介质多层滤光器制造技术

提供产生减小入射角相关性的作用并具有宽反射带的介质多层滤光器、如ＩＲ截止滤光器和红光反射二向色滤光器。第一介质多层薄膜３０在透明衬底２８的正面形成，以及第二介质多层薄膜３２在透明衬底２８的背面形成。第一介质多层薄膜３０的反射带的宽度Ｗ１设置成比第二介质多层薄膜３２的反射带的宽度Ｗ２更窄。第二介质多层薄膜３２的反射带的较短波长侧边沿的半值波长Ｅ２↓［Ｌ］设置在第一介质多层薄膜３０的反射带的较短波长侧边沿处的半值波长Ｅ１↓［Ｌ］与较长波长侧边沿处的半值波长Ｅ１↓［Ｈ］之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及介质多层滤光器，它产生减小入射角相关性的作用并具有宽反射带。
技术介绍
介质多层滤光器是包括由具有不同折射率的介质材料构成的多种薄膜的叠层并用于利用光干涉来反射(消除)或透射入射光中特定波长带的成分的滤光器。例如，介质多层滤光器是在CCD照相机中用于消除不利地影响色彩表现的红外光(大于大约650nm的波长的光)并透射可见光的所谓IR截止滤光器(红外截止滤光器)。或者，介质多层滤光器是在液晶投影仪中用于反射入射可见光中特定颜色的光并透射其它颜色的光的所谓二向色滤光器。图2说明采用传统介质多层薄膜的IR截止滤光器的结构。IR截止滤光器10包括由光学玻璃构成的衬底12以及交替堆叠在衬底12的正面的SiO2的低折射率薄膜14和TiO2的高折射率薄膜16。图3说明IR截止滤光器10的光谱透射特性。在图3中，特性A和B分别表示以下透射比。特性A0度入射角的透射比特性B25度入射角的p偏振光和s偏振光(n偏振光)的平均的透射比从图3可以看到，红外光(具有大于大约650nm的波长的光)被反射和消除，并透射可见光。图4是放大视图，说明图3中的600至700nm波段中的特性。从图4可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种介质多层滤光器，包括：透明衬底；在所述透明衬底的一个表面上形成的具有预定反射带的第一介质多层薄膜；以及在所述透明衬底的另一个表面上形成的具有预定反射带的第二介质多层薄膜，其中，所述第一介质多层薄膜的反射带的宽度设置成比所述第二介质多层薄膜的反射带的宽度更窄，以及所述第二介质多层薄膜的反射带的较短波长侧边沿设置在所述第一介质多层薄膜的反射带的较短波长侧边沿与较长波长侧边沿之间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：寺田佳之，
申请(专利权)人：株式会社村上开明堂，
类型：发明
国别省市：JP[日本]