用于产生激光射线均匀角度分布的装置制造方法及图纸

用于产生激光射线（１７）的均匀角度分布的装置，包括第一个均匀化级（１０），待均匀化的激光射线（１７）可以穿过该均匀化级，其中第一个均匀化级（１０）具有带有第一透镜阵列（４）的第一衬底（１），还包括第二个均匀化级（１１），从第一个均匀化级（１０）射出的激光射线（１７）可以穿过该第二个均匀化级，其中第二个均匀化级（１１）具有带有第二透镜阵列（５）的第二衬底（２）和带有第三透镜阵列（６）的第三衬底（３），并且其中角度分布受到第二和第三衬底（２，３）的间距（ｄ↓［１］，ｄ↓［２］）的影响。

【技术实现步骤摘要】
用于产生潔jUt线均匀角>1^布的装置 本专利技术涉及如^，j^"求1前序部分的一^用于产生^ut均匀角^^布的装置。j^h^专利技术涉及了多个这种^e。由欧洲专利申请EP1 489 439 Al公开了UJi类型的装置。其中描述的 装置包含两个均匀化圾，它们被^iti4射线的传播方向。这两级中的4— i^^有一个^^A^面上带有柱面透镜阵列以及在出射面上带有与前者交叉的 柱面透镜阵列的衬底。通itit种两级式的构造，既可以^^Mt线的空间分布 均匀化，也可以使它的角JL^布均匀化。这可以通i^'J用交叉的柱面透錄两 个独立的方向上实现，例如在作为 源的二极管^#上一个所谓的快# 一个所谓的慢轴上实现。各级之间的距离Jj^上与两个透镜阵列的禁J 財目对应，^il样的装置中財以下故泉，即^^^^Ht镜阵列出射时通过系,造 预先给定了一个固定的角^^布。这个角^^布成像时通it^透^L工作平面 上得到了一个具有预定大小的均匀照射区域。例如当借助于这样的装置产生一 ,匀的线时，在预定工作平面上线的"ML通过该装置的构造、特别是通Hit 些透镜I^'J的禁JE^C预;5b^定，4^专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于产生激光射线（１７）的均匀角度分布的装置，包括－带有第一衬底（１）的第一个均匀化级（１０），该衬底具有一个入射面和一个出射面，其中在这个入射面和／或出射面上形成了第一透镜阵列（４），待均匀化的激光射线（１７）可以穿过这个透镜阵列；－带有第二衬底（２）的第二个均匀化级（１１），该衬底具有一个入射面和一个出射面，其中在这个入射面和／或出射面上形成了第二透镜阵列（５），已从第一透镜阵列（４）出射的激光射线（１７）可以穿过这个第二透镜阵列，其中从第二个均匀化级（１１）出射后的激光射线（１７）具有相对均匀的角度分布；其特征在于，第二个均匀化级（１１）除了第二衬底（２）外还包含第三衬底（３），该第...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安德列斯拜尔，
申请(专利权)人：翰兹利索兹切科专利管理有限公司及两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[]