下载一种氮化硅烧结炉的技术资料

文档序号:26100672

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本实用新型涉及一种氮化硅烧结炉,包括炉体,炉体的底部左右两侧安装有支撑脚,炉体的左侧安装有炉盖,炉体与炉盖之间通过齿啮式卡箍连接,炉盖与炉体的连接处安装设置有第一密封圈和第二密封圈,炉体的顶部安装设置有多个抽真空装置和多个电极口,炉体的底部...
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