一种多路微波源的大功率等离子体发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及等离子体设备领域，是指一种多路微波源的大功率等离子体发生装置，解决了现有技术中等离子体尺寸小、功率低的问题。本发明专利技术包括等离子体点火装置、微波发生装置、波导和反应腔，入气口、微波腔；所述微波腔轴心位置与反应腔轴心重合；所述微波发生装置设置于微波腔周围；所述微波发生装置不少于三个；所述微波腔为空心圆柱形的多模腔；本发明专利技术公开的一种多路微波源的大功率等离子体发生装置，通过不同距离、高低错落的设置多个微波发生装置，并将电磁波均匀集中的束缚在石英管中心位置，实现大功率、大尺寸的等离子体激发；本发明专利技术结构简单、激发效率高、成本低廉，满足工业化大规模的要求；本发明专利技术可级联，实现功率的有效叠加。

【技术实现步骤摘要】
一种多路微波源的大功率等离子体发生装置
本专利技术涉及等离子体设备领域，特别是指一种多路微波源的大功率等离子体发生装置。
技术介绍
等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体，其运动主要受电磁力支配，并表现出显著的集体行为，可用于切割、焊接、喷涂等各个领域。微波等离子体相比于其他传统的等离子体具有基底温度低、微波发生器稳定易控、微波放电高效、安全性素高、等离子体安静等优点。近年来，微波等离子体源的研究已经引起了很多学者的关注，其应用也十分广泛，例如污染物处理、原油成分测定、化学气相沉积制备石墨烯等。但其存在如下不足：1.大多数微波等离子体为波导压缩或波导的方式实现等离子体，等离子体直径小，在2450MHz下仅3-4cm直径，微波作用区域短，微波作用下最多5cm；2.微波等离子体发生器由于在单模腔下形成等离子体，等离子区域面积小，能量利用率低；3.微波等离子体发生器由于通气量也较低，无法通过自身气流给反应腔散热，因本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多路微波源的大功率等离子体发生装置，包括等离子体点火装置、微波发生装置、波导和用于气体激发为等离子体的反应腔，用于将被处理气体通入反应腔的入气口；其特征在于：/n还包括套设于反应腔外的微波腔；所述微波腔轴心位置与反应腔轴心重合；所述微波发生装置通过波导不同距离、高低错落地设置于微波腔周围；/n所述微波发生装置不少于三个；/n所述微波腔为空心圆柱形的多模腔；/n所述点火装置和入气口设置于反应腔下端。/n

【技术特征摘要】
1.一种多路微波源的大功率等离子体发生装置，包括等离子体点火装置、微波发生装置、波导和用于气体激发为等离子体的反应腔，用于将被处理气体通入反应腔的入气口；其特征在于：
还包括套设于反应腔外的微波腔；所述微波腔轴心位置与反应腔轴心重合；所述微波发生装置通过波导不同距离、高低错落地设置于微波腔周围；
所述微波发生装置不少于三个；
所述微波腔为空心圆柱形的多模腔；
所述点火装置和入气口设置于反应腔下端。


2.根据权利要求1所述的一种多路微波源的大功率等离子体发生装置，其特征在于：所述反应腔中心位置电磁波均匀集中分布；所述微波腔和波导位置通过有限元法进行仿真和优化。


3.根据权利要求2所述的一种多路微波源的大功率等离子体发生装置，其特征在于：所述微波腔是用于集中微波能量的金属微波腔。


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【专利技术属性】
技术研发人员：朱铧丞，杨阳，黄卡玛，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：四川;51