【技术实现步骤摘要】
一种运动台及其控制方法
本专利技术实施例涉及运动台
，尤其涉及一种运动台及其控制方法。
技术介绍
多轴运动台能够在多个方向上运动，可以实现对工件的运输。例如，在晶圆生产及制造时，可以将多轴运动台运动到装载位，然后在装载位处将晶圆、掩膜版等工件装载到多轴运动台上；还可以将装载有工件的多轴运动台运动到目标位置，然后在目标位置处对工件进行检测或其他操作。生产过程中，如果位置检测部件(例如光栅尺)、驱动部件(例如电机)或其他部件损坏，多轴运动台运动到的实际位置和预设目标位置可能存在较大的偏差，造成在错误的位置处进行诸如上下晶圆、掩膜版等操作，或造成对运动台的错误运动控制进而产生运动碰撞事故，因此，有必要对多轴运动台的目标位置进行到位检测。多轴运动台目标位置到位检测，指运动台运动到预设目标位置后通过检测手段对该位置进行确认，以便在目标位置处开展上下晶圆、掩膜版等工作。现有的多轴运动台各运动轴上均设置有光栅尺，通过光栅尺可实现到位检测，结构复杂，成本较高，并且对于采用模拟量光栅尺进行到位检测的方案，在长时间运行后模拟量光栅...
【技术保护点】
1.一种运动台，其特征在于，包括机架和至少两个移动台；/n所述机架包括机架底座和机架侧壁，至少两个所述移动台叠层设置于所述机架底座上，且任意两个所述移动台的移动方向不同；/n所述运动台还包括到位检测模块，用于判定所述运动台是否到达目标位置；/n所述到位检测模块包括光电传感器和反射单元，所述光电传感器固定于所述机架侧壁上，所述反射单元与所述至少两个移动台中的最顶层移动台连接并能随所述最顶层移动台一起运动；/n所述到位检测模块判定所述运动台是否到达目标位置包括：所述光电传感器出射第一光束，仅当所述运动台到达所述目标位置时，所述反射单元运动至所述第一光束的传输光路上，并将所述第一...
【技术特征摘要】
1.一种运动台，其特征在于，包括机架和至少两个移动台；
所述机架包括机架底座和机架侧壁，至少两个所述移动台叠层设置于所述机架底座上，且任意两个所述移动台的移动方向不同；
所述运动台还包括到位检测模块，用于判定所述运动台是否到达目标位置；
所述到位检测模块包括光电传感器和反射单元，所述光电传感器固定于所述机架侧壁上，所述反射单元与所述至少两个移动台中的最顶层移动台连接并能随所述最顶层移动台一起运动；
所述到位检测模块判定所述运动台是否到达目标位置包括：所述光电传感器出射第一光束，仅当所述运动台到达所述目标位置时，所述反射单元运动至所述第一光束的传输光路上，并将所述第一光束反射至所述光电传感器。
2.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，所述最顶层移动台用于放置工件，并且每个非最顶层的移动台沿其相应的运动轴运动时，同时带动位于其上方的所有移动台随之一起运动。
3.根据权利要求2所述的运动台，其特征在于，还包括第一转接件和第二转接件，所述光电传感器通过所述第一转接件固定在所述机架侧壁上，所述反射单元通过所述第二转接件固定在所述至少两个移动台中的最顶层移动台上。
4.根据权利要求2所述的运动台，其特征在于，至少两个所述移动台包括第一移动台，所述第一移动台的移动方向与所述第一光束的传播方向相同；
所述光电传感器还用于测量所述反射单元与所述光电传感器之间沿第一光束的传播方向的距离。
5.根据权利要求2所述的运动台，其特征在于，至少两个所述移动台包括自下而上依次叠层设置于所述机架底座上的第二移动台、第三移动台、第一移动台和第四移动台，所述第二移动台的移动方向与所述第三移动台的移动方向垂直，且所述第二移动台的移动方向和所述第三移动台的移动方向均与所述第一移动台的移动方向垂直，且所述第一移动台的移动方向与所述第一光束的传播方向平行，所述第四移动台沿旋转轴旋转，所述旋转轴的延伸方向与所述第一移动台的移动方向平行。
6.根据权利要求2所述的运动台，其特征在于，所述第一光束的直径为D1，所述反射单元包括光线反射区域，所述光线反射区域的直径为D2，其中，0≤(D2-D1)≤2*A，A为预设水平向偏差。
7.根据权利要求6所述的运动台...
【专利技术属性】
技术研发人员：章富平，李仲禹，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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