测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法技术

本发明专利技术提供一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。一种测定测头的不良状况判定单元，该测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；四个检测元件，其能够检测接触部的移动；以及信号处理部，其对从四个检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，该测定测头的不良状况判定单元具备：不良状况判定部，其在被测定物不与接触部接触的状态下，将与生成信号对应的四个判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个判定信号大于规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及判定结果输出部，其输出不良状况判定部的判定结果。由此，能够通过简单的结构来确保测定的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法相关申请的交叉引用在2019年6月7日提交的日本专利申请No.2019-107515的公开内容所包含的说明书、附图以及权利要求书的全部内容通过引用合并于此。
本专利技术涉及一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法，特别是涉及一种能够通过简单的结构来确保测定的可靠性的测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。
技术介绍
以往提出了专利文献1所示那样的测定测头。该测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；测头外壳，其能够将测针支承于轴心上；检测元件，其能够检测接触部的移动；以及信号处理电路，其对检测元件的输出进行处理。信号处理电路对从检测元件输出的传感器信号进行处理，从而将触碰信号输出到外部。通过该触碰信号，能够准确地测定被测定物的形状。
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在日本专利6212148号公报所示那样的测定测头中，即使在内部产生对测定精度带来影响那样的不良状况，也有可能没有注意到该不良状况而导致继续使用。于是，之后才知晓在测定结果中存在不良状况，使得测定结果浪费。认为这种情形的结果可能会招致测定测头的测定的可靠性降低。本专利技术是为了解决所述的问题点而完成的，其课题在于提供一种能够通过简单的结构来确保测定的可靠性的测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。用于解决问题的方案本申请的第1专利技术所涉及的专利技术通过下面的结构解决了所述课题，即，一种测定测头的不良状况判定单元，所述测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；一个以上的检测元件，所述一个以上的检测元件能够检测该接触部的移动；以及信号处理部，其对从所述一个以上的检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，所述测定测头的不良状况判定单元具备：不良状况判定部，其在所述被测定物不与所述接触部接触的状态下，将与所述生成信号对应的一个以上的判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个所述判定信号大于该规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及判定结果输出部，其输出该不良状况判定部的判定结果。本申请的第2专利技术所涉及的专利技术为，在所述信号处理部的前级具备信号放大部，所述信号放大部将所述检测元件的输出分别进行放大，将所述生成信号设为该信号放大部的放大信号。本申请的第3专利技术所涉及的专利技术为，在所述信号放大部与所述信号处理部之间具备偏移校正部，所述偏移校正部对所述放大信号进行滤波。本申请的第4专利技术所涉及的专利技术为，所述测定测头的不良状况判定单元设置有：信号放大部，其对所述检测元件的输出分别进行差动放大；以及反馈型的偏移校正部，其与该信号放大部的输入端及输出端分别连接，将所述生成信号设为从该偏移校正部输出的要在所述信号放大部中与所述检测元件的输出相减的偏移信号。本申请的第5专利技术所涉及的专利技术为，在所述偏移校正部与所述信号放大部之间具备D/A变换器，所述D/A变换器将该偏移校正部的输出分别变换为模拟信号，在该信号放大部与所述信号处理部之间具备A/D变换器，所述A/D变换器将该信号放大部的输出分别变换为数字信号，将从所述信号放大部向所述偏移校正部输入的输入信号设为经由了所述A/D变换器的数字放大信号，将所述生成信号设为要经由所述D/A变换器向所述信号放大部输入的数字偏移信号，所述信号处理部、所述偏移校正部以及所述不良状况判定部构成数字信号处理部。本申请的第6专利技术所涉及的专利技术为，所述测定测头还具备：测头外壳，其能够将所述测针支承于轴心上；以及一个以上的支承构件，所述一个以上的支承构件呈旋转对称形状，沿该测头外壳的轴向配置，容许所述测针的姿势变化，在至少一个所述支承构件的能够变形的臂部，四个所述检测元件配置于四重对称的位置。本申请的第7专利技术所涉及的专利技术为，将所述检测元件设为应变片。本申请的第8专利技术所涉及的专利技术为，将所述判定信号设为固定差分值，所述固定差分值是所述生成信号与规定的固定值之差，将所述规定的阈值设为与该固定差分值对应地决定的固定阈值，所述不良状况判定部分别将该固定差分值与该固定阈值进行比较。本申请的第9专利技术所涉及的专利技术为，使所述判定信号具备固定差分值和变动差分值，所述固定差分值是所述生成信号与规定的固定值之差，以任一个本次获得的所述生成信号为变动基准信号、或者以所有本次获得的所述生成信号的平均为变动基准信号，所述变动差分值是该变动基准信号与本次获得的所述生成信号之差，所述规定的阈值具备与所述固定差分值对应的固定阈值以及与该变动差分值对应的变动阈值，所述不良状况判定部分别将该固定差分值与该固定阈值进行比较并且将该变动差分值与该变动阈值进行比较。本申请的第10专利技术所涉及的专利技术为，将所述规定的固定值设为在所述检测元件被嵌入于所述测定测头时最初获得的生成信号。本申请的第11专利技术所涉及的专利技术为，将所述判定信号设为变动差分值，以任一个本次获得的所述生成信号为变动基准信号，所述变动差分值是该变动基准信号与本次获得的所述生成信号之差，将所述规定的阈值设为与该变动差分值对应的变动阈值，所述不良状况判定部分别将该变动差分值与该变动阈值进行比较。本申请的第12专利技术所涉及的专利技术为，将所述判定信号设为变动差分值，以所有本次获得的所述生成信号的平均为变动基准信号，所述变动差分值是该变动基准信号与本次获得的所述生成信号之差，将所述规定的阈值设为与该变动差分值对应的变动阈值，所述不良状况判定部分别将该变动差分值与该变动阈值进行比较。本申请的第13专利技术所涉及的专利技术为，将所述规定的阈值设为针对每个所述判定信号而不同的值。本申请的第14专利技术所涉及的专利技术为，针对一个所述判定信号设置有两个以上的所述规定的阈值，在所述判定结果输出部中，所述不良状况的等级是以两级以上输出的。本申请的第15专利技术所涉及的专利技术为，所述判定结果输出部具备能够判别所述判定结果的显示部。本申请的第16专利技术所涉及的专利技术是一种测定测头的不良状况判定方法，所述测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；一个以上的检测元件，所述一个以上的检测元件能够检测该接触部的移动；以及信号处理部，其对从所述一个以上的检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，所述测定测头的不良状况判定方法包括以下工序：设为使所述接触部不与所述被测定物接触的状态；将与所述生成信号对应的一个以上的判定信号同规定的阈值进行比较；以及如果任一个所述判定信号大于该规定的阈值，则判定为存在不良状况并输出判定结果。根据本专利技术，能够提供能够通过简单的结构来确保测定的可靠性的测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。通过以下对优选的实施例的详细描述，本专利技术的这些特征及优点以及其它新的特征及优点将变得显而易见。附图说明参考附图来说明优选的实施例，其中，在所有附图中，相同的元件用相同的标记来表示。图1是示出使用本专利技术的第一实施方式所涉及的测定测头的测定系统的一例的示意图。图2是示出图1的测定测头的截面的示意图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测定测头的不良状况判定单元，所述测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；一个以上的检测元件，所述一个以上的检测元件能够检测该接触部的移动；以及信号处理部，其对从所述一个以上的检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，所述测定测头的不良状况判定单元的特征在于，具备：/n不良状况判定部，其在所述被测定物不与所述接触部接触的状态下，将与所述生成信号对应的一个以上的判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个所述判定信号大于该规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及/n判定结果输出部，其输出该不良状况判定部的判定结果。/n

