下载测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法的技术资料

文档序号:26649106

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本发明提供一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。一种测定测头的不良状况判定单元,该测定测头具备:测针,其具有与被测定物接触的接触部;四个检测元件,其能够检测接触部的移动;以及信号处理部,其对从四个检测元件的输出获得的生成信号进...
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