光波导元件制造技术

本发明专利技术的光波导元件，具有孔部（３０４）呈周期性排列的多个光子晶体区域（３０５）和在多个光子晶体区域（３０５）之间形成的光波导（３０２）。在光波导（３０２）两侧，与光波导（３０２）相邻的多个孔部（３０４）相对于沿光波导（３０２）的波导方向延伸的中心轴对称地排列。在光波导（３０２）的内部，沿波导方向周期性地排列多个折射率补偿区域（３０３），使有相对于所述中心轴对称关系的各对孔部（３０４）所夹持的部分的等效折射率比其他部分的等效折射率高。设定孔部（３０４）的半径为ｒ时，各折射率补偿区域（３０３）的重心位置从连接孔部（３０２）的中心的直线中点沿波导方向移动，而且，位于沿波导方向离开所述中点０．４５ｒ的位置和沿着与波导方向相反的方向离开所述中点０．２５ｒ的位置之间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有光子晶体(Photonic crystal)结构的光波导元件。
技术介绍
已知在由电介质或半导体等能透过电磁波(包括光)的材料构成的基板上，如果形成以具有光的波长大小程度的周期调制折射率的结构，就能形成在电磁波的分散关系中与晶体的电子有关的频带结构同样的频带结构。对于电磁波的(典型的为“光”)，这样的频带称为光子频带，具有光子频带的周期结构体被称为“光子晶体”。非专利文献1中说明了众所周知的光子晶体。利用光子晶体的光波导元件作为能使光路元件小型化的技术为人所期待。在通过光子晶体将光封闭在规定的区域中的光波导元件中，光波导部分和周期性的折射率补偿区域部分的折射率差是重要的。因此，有这样的报告将砷化镓(折射率为3.6)和硅(折射率为3.4)等折射率为3以上的材料与二氧化硅(SiO2折射率为1.5)和空气(折射率为1)的折射率低的材料混合起来形成的例子(例如专利文献1)。发表了通过将周期性的圆柱状的空气孔设置在半导体基板上，生成光子频带，能以90°急剧变化的角度使光路弯曲的光波导(非专利文献2)等。图1表示使用光子晶体结构的光波导元件的一例(非专利文献2)。通过在由I本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导元件，其特征在于，具有：孔部呈周期性排列的多个光子晶体区域；和在所述多个光子晶体区域之间形成的光波导，所述光子晶体区域中包含的多个孔部中，在所述光波导的两侧与所述光波导相邻的多个孔部相对于沿所述光波导的波导方向延伸的中心轴 对称地排列，在所述光波导的内部，由相对于所述中心轴具有对称关系的各对孔部所夹持的部分的等效折射率高于其他部分的等效折射率的材料构成的多个高折射率部分沿波导方向周期性地排列，设定所述孔部的半径为ｒ时，所述各高折射率部分的重心位 置都从连接夹持该高折射率部分的所述成对孔部的中心的直线，中点沿波导方向移动，而且，位于沿波导方向...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：古屋博之，榎原晃，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]