一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，所述调节机构包括冷却液存储箱、液泵和加热管，所述液泵的输入端固定连接有输入管，所述输入管的一端与冷却液存储箱的一侧固定连接，本发明专利技术涉及LED芯片制作技术领域。该在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，利用液泵将冷却液存储箱产生的冷环境向喷头处传递，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的低温环境，利用加热管产生的高温使得加工箱体内部产生高温环境，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的高温环境，结构简单，成本低，方便快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置
本专利技术涉及LED芯片制作
，具体为一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置。
技术介绍
图形化蓝宝石衬底，也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，再在其上生长GaN材料，使GaN材料的纵向外延变为横向外延。一方面可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小有源区的非辐射复合，减小反向漏电流，提高LED的寿命；另一方面有源区发出的光，经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了全反射光的出射角，增加了倒装LED的光从蓝宝石衬底出射的几率，从而提高了光的提取效率。综合这两方面的原因，使PSS上生长的LED的出射光亮度比传统的LED大大提高，同时反向漏电流减小，LED的寿命也得到了延长。LED外延片衬底材料是半导体照明产业技术发展的基石，不同的衬底材料，需要不同的LED外延片生长技术、芯片加工技术和器件封装技术，衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线，现有的在蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的装置，结构复杂，成本高，不能快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件，为此我们提出一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，以解决上述提到的问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，解决了现有的在蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的装置，结构复杂，成本高，不能快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件的问题。为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括加工箱体，所述加工箱体内壁的底部固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有加工台，所述加工台上设置有夹紧机构，所述加工箱体内壁之间的上方固定连接有固定板，所述加工箱体的内部设置有调节机构。所述调节机构包括冷却液存储箱、液泵和加热管，所述液泵的输入端固定连接有输入管，所述输入管的一端与冷却液存储箱的一侧固定连接，所述液泵的输出端固定连接有输出管，所述输出管的一端固定连接有喷头，所述加热管的两端均通过固定扣与加工箱体内壁的下方固定连接。优选的，所述夹紧机构包括第一夹块和第二夹块，所述第一夹块的一侧固定连接有第一推杆，所述第一推杆底部的一侧固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆的底端固定连接有第一导杆，所述第二夹块的一侧固定连接有第二推杆，所述第二推杆底部的一侧固定连接有第二连接杆，所述第二连接杆的底端固定连接有第二导杆。优选的，所述加工台的内部分别开设有第一移动槽和第二移动槽，第一移动槽内腔的一侧固定连接有第一夹紧弹簧，所述第一夹紧弹簧的一端固定连接有第一滑块，第二移动槽内腔的一侧固定连接有第二夹紧弹簧，所述第二夹紧弹簧的一端固定连接有第二滑块。优选的，所述第一滑块的一侧与第一导杆的一端固定连接，所述第二滑块的一侧与第二导杆的一端固定连接，所述第一滑块的外表面与第一移动槽的内部滑动连接，所述第二滑块的外表面与第二移动槽的内部滑动连接。优选的，所述加工箱体内壁的底部固定连接有机罩，所述机罩的背面开设有散热口，所述转动电机位于机罩的内部，所述加工箱体内壁的底部且位于机罩的一侧固定连接有第一风扇组件，所述加工箱体内壁的底部且位于机罩的另一侧固定连接有第二风扇组件。优选的，所述加工箱体内壁的一侧且位于固定板和加热管之间固定连接有第一斜板，所述加工箱体内壁的另一侧且位于固定板和加热管之间固定连接有第二斜板，所述第一斜板位于第一风扇组件的正上方，所述第二斜板位于第二风扇组件的正上方。优选的，所述冷却液存储箱和液泵的底部均与固定板的顶部固定连接，所述输出管的一端贯穿固定板并延伸至固定板外部，所述喷头的顶部与固定板的底部固定连接。优选的，所述第一夹块和第二夹块的底部均与加工台的顶部滑动连接，所述第一夹块和第二夹块均沿着加工台的顶部前后对称设置有两个。优选的，所述第一导杆外表面的直径小于第一移动槽内部的直径，所述第二导杆外表面的直径小于第一移动槽内部的直径。优选的，所述固定板的底部且位于喷头的一侧滑动连接有滑杆，所述滑杆的底端固定连接有横杆，所述横杆的底部固定连接有照明灯。有益效果本专利技术提供了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置。与现有技术相比具备以下有益效果：(1)、该在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，通过在调节机构包括冷却液存储箱、液泵和加热管，液泵的输入端固定连接有输入管，输入管的一端与冷却液存储箱的一侧固定连接，液泵的输出端固定连接有输出管，输出管的一端固定连接有喷头，加热管的两端均通过固定扣与加工箱体内壁的下方固定连接，冷却液存储箱和液泵的底部均与固定板的顶部固定连接，输出管的一端贯穿固定板并延伸至固定板外部，喷头的顶部与固定板的底部固定连接，通过冷却液存储箱、液泵、加热管、输入管、输出管和喷头的配合使用，利用液泵将冷却液存储箱产生的冷环境向喷头处传递，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的低温环境，利用加热管产生的高温使得加工箱体内部产生高温环境，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的高温环境，结构简单，成本底，方便快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件的问题。(2)、该在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，通过在夹紧机构包括第一夹块和第二夹块，第一夹块的一侧固定连接有第一推杆，第一推杆底部的一侧固定连接有第一连接杆，第一连接杆的底端固定连接有第一导杆，第二夹块的一侧固定连接有第二推杆，第二推杆底部的一侧固定连接有第二连接杆，第二连接杆的底端固定连接有第二导杆，通过第一夹块、第二夹块、第一推杆、第一连接杆、第一导杆、第二推杆、第二连接杆和第二导杆的配合使用，方便对不同尺寸大小的蓝宝石衬底进行夹持固定。(3)、该在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，通过在加工箱体内壁的底部固定连接有机罩，机罩的背面开设有散热口，转动电机位于机罩的内部，加工箱体内壁的底部且位于机罩的一侧固定连接有第一风扇组件，加工箱体内壁的底部且位于机罩的另一侧固定连接有第二风扇组件，通过设置第一风扇组件和第二风扇组件，增大加工箱体内部的气体流动速度，加快了加热管产生的热量在加工箱体内部散开，加快了加工进程，提高了加工效率，通过设置散热口方便转动电机进行散热。(4)、该在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，通过在加工箱体内壁的一侧且位于固定板和加热管之间固定连接有第一斜板，加工箱体内壁的另一侧且位于固定板和加热管之间固定连接有第二斜板，第一斜板位于第一风扇组件的正上方，第二斜板位于第二风扇组件的正上方，通过设置第一斜板和第二斜板，对第一风扇组件和第二风扇组件产生的气流进行反射，反射的气流吹至加工台处，方便快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的高温条件。(5)、该在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，通过在固定板的底部且位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括加工箱体(1)，其特征在于：所述加工箱体(1)内壁的底部固定连接有转动电机(2)，所述转动电机(2)的输出端固定连接有加工台(3)，所述加工台(3)上设置有夹紧机构(4)，所述加工箱体(1)内壁之间的上方固定连接有固定板(5)，所述加工箱体(1)的内部设置有调节机构(6)；/n所述调节机构(6)包括冷却液存储箱(61)、液泵(62)和加热管(63)，所述液泵(62)的输入端固定连接有输入管(64)，所述输入管(64)的一端与冷却液存储箱(61)的一侧固定连接，所述液泵(62)的输出端固定连接有输出管(65)，所述输出管(65)的一端固定连接有喷头(66)，所述加热管(63)的两端均通过固定扣(67)与加工箱体(1)内壁的下方固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括加工箱体(1)，其特征在于：所述加工箱体(1)内壁的底部固定连接有转动电机(2)，所述转动电机(2)的输出端固定连接有加工台(3)，所述加工台(3)上设置有夹紧机构(4)，所述加工箱体(1)内壁之间的上方固定连接有固定板(5)，所述加工箱体(1)的内部设置有调节机构(6)；
所述调节机构(6)包括冷却液存储箱(61)、液泵(62)和加热管(63)，所述液泵(62)的输入端固定连接有输入管(64)，所述输入管(64)的一端与冷却液存储箱(61)的一侧固定连接，所述液泵(62)的输出端固定连接有输出管(65)，所述输出管(65)的一端固定连接有喷头(66)，所述加热管(63)的两端均通过固定扣(67)与加工箱体(1)内壁的下方固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，其特征在于：所述夹紧机构(4)包括第一夹块(41)和第二夹块(42)，所述第一夹块(41)的一侧固定连接有第一推杆(43)，所述第一推杆(43)底部的一侧固定连接有第一连接杆(44)，所述第一连接杆(44)的底端固定连接有第一导杆(45)，所述第二夹块(42)的一侧固定连接有第二推杆(46)，所述第二推杆(46)底部的一侧固定连接有第二连接杆(47)，所述第二连接杆(47)的底端固定连接有第二导杆(48)。


3.根据权利要求1所述的一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，其特征在于：所述加工台(3)的内部分别开设有第一移动槽(7)和第二移动槽(8)，第一移动槽(7)内腔的一侧固定连接有第一夹紧弹簧(9)，所述第一夹紧弹簧(9)的一端固定连接有第一滑块(10)，第二移动槽(8)内腔的一侧固定连接有第二夹紧弹簧(11)，所述第二夹紧弹簧(11)的一端固定连接有第二滑块(12)。


4.根据权利要求3所述的一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，其特征在于：所述第一滑块(10)的一侧与第一导杆(45)的一端固定连接，所述第二滑块(12)的一侧与第二导杆(48)的一端固定连接，所述第一滑块(10)的外表面与第一移动槽(7)的内部滑动连接，所述第二滑块(12)的外表面与第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏，龚桦，周德金，黄伟，吴超，于理科，夏泳，
申请(专利权)人：清华大学无锡应用技术研究院，
类型：发明
国别省市：江苏;32