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测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法技术
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文档序号:26649106
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本发明提供一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。一种测定测头的不良状况判定单元,该测定测头具备:测针,其具有与被测定物接触的接触部;四个检测元件,其能够检测接触部的移动;以及信号处理部,其对从四个检测元件的输出获得的生成信号进...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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