【技术实现步骤摘要】
管式炉及其控制方法
本专利技术涉及管式炉
，特别是涉及一种管式炉及其控制方法。
技术介绍
管式炉被广泛应用于化学气相沉积、材料的热还原、材料的气体还原及材料高温退火烧结等工艺。管式炉一般主要由以下几个部分组成：反应腔体、加热系统、密封系统、散热系统、气体控制系统以及真空系统。传统的管式炉操作较为繁杂，需要耗费大量的人力，例如在进行化学气相沉积工艺制备石墨烯的过程中，需要依靠人员进行繁杂的密封抽真空、预热加热等操作，不利于生产、科研工作效率的提高。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种自动化程度高的管式炉及其控制方法。一种管式炉，包括机座、炉膛、炉管、真空泵、气压检测器、清洗机构以及控制机构；所述炉膛设置在所述机座上，所述炉管穿设于所述炉膛，所述真空泵连通于所述炉管，所述气压检测器用于检测所述炉管内的气压，所述清洗机构包括第一气体管道以及的第一气体流量控制器，第一气体管道连通于所述炉管以用于向所述炉管内通入第一气体，所述第一气体流量控制器设置在所述第一气体管道上；所述控制机构与...
【技术保护点】
1.一种管式炉，其特征在于，包括机座、炉膛、炉管、真空泵、气压检测器、清洗机构以及控制机构；所述炉膛设置在所述机座上，所述炉管穿设于所述炉膛，所述真空泵连通于所述炉管，所述气压检测器用于检测所述炉管内的气压，所述清洗机构包括第一气体管道以及的第一气体流量控制器，第一气体管道连通于所述炉管以用于向所述炉管内通入第一气体，所述第一气体流量控制器设置在所述第一气体管道上；/n所述控制机构与所述真空泵、气压检测器以及第一气体流量控制器电性连接，以用于控制以下动作：/n控制所述真空泵对所述炉管抽真空，当所述气压检测器检测到所述炉管内的气压达到第一气压设定值时，控制所述真空泵停止抽真空...
【技术特征摘要】
1.一种管式炉，其特征在于，包括机座、炉膛、炉管、真空泵、气压检测器、清洗机构以及控制机构；所述炉膛设置在所述机座上，所述炉管穿设于所述炉膛，所述真空泵连通于所述炉管，所述气压检测器用于检测所述炉管内的气压，所述清洗机构包括第一气体管道以及的第一气体流量控制器，第一气体管道连通于所述炉管以用于向所述炉管内通入第一气体，所述第一气体流量控制器设置在所述第一气体管道上；
所述控制机构与所述真空泵、气压检测器以及第一气体流量控制器电性连接，以用于控制以下动作：
控制所述真空泵对所述炉管抽真空，当所述气压检测器检测到所述炉管内的气压达到第一气压设定值时，控制所述真空泵停止抽真空；
控制所述第一气体流量控制器开启，当所述气压检测器检测到所述炉管内的气压达到第二气压设定值时，控制所述第一气体流量控制器关闭，控制所述真空泵再次对所述炉管抽真空至第三气压设定值。
2.如权利要求1所述的管式炉，其特征在于，所述管式炉还包括第二气体管道、第二气体流量控制器、第三气体管道上以及第三气体流量控制器，所述第二气体管道连通于所述炉管以用于向所述炉管内通入第二气体，所述第二气体流量控制器设置在所述第二气体管道上，所述第三气体管道连通于所述炉管以用于向所述炉管内通入第三气体，所述第三气体流量控制器设置在所述第二气体管道上；
所述控制机构还与所述第二气体流量控制器、所述第三气体流量控制器以及所述炉膛的加热元件电性连接，以用于控制以下动作：
控制所述第二气体流量控制器开启，向所述炉管内通入第二气体；
控制所述炉膛升温至第一温度设定值，以对所述炉管进行加热；
控制所述第三气体流量控制器开启，向所述炉管内通入第三气体，至第一设定时长，所述第三气体流量控制器关闭。
3.如权利要求2所述的管式炉，其特征在于，所述管式炉为滑轨式管式炉，在所述控制机构控制所述真空泵对所述炉管抽真空至所述第三气压设定值之后且在所述控制机构控制第二气体管道上的第二气体流量控制器开启之前，所述控制机构控制所述炉膛移动至目标加热位置并锁定；在所述控制机构控制所述炉膛降温之后且在所述控制机构控制所述第二气体流量控制器关闭之前，当所述炉膛的温度降至第三温度设定值时，所述控制机构控制所述炉膛移出所述目标加热位置并锁定，所述第三温度设定值高于所述第二温度设定值。
4.如权利要求3所述的管式炉，其特征在于，所述炉膛的材料采用多晶莫来纤维真空吸附成型；和/或
所述加热元件采用OCr27A17Mo2电热丝加工而成。
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【专利技术属性】
技术研发人员：潘登，谢子奇，张云宝，邓佳，
申请(专利权)人：深圳前海石墨烯产业有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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