【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪,其特征在于其构成是沿光束的前进方向包括:第一雅敏平行平板(1)、左下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板(3)、右下楔形光学平板(4)、右上楔形光学平板(5)、第二雅敏平行平板(6)、偏振移相器、成像镜组(9)和图像传感器(10),该图像传感器(10)的输出端接计算机(11),所述的第二雅敏平行平板(6)与第一雅敏平行平板(1)平行放置,其材料和光学厚度相同,所述的第一雅敏平行平板(1)的入射工作面(A)的分光部位镀有偏振分束薄膜,而另一个工作面(B)的反射部位镀有全反射薄膜,经该第一雅敏平行平板(1)分光后形成两路偏振方向相互垂直的线偏振 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王利娟,刘立人,栾竹,孙建锋,周煜,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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