本发明专利技术提供一种激光振荡装置及激光加工机。所述激光振荡装置构成为，具备：将激光气体（２）向放电管（４）输送的鼓风部（１０）；将放电管（４）与鼓风部（１０）连接的气体循环路径（１２）；对在鼓风部（１０）设置的齿轮室的压力进行检测的齿轮室压力检测部（４１）；在由齿轮室压力检测部（４１）检测出的压力比预先设定的规定压力大时产生警报的警报部（４３），其中，规定压力基于鼓风部（１０）的激光气体入口侧（１０ｆ）压力与激光气体出口侧（１０ｇ）压力的平均值来设定。通过该结构，能够防止从鼓风部产生的油雾混入气体循环路径（１２）内及气体消耗量的增加，并且能够在不增加运转成本的情况下长期维持稳定的激光输出。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过鼓风部将激光气体向放电管输送的激光振荡装置及激光加工机。
技术介绍
现有的气体激光振荡装置由例如专利文献1公开。专利文献1中公开的气体激光振荡装置通过对设置在放电管上的两个电极之间施加高电压，而在放电管内产生放电空间。在放电空间的作用下激光气体被激发，从而作为激光通过在放电管的两端设置的全反射镜及部分反射镜而向外部输出。在放电管上结合有形成激光气体的循环路的气体循环路径，在气体循环路径的内部设置有鼓风部。通过该鼓风部，激光气体在放电管和气体循环路径内循环。鼓风部具有转子室，该转子室在内部具有设置在气体循环路径中的气体输送用的转子。鼓风部还具有齿轮室，该齿轮室在内部具有确定转子的旋转时机的齿轮。鼓风部还具有驱动齿轮的驱动部。转子和驱动部彼此通过轴连接。转子室与气体循环路径结合，通过转子使激光气体流动。激光气体的压力由气体压力检测部监视，从而将气体循环路径内部的压力保持为一定。另一方面，通过电动机等进行旋转，鼓风部的驱动部将动力向转子室的转子传递。 在齿轮室收纳有润滑用油，进行轴承及齿轮的润滑。为了抑制由润滑用油产生的油雾向激光气体循环路径的侵入，在转子室与齿轮室之间设置密封部，使转子室与齿轮室分离。但是，在密封部与将转子及驱动部结合的轴之间存在微小的间隙。为了防止油雾因真空扩散通过该间隙而从齿轮室向转子室侵入，使齿轮室比转子室低压。这样，在专利文献1所记载的技术中，形成为防止齿轮室的压力在鼓风部的运转加速时及减速时发生变动而使油雾混入气体循环路径内的结构。但是，在密封部与轴的间隙因磨损或时效变化而扩大的情况下，即使稳定运转时， 转子室与齿轮室的压力差也会减少，从而存在无法得到用于防止油雾的混入的压力差的情况。因此，若在该状态下继续运转，则在齿轮室产生的油雾向气体循环路径内侵入，从而引起激光的输出降低。作为防止转子室与齿轮室的压力差减少的对策，通过与齿轮室连接的齿轮室压力检测部，在齿轮室的压力成为规定的压力以上时由警报部发出警报。但是，在规定的压力的设定过于高时，无法适当地检测转子室与齿轮室的压力差的减少而发生输出降低。反之在规定的压力的设定过于低时，在短期内频繁产生警报，从而维护期间变短而运转成本变高。专利文献1日本特开2000-22243号公报
技术实现思路
本专利技术提供一种能够在适当的时期发现鼓风部10的密封部IOc的间隙扩大，从而进行稳定的激光输出的激光振荡装置及激光加工机。本专利技术的激光振荡装置构成为，具备在内部对激光气体进行放电的放电管；将激光气体向放电管输送的鼓风部；连接放电管与鼓风部的气体循环路径；对在鼓风部设置的齿轮室的压力进行检测的齿轮室压力检测部；在由齿轮室压力检测部检测出的压力与预先设定的规定压力相同或比规定压力大时产生警报的警报部，其中，规定压力基于鼓风部的激光气体入口侧压力与激光气体出口侧压力的平均值来设定。根据这样的结构，能够在不增加运转成本的情况下提供一种激光振荡装置及激光加工机，从而在鼓风部的转子室与齿轮室的密封部的间隙扩大时，能够在适当的时期发现密封部的间隙扩大，从而进行稳定的激光输出。附图说明图1是本专利技术的实施方式1中的激光振荡装置的框图。图2是本实施方式中的激光振荡装置的鼓风部的结构图。图3A是表示本实施方式中的运转时的齿轮室压力随时间而变化的图。图;3B是表示本实施方式中的运转时的激光输出随时间而变化的图。图4是本专利技术的实施方式2中的激光加工机的结构图。具体实施例方式以下，利用图1至图4，对本专利技术的实施方式进行说明。(实施方式1)图1是本专利技术的实施方式1中的激光振荡装置的框图。在图1中，本实施方式的激光振荡装置在放电管4的两端具备阳极电极6和阴极电极7。