【技术特征摘要】
20190607 JP 2019-1075151.一种测定测头的不良状况判定单元，所述测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；一个以上的检测元件，所述一个以上的检测元件能够检测该接触部的移动；以及信号处理部，其对从所述一个以上的检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，所述测定测头的不良状况判定单元的特征在于，具备：
不良状况判定部，其在所述被测定物不与所述接触部接触的状态下，将与所述生成信号对应的一个以上的判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个所述判定信号大于该规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及
判定结果输出部，其输出该不良状况判定部的判定结果。


2.根据权利要求1所述的测定测头的不良状况判定单元，其特征在于，
在所述信号处理部的前级具备信号放大部，所述信号放大部将所述检测元件的输出分别进行放大，
所述生成信号设为该信号放大部的放大信号。


3.根据权利要求2所述的测定测头的不良状况判定单元，其特征在于，
在所述信号放大部与所述信号处理部之间具备偏移校正部，所述偏移校正部对所述放大信号进行滤波。


4.根据权利要求1所述的测定测头的不良状况判定单元，其特征在于，
所述测定测头的不良状况判定单元设置有：信号放大部，其对所述检测元件的输出分别进行差动放大；以及反馈型的偏移校正部，其与该信号放大部的输入端及输出端分别连接，
所述生成信号设为从该偏移校正部输出的要在所述信号放大部中与所述检测元件的输出相减的偏移信号。


5.根据权利要求4所述的测定测头的不良状况判定单元，其特征在于，
在所述偏移校正部与所述信号放大部之间具备D/A变换器，所述D/A变换器将该偏移校正部的输出分别变换为模拟信号，在该信号放大部与所述信号处理部之间具备A/D变换器，所述A/D变换器将该信号放大部的输出分别变换为数字信号，
从所述信号放大部向所述偏移校正部输入的输入信号设为经由了所述A/D变换器的数字放大信号，
所述生成信号设为要经由所述D/A变换器向所述信号放大部输入的数字偏移信号，
所述信号处理部、所述偏移校正部以及所述不良状况判定部构成数字信号处理部。


6.根据权利要求1所述的测定测头的不良状况判定单元，其特征在于，
所述测定测头还具备：测头外壳，其能够将所述测针支承于轴心上；以及一个以上的支承构件，所述一个以上的支承构件呈旋转对称形状，沿该测头外壳的轴向配置，容许所述测针的姿势变化，
在至少一个所述支承构件的能够变形的臂部，四个所述检测元件配置于四重对称的位置。


7.根据权利要求1所述的测定测头的不良状况判定单元，其特征在于，
所述检测元件设为应变片。


8.根据权利要求1所述的测定测头的不良状况判定单元，其特征在于，
所述判定信号设为固定差分值，所述固定差分值是所述生成信号与规定的固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤章宪，古贺聪，金森宏之，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本;JP