温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种运动台及其控制方法。其中，运动台包括机架和至少两个移动台，机架包括机架底座和机架侧壁，至少两个移动台叠层设置于机架底座上，且任意两个移动台的移动方向不同，还包括用于判定运动台是否到达目标位置的到位检测模块，到位检测模块包括光...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。