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提供卡盘工作台倾斜度调整机构，高效且可靠地调整卡盘工作台的倾斜度。其配设在加工装置中，调整保持面相对于加工面的平行度，该加工装置包含具有保持被加工物的保持面的卡盘工作台和具有对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的加工面的加工单元，卡盘工作台...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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