一种半导体材料氧化处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体材料氧化处理设备，包括工作台，所述工作台的下表面靠近两侧位置均固定安装有支撑脚，且工作台的下表面靠近中间位置连接有收纳箱，所述工作台的上表面靠近中间位置固定安装有氧化处理箱，所述氧化处理箱的顶部连接有吹风装置，所述工作台的上表面支撑有放置台，所述放置台的下表面固定安装有滑块，所述工作台的上表面开设有与滑块相匹配的滑槽，且工作台的上表面靠近放置台的外侧位置固定安装有齿条，所述放置台的外表面连接有电动机，所述电动机的输出端连接有齿轮。本实用新型专利技术所述的一种半导体材料氧化处理设备，能够均匀的向半导体材料表面吹送热风，且能够对半导体材料进行压紧。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料氧化处理设备
本技术涉及半导体加工相关设备领域，特别涉及一种半导体材料氧化处理设备。
技术介绍
半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息，半导体材料氧化处理设备是一种对半导体材料进行氧化处理的加工设备；现有的半导体材料氧化处理设备在使用时不能够均匀的向半导体材料表面吹送热风，不能够对半导体材料进行压紧。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种半导体材料氧化处理设备，可以有效解决
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种半导体材料氧化处理设备，包括工作台，所述工作台的下表面靠近两侧位置均固定安装有支撑脚，且工作台的下表面靠近中间位置连接有收纳箱，所述工作台的上表面靠近中间位置固定安装有氧化处理箱，所述氧化处理箱的顶部连接有吹风装置，所述工作台的上表面支撑有放置台，所述放置台的下表面固定安装有滑块，所述工作台的上表面开设有与滑块相匹配的滑槽，且工作台的上表面靠近放置台的外侧位置固定安装有齿条，所述放置台的外表面连接有电动机，所述电动机的输出端连接有齿轮，所述齿轮与齿条相互啮合，所述放置台的上表面连接有压紧机构。优选的，所述吹风装置由吹风机、吹风管、连接管、均流管和电热丝，所述吹风机固定安装在氧化处理箱的顶部，所述吹风管的一端与吹风机相连，且吹风管的另一端延伸至氧化处理箱的内部，所述连接管固定于吹风管的另一端，所述均流管均匀的分布在连接管的底部，所述电热丝设置于氧化处理箱的内部，吹风装置能够均匀的向半导体材料表面吹送热风，从而能够提高半导体材料氧化的工作效率。优选的，所述吹风管与氧化处理箱之间设有密封垫，密封垫能够增加吹风管与氧化处理箱之间的密封性。优选的，所述压紧机构由L型座、压紧柱、压紧块和复位弹簧组成，所述L型座固定于放置台的上表面，所述压紧柱贯穿于L型座的顶部，所述压紧块固定于压紧柱的底端，所述复位弹簧的一端固定于压紧块的外表面，且复位弹簧的另一端固定于L型座的外表面，压紧机构能够对半导体材料进行压紧，从而能够提高半导体材料放置的相对稳定性。优选的，所述压紧块通过压紧柱和复位弹簧与L型座活动连接。优选的，所述放置台通过滑块在滑槽内滑动与工作台活动连接。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：该半导体材料氧化处理设备，通过设置的吹风装置，能够均匀的向半导体材料表面吹送热风，从而能够提高半导体材料氧化的工作效率，通过设置的压紧机构，能够对半导体材料进行压紧，从而能够提高半导体材料放置的相对稳定性。附图说明图1为本技术一种半导体材料氧化处理设备的整体结构示意图；图2为本技术一种半导体材料氧化处理设备的工作台和放置台的侧视图；图3为本技术一种半导体材料氧化处理设备的氧化处理箱的内部结构示意图；图4为本技术一种半导体材料氧化处理设备的压紧机构的结构示意图。图中：1、工作台；2、支撑脚；3、收纳箱；4、氧化处理箱；5、吹风装置；501、吹风机；502、吹风管；503、连接管；504、均流管；505、电热丝；6、放置台；7、滑块；8、滑槽；9、齿条；10、电动机；11、齿轮；12、压紧机构；1201、L型座；1202、压紧柱；1203、压紧块；1204、复位弹簧。