一种FTIR测试的样片测试台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种FTIR测试的样片测试台。该种FTIR测试的样片测试台包括工作台；位移机构，位移机构安装于工作台；安装座，安装座安装于位移机构，安装座用于使样片定位；其中，位移机构用于驱动安装座沿直线运动。该种FTIR测试的样片测试台结构简单，通过安装座对样片进行定位、位移机构对样片位置进行调节，方便、简单的实现了对样片进行稳定夹持和位置调节的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种FTIR测试的样片测试台
本技术涉及FTIR测试
，特别涉及FTIR测试的样片测试台。
技术介绍
单晶硅是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，单晶硅材料可以用于制造太阳能电池、半导体器件等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，由于其应用领域的特殊性，要求其纯度达到99.9999％甚至更高，而单晶硅生产过程中由原料及方法等因素难以避免的引入了碳、氧等杂质，直接影响了单晶硅的性能，因而需对单晶硅材料中的碳、氧含量进行控制。目前对单晶硅材料中碳、氧含量常常通过FTIR测试测得，即先通过治具将圆形的单晶硅的样片(样片尺寸一般具有4、5、6寸这三种)夹持固定，并使得样片的圆心与测试设备的红外光射出点保持同一水平高度，通过测试设备朝向样片发出红外光，收集穿过样片的光波并与射出的光波进行比对分析，从而得出样片圆心处或者某一径向的碳、氧含量。目前，购买FTIR测试用的测试设备时，厂家并不配套提供夹持样片的治具，请厂家定做，往往成本较高；市场中的样片夹持用的治具多种多样，导致对样片的夹持效果本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种FTIR测试的样片测试台，其特征在于，包括/n工作台；/n位移机构，所述位移机构安装于所述工作台；/n安装座，所述安装座安装于所述位移机构，所述安装座用于使样片定位；/n其中，所述位移机构用于驱动所述安装座沿直线运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种FTIR测试的样片测试台，其特征在于，包括
工作台；
位移机构，所述位移机构安装于所述工作台；
安装座，所述安装座安装于所述位移机构，所述安装座用于使样片定位；
其中，所述位移机构用于驱动所述安装座沿直线运动。


2.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述位移机构包括：
导轨，所述导轨安装于所述工作台；
滑块，所述滑块滑动连接于所述导轨；
定位装置，所述定位装置用于使所述滑块相对于导轨定位。


3.根据权利要求2所述的测试台，其特征在于，所述定位装置包括：
螺纹连接件，所述螺纹连接件通过螺纹连接于所述滑块开设的螺纹孔；
垫片，所述垫片固定连接于所述螺纹连接件，所述垫片用于与所述导轨或者工作台表面接触。


4.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述安装座开设有至少一个定位槽，所述安装座还包括定位机构，所述定位机构用于使所述样片在所述定位槽中定位。


5.根据权利要求4所述的测试台，其特征在于，所述定位槽有三...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小勇，邹健，
申请(专利权)人：扬州合晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32