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断层摄影检查装置以及方法制造方法及图纸
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文档序号:26728567
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本发明公开一种能无损的检查检查对象的表面及内部的断层摄影检查装置及方法。所述断层摄影检查装置,包括:光源,其产生向检查对象的内部照射的测量光;分束器,其将所述测量光分割为参考光和测量光,将参考光照射至参考镜,并将测量光照射至检查对象,使在参...
该专利属于株式会社湖碧驰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社湖碧驰授权不得商用。
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