一种安全高效的自动扩膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种安全高效的自动扩膜设备，包括工作安装台，工作安装台设有用于加载放置待扩膜加工物的工作加载面，同时工作安装台可相对旋转地安装有压盘安装架，压盘安装架上安装有与工作加载面对应上下压合的扩晶环压盘；工作加载面的下方固定连接驱动器用于实现相对工作安装台可上下升降位移；其中，工作加载面外周设有扩膜内环，扩晶环压盘内周设有与扩膜内环挤压安装配合的扩膜外环；同时工作安装台上设有用于将压盘安装架与工作安装台进行锁紧的锁紧模块；本实用新型专利技术安装结构简单，制造成本低，操作过程安全，而且具有稳定可靠的挤压扩膜效果，非常适合规模推广应用。

【技术实现步骤摘要】
一种安全高效的自动扩膜设备
本技术涉及半导体封装切割加工
，具体涉及了一种安全高效的自动扩膜设备。
技术介绍
由于半导体材料在经过精密划片切割后需要进行测试，如果芯片之间的间距太小，容易发生串扰问题，因此，在半导体材料完成切割后通常需要采用蓝膜或类似防护膜通过扩膜机进行拉伸，用于扩大芯片之间的间距。也就是说，扩膜机是将切割完毕后的芯片进行扩膜拉伸的半导体材料扩张设备。现有的扩膜机大多是采用手动扩膜，不仅费时而且费力，为了改善手动扩膜存在的技术问题，目前已有一些半自动化扩膜机技术，例如，公开号为CN108807236A的专利技术专利公开了一种半自动扩膜机，基座的上升通过串连的高精度步进电机和压电致动器件驱动，用于提高扩膜时芯片间距的精度，同时通过带有CCD图像采集装置的显微镜监测和记录扩膜过程，设备成本昂贵，而且该方案需要在压环上方设有气缸驱动的盖体用于实现手动扩膜，不仅操作效率低下，导致设备安装高度过高，存在安全隐患。此外，其扩膜机子母环均设于基座上，然后采用压环旋转后进行压合，挤压扩膜效果的稳定可靠性较差。<br>因此，本申请人本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种安全高效的自动扩膜设备，包括工作安装台，所述工作安装台设有用于加载放置待扩膜加工物的工作加载面，同时所述工作安装台可相对旋转地安装有压盘安装架，所述压盘安装架上安装有与所述工作加载面对应上下压合的扩晶环压盘；其特征在于，所述工作加载面的下方固定连接驱动器用于实现相对所述工作安装台可上下升降位移；其中，所述工作加载面外周设有扩膜内环，所述扩晶环压盘内周设有与所述扩膜内环挤压安装配合的扩膜外环；同时所述工作安装台上设有用于将所述压盘安装架与所述工作安装台进行锁紧的锁紧模块。/n

【技术特征摘要】
20200416 CN 20202055941341.一种安全高效的自动扩膜设备，包括工作安装台，所述工作安装台设有用于加载放置待扩膜加工物的工作加载面，同时所述工作安装台可相对旋转地安装有压盘安装架，所述压盘安装架上安装有与所述工作加载面对应上下压合的扩晶环压盘；其特征在于，所述工作加载面的下方固定连接驱动器用于实现相对所述工作安装台可上下升降位移；其中，所述工作加载面外周设有扩膜内环，所述扩晶环压盘内周设有与所述扩膜内环挤压安装配合的扩膜外环；同时所述工作安装台上设有用于将所述压盘安装架与所述工作安装台进行锁紧的锁紧模块。


2.根据权利要求1所述的安全高效的自动扩膜设备，其特征在于，所述压盘安装架包括安装连接为一体的压盘安装架体和压盘安装架连接件，其中，所述压盘安装架体可相对旋转地安装在所述工作安装台上，所述锁紧模块...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨云龙，吴家炜，胡章坤，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32