用于微型面镜装置的撑柱制造方法及图纸

一个改良的微行面镜装置用的撑柱由导电掺杂半导体组成，并且在常温和极端温度下不受塑胶变形的影响。该撑柱是直接连接到微行面镜装置上，并使光学平面微镜的制作更容易。这就消除了由于微镜反射表面上凹坑所引起的夫琅和费衍射。此外，该撑柱避开了入射光照射从而改善了对比度和占空因数。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术所涉及的是具有一个或多个可动元件的微型面镜装置，而其活动动是用能弯曲的撑柱实现的。
技术介绍
在过去的十年中，微电子机械系统(MEMS)领域获得了突破性的进展，已被应用于加速仪，压力传感器，传动装置以及其他各种机械装置的微型化中。电动机械微型面镜装置就是MEMS装置的一例，因为它能用作空间光调制器(SLMs)而引起了很大的关注。空间光调制器需要排列相当大数量的这种微型面镜装置。一般情况，对每一个SLM需要的装置数量的范围是60,000至数百万个。数字微型面镜装置(DMD)即为微型机械SLM之一例。一个或多个撑柱支撑着每一面镜并容许这些面镜发生倾斜。通过有选择的使每一面镜产生倾斜，来把入射光源或者反射或者不反射至一个成像面上来形成图像。在典型的视频应用中，期望每个面镜能达到每秒66,000次的切换。因此，撑柱的设计与材料对DMD的可靠性就至关重要。关于撑柱可靠性的主要顾虑在于它的范性形变。由于在极限温下连续的应用和工作，撑柱会遭受到机械形变，也称为蠕变。撑柱的这种松弛将会导致，当所有电压都除去时仍有残余的倾斜。这一点，即所谓的撑柱记忆，在“Douglass”“数字微型面镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一个微行面镜装置用的撑柱包含一掺杂半导体，其中所述撑柱不被入射光照射并且是从一组包含悬臂支架撑柱，垂直悬臂支架撑柱，扭转撑柱和复合扭转垂直悬臂支架撑柱中选取的一个类型。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井房雄，
申请(专利权)人：石井房雄，
类型：发明
国别省市：US[美国]