卡盘工作台倾斜度调整机构制造技术

提供卡盘工作台倾斜度调整机构，高效且可靠地调整卡盘工作台的倾斜度。其配设在加工装置中，调整保持面相对于加工面的平行度，该加工装置包含具有保持被加工物的保持面的卡盘工作台和具有对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的加工面的加工单元，卡盘工作台倾斜度调整机构具有：至少3个支承柱，它们对卡盘工作台进行支承，包含至少1个能够伸缩的伸缩支承柱，伸缩支承柱配设有层叠了压电元件的压电致动器；直流电源，其与压电致动器连接；以及电压控制部，其控制提供给压电致动器的直流电压值，卡盘工作台的倾斜度调整机构将被电压控制部控制的直流电压值的直流电力提供给压电致动器，控制伸缩支承柱的长度而调整保持面相对于加工面的平行度。

【技术实现步骤摘要】
卡盘工作台倾斜度调整机构
本专利技术涉及由压电致动器构成的卡盘工作台倾斜度调整机构。
技术介绍
使用磨削磨具对被加工物进行磨削加工的磨削装置具有卡盘工作台，该卡盘工作台具有对被加工物进行保持的保持面。并且，如专利文献1所公开的那样，磨削装置具有调整轴，该调整轴使卡盘工作台倾斜以使保持面与磨削磨具的加工面平行。调整轴配设在以保持面的中心为重心的正三角形的顶点。上述专利文献1所公开的调整轴具有螺纹轴和电动机，使用电动机使螺纹轴旋转以变更卡盘工作台的倾斜度。螺纹轴可旋转地配设在旋转工作台的下方，并且，螺纹轴的下端与电动机连结，在卡盘工作台上配设有供螺纹轴的螺纹部分螺合的螺母。当螺纹轴旋转时，卡盘工作台与旋转工作台的距离发生改变，卡盘工作台的倾斜度发生变更。专利文献1：日本特开1996-090376号公报近年来，随着被加工物增大等，保持被加工物的卡盘工作台也增大，其重量变重。当卡盘工作台的重量较重时，螺纹轴的螺纹摩擦增大，因此存在如下的问题：尽管使螺纹轴以规定的角度旋转，但卡盘工作台的倾斜度不会根据旋转角度而变更规定的量。因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卡盘工作台倾斜度调整机构，其配设在加工装置中，调整保持面相对于加工面的平行度，该加工装置包含：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的该保持面；以及加工单元，其具有对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的该加工面，其中，/n该卡盘工作台倾斜度调整机构具有：/n至少3个支承柱，它们对该卡盘工作台进行支承，并且包含至少1个能够伸缩的伸缩支承柱，该伸缩支承柱配设有层叠了压电元件的压电致动器；/n直流电源，其与该压电致动器连接；以及/n电压控制部，其对提供给该压电致动器的直流电压值进行控制，/n该卡盘工作台倾斜度调整机构将由该电压控制部控制的直流电压值的直流电力提供给该压电致动器，对该伸缩支承柱...

【技术特征摘要】
20190604 JP 2019-1043721.一种卡盘工作台倾斜度调整机构，其配设在加工装置中，调整保持面相对于加工面的平行度，该加工装置包含：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的该保持面；以及加工单元，其具有对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的该加工面，其中，
该卡盘工作台倾斜度调整机构具有：
至少3个支承柱，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山中聪，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP