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本发明公开了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，所述调节机构包括冷却液存储箱、液泵和加热管，所述液泵的输入端固定连接有输入管，所述输入管的一端与冷却液存储箱的一侧固定连接，本发明涉及LED芯片制作技术领域。该在图形化蓝宝石衬...
该专利属于清华大学无锡应用技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学无锡应用技术研究院授权不得商用。

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