激光振荡装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种抑制了激光振荡器的热变形导致的反射镜支承构件的变形的激光振荡装置。该激光振荡装置具有箱体，在该箱体的内部具有产生激光的激光振荡器，引导由该激光振荡器产生的激光的第１反射镜，以及与第１反射镜平行地配置、进一步引导来自第１反射镜的激光的第２反射镜；第１反射镜和第２反射镜都安装于共用的反射镜支承构件，该反射镜支承构件相对激光振荡器的箱体由位于三角形的各顶点的仅３个固定构件机械地接合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于激光加工机等的激光振荡装置。
技术介绍
在由激光束对被加工物进行加工的激光加工机中，使用具有激光振荡器和多个反射镜的激光振荡装置。激光振荡器具有箱体，在该箱体的内部产生激光。该激光作为激光束通过多个反射镜传送到对被加工物进行加工的加工部。激光加工机例如公开于日本特开2002-316291号公报(专利文献1)的图1。在公开于该专利文献1的激光加工机的激光振荡装置中，从激光振荡器输出的直线偏振的激光束由第1折向反射镜进行圆偏振，该受到圆偏振的激光束由第2折向反射镜(凸面镜)和第3折向反射镜(凹面镜)扩大光束直径，同时被校正成大体平行的光束，送出到加工部。一般情况下，从激光振荡器输出的激光中包含直线偏振光成分，该激光的直线偏振光成分使得相对被加工物的、激光的吸收率在加工方向上不同，加工质量产生各向异性。为此，使从激光振荡器输出的激光成为圆偏振光。专利文献1的第1折向反射镜构成将直线偏振光的激光变换成圆偏振光的圆偏振反射镜。另外，在日本特开平11-163442号公报(专利文献2)的图1中，公开了用于激光加工机的YAG激光振荡装置。在该YAG激光振荡装置中，在共用的基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光振荡装置，具有箱体，在该箱体的内部具有产生激光的激光振荡器，引导由上述激光振荡器产生的上述激光的第１反射镜，以及与上述第１反射镜平行地配置、进一步引导来自上述第１反射镜的上述激光的第２反射镜，其特征在于： 上述第１反射镜和上述第２反射镜都安装于共用的反射镜支承构件，该反射镜支承构件相对上述激光振荡器的箱体由位于三角形的各顶点的仅３个固定构件机械地接合。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：船冈幸治，长谷川正彦，玉谷基亮，西田聪，松本康成，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]