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1-4所示，一种半导体材料氧化处理设备，包括工作台1，工作台1的下表面靠近两侧位置均固定安装有支撑脚2，且工作台1的下表面靠近中间位置连接有收纳箱3，工作台1的上表面靠近中间位置固定安装有氧化处理箱4，氧化处理箱4的顶部连接有吹风装置5，工作台1的上表面支撑有放置台6，放置台6的下表面固定安装有滑块7，工作台1的上表面开设有与滑块7相匹配的滑槽8，且工作台1的上表面靠近放置台6的外侧位置固定安装有齿条9，放置台6的外表面连接有电动机10，电动机10的输出端连接有齿轮11，齿轮11与齿条9相互啮合，放置台6的上表面连接有压紧机构12；吹风装置5由吹风机501、吹风管502、连接管503、均流管504和电热丝505，吹风机501固定安装在氧化处理箱4的顶部，吹风管502的一端与吹风机501相连，且吹风管502的另一端延伸至氧化处理箱4的内部，连接管503固定于吹风管502的另一端，均流管504均匀的分布在连接管503的底部，电热丝505设置于氧化处理箱4的内部；吹风管502与氧化处理箱4之间设有密封垫；压紧机构12由L型座1201、压紧柱1202、压紧块1203和复位弹簧1204组成，L型座1201固定于放置台6的上表面，压紧柱1202贯穿于L型座1201的顶部，压紧块1203固定于压紧柱1202的底端，复位弹簧1204的一端固定于压紧块1203的外表面，且复位弹簧1204的另一端固定于L型座1201的外表面；压紧块1203通过压紧柱1202和复位弹簧1204与L型座1201活动连接；放置台6通过滑块7在滑槽8内滑动与工作台1活动连接。需要说明的是，本技术为一种半导体材料氧化处理设备，在使用时，工作台1和氧化处理箱4构成了整个半导体材料氧化处理设备的主体部分，支撑脚2对整个设备进行支撑，收纳箱3能够对辅助工具进行收纳，将半导体材料放到放置台6上，压紧块1203通过压紧柱1202和复位弹簧1204与L型座1201相对活动，能够对半导体材料进行压紧，从而能够提高半导体材料放置的相对稳定性，启动电动机10，电动机10带动齿轮11转动，齿轮11与齿条9相互啮合为放置台6的活动提供动力，放置台6通过滑块7在滑槽8内滑动与工作台1相对活动，放置台6移动至氧化处理箱4的内部，实现对半导体材料进行氧化处理，启动吹风机501，吹风机501通过吹风管502、连接管503、均流管504和电热丝本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体材料氧化处理设备，其特征在于：包括工作台（1），所述工作台（1）的下表面靠近两侧位置均固定安装有支撑脚（2），且工作台（1）的下表面靠近中间位置连接有收纳箱（3），所述工作台（1）的上表面靠近中间位置固定安装有氧化处理箱（4），所述氧化处理箱（4）的顶部连接有吹风装置（5），所述工作台（1）的上表面支撑有放置台（6），所述放置台（6）的下表面固定安装有滑块（7），所述工作台（1）的上表面开设有与滑块（7）相匹配的滑槽（8），且工作台（1）的上表面靠近放置台（6）的外侧位置固定安装有齿条（9），所述放置台（6）的外表面连接有电动机（10），所述电动机（10）的输出端连接有齿轮（11），所述齿轮（11）与齿条（9）相互啮合，所述放置台（6）的上表面连接有压紧机构（12）。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料氧化处理设备，其特征在于：包括工作台（1），所述工作台（1）的下表面靠近两侧位置均固定安装有支撑脚（2），且工作台（1）的下表面靠近中间位置连接有收纳箱（3），所述工作台（1）的上表面靠近中间位置固定安装有氧化处理箱（4），所述氧化处理箱（4）的顶部连接有吹风装置（5），所述工作台（1）的上表面支撑有放置台（6），所述放置台（6）的下表面固定安装有滑块（7），所述工作台（1）的上表面开设有与滑块（7）相匹配的滑槽（8），且工作台（1）的上表面靠近放置台（6）的外侧位置固定安装有齿条（9），所述放置台（6）的外表面连接有电动机（10），所述电动机（10）的输出端连接有齿轮（11），所述齿轮（11）与齿条（9）相互啮合，所述放置台（6）的上表面连接有压紧机构（12）。


2.根据权利要求1所述的一种半导体材料氧化处理设备，其特征在于：所述吹风装置（5）由吹风机（501）、吹风管（502）、连接管（503）、均流管（504）和电热丝（505），所述吹风机（501）固定安装在氧化处理箱（4）的顶部，所述吹风管（502）的一端与吹风机（501）相连，且吹风管（502）的另一端延伸至氧化处理箱（4）的内部，所述连接管（503）固定于吹风管（50...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文章，
申请(专利权)人：任森江，
类型：新型
国别省市：福建;35