加速度传感器及加速度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种加速度传感器及加速度测量装置。该加速度传感器包括：第一结构层和第二结构层；两个结构层相对设置形成起电界面，两个结构层均包括作为起电界面的层结构，其任一者或两者中作为起电界面的层结构至少包括具有镂空栅格结构的层结构；其任一者或两者中至少包括作为输出电极的层结构；当两个结构层中的一个运动时，起电界面之间产生的电信号由两个结构层中包括的作为输出电极的层结构输出。本实用新型专利技术提供的加速度传感器及加速度测量装置，不仅能够根据用户的需求，测量任意时段内的加速度，还能够通过调整镂空和栅格的宽度，来满足用户对测量加速度的精度要求，且其结构及制作工艺简单、成本低廉、适合大规模工业化生产。

【技术实现步骤摘要】
加速度传感器及加速度测量装置
本技术涉及传感
，尤其涉及一种加速度传感器及加速度测量装置。
技术介绍
在现实生活或工业制造中，加速度传感器是使用最为广泛的传感器之一。现有技术根据不同的使用要求，通常采用压电式、压阻式、电容式和伺服式等形式的加速度传感器。但是利用这些技术制作的传感器均需要使用电源进行驱动，并且往往需要使用特殊材料或部件，例如压电材料、压阻材料、陀螺仪等，这导致现有的加速度传感器成本较高并且结构复杂；并且现有的加速度传感器精度固定，在应用到各种不同领域时，无法根据需要调节精度，使得其应用场景受到了一定的限制；此外，现有的加速度传感器大多仅能测量瞬时加速度或平均加速度，而对于可变加速度或任意两时刻间的加速度的大小不能进行准确测量和计算。因此，现有技术中缺少一种能够根据用户的需求，测量任意时段内的加速度，还能够通过调整镂空和栅格的宽度，来满足用户对测量加速度的精度要求，且不需要外界电源供电、结构及制作工艺简单，成本低廉、适合大规模工业化生产的加速度传感器及加速度测量装置。技术内容本技术的技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：第一结构层和第二结构层；其中，/n所述第一结构层与所述第二结构层相对设置，所述第一结构层与所述第二结构层之间形成起电界面，所述第一结构层和所述第二结构层均包括作为所述起电界面的层结构；所述第一结构层和所述第二结构层中的任一者或两者中作为所述起电界面的层结构至少包括具有镂空栅格结构的层结构；所述第一结构层和所述第二结构层中的任一者或两者中至少包括作为输出电极的层结构；/n当所述第一结构层以施加速度相对于所述第二结构层运动或者所述第二结构层以施加速度相对于所述第一结构层运动时，所述第一结构层与所述第二结构层之间产生的电信号由所述第一结构层和所述第二结构层中包...

【技术特征摘要】
1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：第一结构层和第二结构层；其中，
所述第一结构层与所述第二结构层相对设置，所述第一结构层与所述第二结构层之间形成起电界面，所述第一结构层和所述第二结构层均包括作为所述起电界面的层结构；所述第一结构层和所述第二结构层中的任一者或两者中作为所述起电界面的层结构至少包括具有镂空栅格结构的层结构；所述第一结构层和所述第二结构层中的任一者或两者中至少包括作为输出电极的层结构；
当所述第一结构层以施加速度相对于所述第二结构层运动或者所述第二结构层以施加速度相对于所述第一结构层运动时，所述第一结构层与所述第二结构层之间产生的电信号由所述第一结构层和所述第二结构层中包括的作为所述输出电极的层结构输出。


2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一结构层包括第一电极层；所述第二结构层包括第二高分子聚合物绝缘层；其中，
所述第一电极层为所述第一结构层中作为所述输出电极的层结构，且同时为所述第一结构层中作为所述起电界面的层结构；
所述第二高分子聚合物绝缘层为所述第二结构层中作为所述起电界面的层结构；
所述第一电极层与所述第二高分子聚合物绝缘层之间形成起电界面；所述第一电极层和所述第二高分子聚合物绝缘层中的任一者或两者至少包括具有镂空栅格结构的层结构；
当所述第一电极层以所述施加速度相对于所述第二高分子聚合物绝缘层运动或者所述第二高分子聚合物绝缘层以所述施加速度相对于所述第一电极层运动时，所述第一电极层与所述第二高分子聚合物绝缘层之间产生的电信号由所述第一电极层输出。


