一种石英玻璃晶圆精密加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及玻璃晶圆加工技术领域，且公开了一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架，所述机架上端安装有第一电机，所述机架上端关于第一电机对称固定连接有支撑板，两个所述支撑板上端共同固定连接有安装板，所述安装板上端安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆通过第一轴承与安装板转动连接，所述螺纹杆的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒，所述安装板底部关于螺纹杆对称固定连接有限位框。本实用新型专利技术便于观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。

【技术实现步骤摘要】
一种石英玻璃晶圆精密加工装置
本技术涉及玻璃晶圆加工
，尤其涉及一种石英玻璃晶圆精密加工装置。
技术介绍
石英玻璃因其良好的性能广泛应用于半导体集成电路产业，晶圆是半导体集成电路的核心，光刻技术以其良好的技术特点已成为生产晶圆的主要方法。石英玻璃晶圆是指通过光刻技术加工制作成的半导体集成电路产品。而石英玻璃晶圆的生产加工工序有材料制造、胚料制备、精密退火、多刀切割、成型加工、精密磨抛、成品检验和清洗包装等，石英玻璃晶圆的精密磨抛在众多的加工工序中最为重要，但是现有的石英玻璃晶圆精密加工装置，不便观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，不能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中不便观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，不能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光的问题，而提出的一种石英玻璃晶圆精密加工装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架，所述机架上端安装有第一电机，所述机架上端关于第一电机对称固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上端安装有第一电机(2)，所述机架(1)上端关于第一电机(2)对称固定连接有支撑板(3)，两个所述支撑板(3)上端共同固定连接有安装板(4)，所述安装板(4)上端安装有第二电机(5)，所述第二电机(5)的输出端通过联轴器连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)通过第一轴承与安装板(4)转动连接，所述螺纹杆(6)的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒(7)，所述安装板(4)底部关于螺纹杆(6)对称固定连接有限位框(8)，所述螺纹套筒(7)环形侧壁上对称固定连接有限位杆(9)，所述限位杆(9)的另一端穿过对...

【技术特征摘要】
1.一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上端安装有第一电机(2)，所述机架(1)上端关于第一电机(2)对称固定连接有支撑板(3)，两个所述支撑板(3)上端共同固定连接有安装板(4)，所述安装板(4)上端安装有第二电机(5)，所述第二电机(5)的输出端通过联轴器连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)通过第一轴承与安装板(4)转动连接，所述螺纹杆(6)的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒(7)，所述安装板(4)底部关于螺纹杆(6)对称固定连接有限位框(8)，所述螺纹套筒(7)环形侧壁上对称固定连接有限位杆(9)，所述限位杆(9)的另一端穿过对应的限位框(8)并向外延伸，位于所述限位杆(9)后方的限位框(8)上固定连接有刻度尺(10)，所述限位杆(9)和限位框(8)滑动连接，所述螺纹套筒(7)的下端固定连接有研磨盘(11)，位于所述研磨盘(11)正下方的机架(1)上端设有抛光箱(12)，所述抛光箱(12)底部的四角处均固定连接有支撑杆，且所述支撑杆的另一端固定连接在机架(1)上端，所述第一电机(2)的输出端通过联轴器连接有转轴(13)，所述转轴(13)通过第二轴承与抛光箱(12)箱底转动连接，所述转轴(13)上端穿过第二轴承并向抛光箱(12)内延伸，且固定连接有载物盘(14)，所述载物盘(14)上端开设有若干个放置槽(15)。


2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，其中一个所述支撑板(3)上固定连接有磨料箱(16)和水泵(17)，所述磨料箱(16)内填充有研磨液，所述磨料箱(16)和水泵(17)之间连通有抽水管，所述研磨盘(11)内开设有磨...

【专利技术属性】
技术研发人员：万峰，张宝柱，马雄，
申请(专利权)人：金湖万迪光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32