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用于产生激光射线（１７）的均匀角度分布的装置，包括第一个均匀化级（１０），待均匀化的激光射线（１７）可以穿过该均匀化级，其中第一个均匀化级（１０）具有带有第一透镜阵列（４）的第一衬底（１），还包括第二个均匀化级（１１），从第一个均匀化级（１...该专利属于翰兹-利索兹切科专利管理有限公司及两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过翰兹-利索兹切科专利管理有限公司及两合公司授权不得商用。