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本实用新型提供了一种加速度传感器及加速度测量装置。该加速度传感器包括:第一结构层和第二结构层;两个结构层相对设置形成起电界面,两个结构层均包括作为起电界面的层结构,其任一者或两者中作为起电界面的层结构至少包括具有镂空栅格结构的层结构;其任一...该专利属于纳智源科技(唐山)有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳智源科技(唐山)有限责任公司授权不得商用。
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