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光波导元件制造技术
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文档序号:2669818
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本发明的光波导元件,具有孔部(304)呈周期性排列的多个光子晶体区域(305)和在多个光子晶体区域(305)之间形成的光波导(302)。在光波导(302)两侧,与光波导(302)相邻的多个孔部(304)相对于沿光波导(302)的波导方向延伸...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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