供一种断层摄影装置，其能够通过紧凑地配置并稳定地驱动两个以上的光干涉断层摄影部来有效地获得具有三维立体形状的大型样本的断层影像。技术方案为达成上述目的，本专利技术提供一种断层摄影装置，包括：两个以上的光干涉断层摄影部30、40，其在样本5的线扫描方向上依次配置并对样本5进行断层摄影，并且配置为在所述线扫描方向上使各个光干涉断层摄影部30、40的线扫描区域部分地重叠；驱动部32、42，其调节各个所述光干涉断层摄影部30、40的高度，以使各个光干涉断层摄影部30、40从样本5的检查面隔开规定距离；以及样本安装部50，其安装样本5，并且用于向不同于线扫描方向的方向移送所安装的样本5。专利技术的效果本专利技术的断层摄影装置能够非破坏性地检查不能够由一个光干涉断层摄影部检查整体面积的大型样本的表面和内部，并且通过紧凑地配置并稳定地驱动两个以上的光干涉断层摄影部来有效地获得具有三维立体形状的大型样本的断层影像。附图说明图1是在通常的断层摄影装置中使用的光干涉断层摄影部的构造框图。图2和图3分别是示出本专利技术的一实施例的用于检查大型样本的断层摄影装置的构造的左侧面和右侧面立体图。图4用于说明两个以上的光干涉断层摄影部的线扫描区域的平面图。图5是在本专利技术的一实施例的断层摄影装置中使用的制动部的剖视图。具体实施方式下面参照附图对本专利技术进行详细说明。图2和图3分别是示出本专利技术的一实施例的用于检查大型样本的断层摄影装置的构造的左侧面和右侧面立体图。如图2和图3所示，本专利技术的断层摄影装置包括用于对样本5进行断层摄影的两个以上的光干涉断层摄影部30、40(OCT)、驱动部32、42(actuator)以及样本安装部50。在本专利技术中，所述样本5可以是不能够由一个光干涉断层摄影部30、40检查整体面积的大型检查对象物，并且是具有样本5的高度根据样本5的位置而不同的三维立体结构的检查对象物，例如，两端以规定的曲率弯曲的用于车辆的仪表板的盖玻璃(coverglass)。所述两个以上的光干涉断层摄影部30、40以能够扫描比各个光干涉断层摄影部30或40的线扫描宽度(linescanwidth，通常为100mm左右)长的宽度的方式在线扫描方向(图1的x方向，样本5的宽度或短边方向)上依次配置，并且配置为在所述线扫描方向(x方向)上使各个光干涉断层摄影部30、40的线扫描区域部分地重叠。所述驱动部32、42调节各个光干涉断层摄影部30、40的高度(z方向)，以使各个光干涉断层摄影部30、40从样本5的检查面隔开规定距离。由于所述样本5具有立体结构，例如，非线性曲线结构，因此，样本5的检查面的高度根据样本5的检查位置而不同。为了对样本5进行断层摄影，应使各个光干涉断层摄影部30、40与样本5的检查面之间的距离维持恒定。因此，所述驱动部32、42根据样本5的检查位置在z方向上分别驱动各个光干涉本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种断层摄影装置，其特征在于，包括：/n两个以上的光干涉断层摄影部(30、40)，其在样本(5)的线扫描方向上依次配置并对样本(5)进行断层摄影，并且配置为在所述线扫描方向上使各个光干涉断层摄影部(30、40)的线扫描区域部分地重叠；/n驱动部(32、42)，其调节各个所述光干涉断层摄影部(30、40)的高度，以使各个光干涉断层摄影部(30、40)从样本(5)的检查面隔开规定距离；以及/n样本安装部(50)，其安装样本(5)，并且用于向不同于线扫描方向的方向移送所安装的样本(5)。/n

【技术特征摘要】
20191217 KR 10-2019-01690701.一种断层摄影装置，其特征在于，包括：
两个以上的光干涉断层摄影部(30、40)，其在样本(5)的线扫描方向上依次配置并对样本(5)进行断层摄影，并且配置为在所述线扫描方向上使各个光干涉断层摄影部(30、40)的线扫描区域部分地重叠；
驱动部(32、42)，其调节各个所述光干涉断层摄影部(30、40)的高度，以使各个光干涉断层摄影部(30、40)从样本(5)的检查面隔开规定距离；以及
样本安装部(50)，其安装样本(5)，并且用于向不同于线扫描方向的方向移送所安装的样本(5)。


2.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，
所述样本(5)是不能够由一个光干涉断层摄影部(30、40)检查整体面积的大型检查对象物，并且是具有样本(5)的高度根据样本(5)的位置而不同的三维立体结构的检查对象物。


3.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，
所述样本安装部(50)包括安装样本(5)的样本固定部(52)和用于向样本(5)的长度方向移送所述样本固定部(52)的移送轨道(54)。


4.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，
所述光干涉断层摄影部(30、40)包括第一光干涉断层摄影部(30)和第二光...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘大源，成治侐，李庸珍，
申请(专利权)人：株式会社湖碧驰，
类型：发明
国别省市：韩国;KR