偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法技术

技术编号:2665937 阅读:246 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法,该测量仪的构成是沿光束的前进方向依次包括:第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传感器,该图像传感器的输出端接计算机。本发明专利技术不仅保持了双剪切干涉波面测量仪的所有特点,而且具有灵敏度高、能精确测量任意对称波面并给出完整波面轮廓等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪,其特征在于其构成是沿光束的前进方向包括:第一雅敏平行平板(1)、左下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板(3)、右下楔形光学平板(4)、右上楔形光学平板(5)、第二雅敏平行平板(6)、偏振移相器、成像镜组(9)和图像传感器(10),该图像传感器(10)的输出端接计算机(11),所述的第二雅敏平行平板(6)与第一雅敏平行平板(1)平行放置,其材料和光学厚度相同,所述的第一雅敏平行平板(1)的入射工作面(A)的分光部位镀有偏振分束薄膜,而另一个工作面(B)的反射部位镀有全反射薄膜,经该第一雅敏平行平板(1)分光后形成两路偏振方向相互垂直的线偏振干涉光束,所述的第二...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王利娟刘立人栾竹孙建锋周煜
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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