3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一结构层包括第一电极层；所述第二结构层包括第二高分子聚合物绝缘层和第二电极层；其中，
所述第一电极层为所述第一结构层中作为所述输出电极的层结构，且同时为所述第一结构层中作为所述起电界面的层结构；
所述第二高分子聚合物绝缘层为所述第二结构层中作为所述起电界面的层结构；所述第二电极层设置于所述第二高分子聚合物绝缘层远离所述第一电极层的一侧表面上，所述第二电极层为所述第二结构层中作为所述输出电极的层结构；
所述第一电极层与所述第二高分子聚合物绝缘层之间形成起电界面；所述第一电极层和所述第二高分子聚合物绝缘层中的任一者或两者至少包括具有镂空栅格结构的层结构；
当所述第一电极层以所述施加速度相对于所述第二高分子聚合物绝缘层和所述第二电极层运动或者所述第二电极层和所述第二高分子聚合物绝缘层以所述施加速度相对于所述第一电极层运动时，所述第一电极层与所述第二高分子聚合物绝缘层之间产生的电信号由所述第一电极层和/或所述第二电极层输出。


4.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一结构层包括第一电极层和第一高分子聚合物绝缘层；所述第二结构层包括第二高分子聚合物绝缘层；其中，
所述第一电极层设置于所述第一高分子聚合物绝缘层远离所述第二高分子聚合物绝缘层的一侧表面上，所述第一电极层为所述第一结构层中作为所述输出电极的层结构；所述第一高分子聚合物绝缘层为所述第一结构层中作为所述起电界面的层结构；
所述第二高分子聚合物绝缘层为所述第二结构层中作为所述起电界面的层结构；所述第一高分子聚合物绝缘层与所述第二高分子聚合物绝缘层之间形成起电界面；
所述第一高分子聚合物绝缘层和所述第二高分子聚合物绝缘层中的任一者或两者至少包括具有镂空栅格结构的层结构；
当所述第一电极层和所述第一高分子聚合物绝缘层以所述施加速度相对于所述第二高分子聚合物绝缘层运动或者所述第二高分子聚合物绝缘层以所述施加速度相对于所述第一高分子聚合物绝缘层和所述第一电极层运动时，所述第一高分子聚合物绝缘层与所述第二高分子聚合物绝缘层之间产生的电信号由所述第一电极层输出。


5.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一结构层包括第一电极层和第一高分子聚合物绝缘层；所述第二结构层包括第二高分子聚合物绝缘层和第二电极层；其中，
所述第一电极层设置于所述第一高分子聚合物绝缘层远离所述第二高分子聚合物绝缘层的一侧表面上，所述第一电极层为所述第一结构层中作为所述输出电极的层结构；所述第一高分子聚合物绝缘层为所述第一结构层中作为所述起电界面的层结构；
所述第二高分子聚合物绝缘层为所述第二结构层中作为所述起电界面的层结构；所述第二电极层设置于所述第二高分子聚合物绝缘层远离所述第一高分子聚合物绝缘层的一侧表面上，所述第二电极层为所述第二结构层中作为所述输出电极的层结构；
所述第一高分子聚合物绝缘层与所述第二高分子聚合物绝缘层之间形成起电界面；所述第一高分子聚合物绝缘层和所述第二高分子聚合物绝缘层中的任一者或两者至少包括具有镂空栅格结构的层结构；
当所述第一电极层和所述第一高分子聚合物绝缘层以所述施加速度相对于所述第二高分子聚合物绝缘层和所述第二电极层运动或者所述第二电极层和所述第二高分子聚合物绝缘层以所述施加速度相对于所述第一高分子聚合物绝缘层和所述第一电极层运动时，所述第一高分子聚合物绝缘层和所述第二高分子聚合物绝缘层之间产生的电信号由所述第一电极层和/或所述第二电极层输出。


6.根据权利要求1-5任一项所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一结构层中作为所述起电界面的层结构与所述第二结构层中作为所述起电界面的层结构相互接触；
或者，所述第一结构层中作为所述起电界面的层结构与所述第二结构层中作为所述起电界面的层结构之间具有起电间隙。


7.根据权利要求6所述的加速度传感器，其特征在于，所述相互接触的两个层结构中的至少一个层结构的表面上设置有凸起阵列结构。


8.根据权利要求1-5任一项所述的加速度传感器，其特征在于，所述具有镂空栅格结构的层结构还包括：至少一个复合起电部件；
所述至少一个复合起电部件对应设置在所述具有镂空栅格结构的层结构的镂空区域中，每个所述复合起电部件的形状、大小与其对应设置的所述具有镂空栅格结构的层结构中的镂空区域的形状、大小相匹配，所述至少一个复合起电部件与所述具有镂空栅格结构的层结构材料不同。


9.根据权利要求1-5任一项所述的加速度传感器，其特征在于，所述具有镂空栅格结构的层结构中的每个镂空区域与每个栅格区域的宽度都相等。


10.根据权利要求1-5任一项所述的加速度传感器，其特征在于，还包括：固定移动基板；
在所述第一结构层以所述施加速度相对于所述第二结构层运动时，所述第二结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟强，徐传毅，
申请(专利权)人：纳智源科技唐山有限责任公司，
类型：新型
国别省市：河北;13