阳极电极6和阴极电极7 与高电压电源8连接而构成使激光气体2激发的放电部，向放电管4内部的激光气体2放电而形成放电空间3。气体循环路径12与放电管4连接，在气体循环路径12的中途配置有换热器9、鼓风部10、换热器11。激光气体2在放电部4与鼓风部10之间的激光气体2 的气体循环路径12中循环。在本实施方式中，使激光气体2从阳极电极6向阴极电极7流动。另外，在本实施方式中，将放电管4连接成两根相面对，但也可以将放电管4并列排列并通过反射镜折回而光学地连结。放电管4可以不像本实施方式那样为两根，可以一根或三根以上连结。在各放电管4的未连结的各端部配置部分反射镜13及全反射镜14而构成激光共振器。从激光共振器的部分反射镜13输出高输出的激光1。气体循环路径12经由气体供给量调整部22、气体供给电磁阀23与气体供给源21 连接。另外，气体循环路径12还与第一气体排出通路31连接。第一气体排出通路31经由第一气体排出电磁阀32、气体排出停止用电磁阀39与气体排出部40连接。通过气体供给源21和气体排出部40来进行激光气体2的供给和压力调整。图2是表示鼓风部10的结构图。在图2中，鼓风部10具备转子室10a，其在内部具有设置在气体循环路径12中的气体输送用的转子；齿轮室10b，其在内部具有确定转子的旋转时机的齿轮；驱动齿轮的驱动部10d。转子和驱动部IOd彼此通过轴连接。转子室IOa与气体循环路径12连接，通过转子使激光气体2流动。鼓风部10的齿轮室IOb经由油雾捕获部35与第二气体排出通路37连接。第二气体排出通路37经由第二气体排出电磁阀38、气体排出停止用电磁阀39与气体排出部40 连接。另外，如图1所示，在气体循环路径12中设置对内部的激光气体2的压力进行检测的气体压力检测部41。在鼓风部10的齿轮室IOb经由油雾捕获部35而设置齿轮室压力检测部42。气体压力检测部41、齿轮室压力检测部42的输出信号向警报部43输入。需要说明的是，各电磁阀或各部的控制通过兼作警报部43的控制装置进行。对如上那样构成的本实施方式的激光振荡装置的动作进行说明。激光气体2在由电介质构成的放电管4内循环。与在放电管4的周边设置的阳极电极6及阴极电极7连接的高电压电源8在放电管4内产生放电。通过放电使激光气体2激发，从而作为激光1通过全反射镜14及部分反射镜13而向外部输出。通过鼓风部10将激光气体2向放电管4 和形成激光气体2的循环路的气体循环路径12的内部输送。为了降低因放电及鼓风部10 而上升的激光气体2的温度，而配置有换热器9、11。在运转停止状态下，气体循环路径12、鼓风部10及放电管4的内部保持为接近大气压的约90kPa的压力。在运转开始时，打开第一气体排出电磁阀32、第二气体排出电磁阀 38及气体排出停止用电磁阀39，通过气体排出部40的真空泵等将大气排出，从而将压力减至约lltfa左右。在该压力为约lltfa左右时，使鼓风部10开始运转并同时关闭第二气体排出电磁阀38和气体排出停止用电磁阀39，之后打开气体供给电磁阀23而从气体供给源21 供给新鲜的激光气体2，直至成为运转气体压力。当成为运转气体压力时，打开气体排出停止用电磁阀39而将激光气体2排出，同时通过气体压力检测部41进行气体供给电磁阀23的开闭控制，以成为一定的压力。由于在放电空间3中的放电的作用下，激光气体2的组成气体的分子分解而劣化， 因此其一部分被气体排出部40向外部排出。由于激光气体2的压力由气体压力检测部41 监视，因此气体压力检测部本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种激光振荡装置，其具备：在内部对激光气体进行放电的放电管；将所述激光气体向所述放电管输送的鼓风部；连接所述放电管与所述鼓风部的气体循环路径；对设置在所述鼓风部的齿轮室的压力进行检测的齿轮室压力检测部；在由所述齿轮室压力检测部检测出的压力与预先设定的规定压力相同或比所述规定压力大时产生警报的警报部，所述规定压力基于所述鼓风部的激光气体入口侧压力与激光气体出口侧压力的平均值来设定。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：江口聪，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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