一种氮化硅烧结炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种氮化硅烧结炉，包括炉体，炉体的底部左右两侧安装有支撑脚，炉体的左侧安装有炉盖，炉体与炉盖之间通过齿啮式卡箍连接，炉盖与炉体的连接处安装设置有第一密封圈和第二密封圈，炉体的顶部安装设置有多个抽真空装置和多个电极口，炉体的底部安装设置有进气口，炉体的侧壁安装有放空口，炉体与外部管道联通的管口设置有过滤装置，炉体的内腔安装设置有承载小车。本实用新型专利技术解决了目前的烧结装置，不够安全简便，烧结效率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化硅烧结炉
本技术涉及氮化硅烧结炉
，具体为一种氮化硅烧结炉。
技术介绍
氮化硅（Si3N4）是氮和硅的化合物。在自然界里，氮、硅都是极其普通的元素，在我们生活的世界上无所不在，然而，至今人们还未发现自然界里存在这两种元素的化合物。目前存在的氮化硅均是在人工条件下合成的。氮化硅陶瓷是由无机粉体烧结制备而来的，且目前的烧结装置，不够安全简便，烧结效率较低，为此，我们设计了一种氮化硅烧结炉。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种氮化硅烧结炉，解决目前的烧结装置，不够安全简便，烧结效率较低的问题。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种氮化硅烧结炉，包括炉体，所述炉体的底部左右两侧安装有支撑脚，所述炉体的左侧安装有炉盖，所述炉体与炉盖之间通过齿啮式卡箍连接，所述炉盖与炉体的连接处安装设置有第一密封圈和第二密封圈，所述炉体的顶部安装设置有多个抽真空装置和多个电极口，所述炉体的底部安装设置有进气口，所述炉体的侧壁安装有放空口，所述炉体与外部管道联通的管口设置有过滤装置，所述炉体的内腔安装设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化硅烧结炉，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的底部左右两侧安装有支撑脚（9），所述炉体（1）的左侧安装有炉盖（2），所述炉体（1）与炉盖（2）之间通过齿啮式卡箍（11）连接，所述炉盖（2）与炉体（1）的连接处安装设置有第一密封圈（3）和第二密封圈（4），所述炉体（1）的顶部安装设置有多个抽真空装置（5）和多个电极口（7），所述炉体（1）的底部安装设置有进气口（6），所述炉体（1）的侧壁安装有放空口（8），所述炉体（1）与外部管道联通的管口设置有过滤装置（10），所述炉体（1）的内腔安装设置有承载轨道（12）。/n

【技术特征摘要】
1.一种氮化硅烧结炉，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的底部左右两侧安装有支撑脚（9），所述炉体（1）的左侧安装有炉盖（2），所述炉体（1）与炉盖（2）之间通过齿啮式卡箍（11）连接，所述炉盖（2）与炉体（1）的连接处安装设置有第一密封圈（3）和第二密封圈（4），所述炉体（1）的顶部安装设置有多个抽真空装置（5）和多个电极口（7），所述炉体（1）的底部安装设置有进气口（6），所述炉体（1）的侧壁安装有放空口（8），所述炉体（1）与外部管道联通的管口设置有过滤装置（10），所述炉体（1）的内腔安装设置有承载轨道（12）。


2.根据权利要求1所述的一种氮化硅烧结炉，其特征在于：所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫修乾，李学臣，康春芳，
申请(专利权)人：江苏东方瑞吉能源装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32