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一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法,该测量仪的构成是沿光束的前进方向依次包括:第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传感器,该图像传感...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法,该测量仪的构成是沿光束的前进方向依次包括:第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传感器,该图像传感...