温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及等离子体设备领域，是指一种多路微波源的大功率等离子体发生装置，解决了现有技术中等离子体尺寸小、功率低的问题。本发明包括等离子体点火装置、微波发生装置、波导和反应腔，入气口、微波腔；所述微波腔轴心位置与反应腔轴心重合；所述微波发生装...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。