用于使光束成型的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于使光束成型的装置，包括至少两个光学功能界面（２４，２５，２６，２７），这些光学功能界面在要被成型的光束（２１）的传播方向（Ｚ）上一个接一个地排列，这样光束（２１）可以先后穿过至少两个光学功能界面（２４，２５，２６，２７），在这些光学功能界面（２４，２５，２６，２７）中的至少一个光学功能界面上设置了两组折射或衍射成像元件，其中在这些组的至少一组中，至少两个成像元件具有不同的特性。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于使光束成型的装置，包括至少两个光学功能界面，这些光学功能界面在要成型的光束的传播方向上一个接一个地排列，这样光束可以先后穿过至少两个光学功能界面。并且包括设置在至少一个光学功能界面上的两组折射或衍射成像元件。
技术介绍
前面提到的这种装置例如可用于对激光束，特别是由受激准分子激光器发出的激光进行均匀化。例如由DE 199 15 000 A1已知一种用于对受激准分子激光进行均匀化的装置，包括由球形柱面透镜组成的两组透镜阵列。其中这些透镜阵列形成了两个相隔一定间距的光学功能界面，要成型的光束可以一个接一个地穿过这些界面，柱面透镜被连续设置在相隔一定间距的光学功能界面上，使得一条与第一个光学功能界面基本垂直入射的分光束穿过第一个光学功能界面上的柱面透镜，然后紧接着穿过第二个光学功能界面上与所述柱面透镜中心对齐的一个柱面透镜，这样穿过这两个光学功能界面的分光束可以经由一个设计为傅里叶透镜的聚光透镜叠加到处理平面上。这个装置证明是有缺点的，球形柱状透镜被一个挨一个地设置在一起，这样在它们之间就出现了一个未被定义的过渡区域，当光束穿过这个过渡区域时将不受控制或无法被控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于使光束成型的装置，包括：－至少两个光学功能界面（２４，２５，２６，２７），这些光学功能界面在要被成型的光束（２１）的传播方向（ｚ）上一个接一个地排列，这样光束（２１）能先后穿过至少两个光学功能界面（２４，２５，２６，２７）， －两组折射或者衍射成像元件，它们被设置在光学功能界面（２４，２５，２６，２７）中的至少一个光学功能界面上，其特征在于：－在上述两组成像元件中的至少一组中，至少两个成像元件具有不同的特征。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：豪席尔德德克，
申请(专利权)人：翰兹利索兹切科专利管理有限公司及两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]