基板支架及包括该支架的基板支撑装置制造方法及图纸

公开了一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置。根据一个实施例的基板支架可包括：旋转部，其以旋转轴为中心旋转；支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。

【技术实现步骤摘要】
基板支架及包括该支架的基板支撑装置
以下的说明涉及一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置。
技术介绍
通过在晶片等的基板上进行蒸镀工艺、照片工艺、蚀刻工艺等很多的工艺制造半导体元件。半导体制造的工艺要求去除基板上残留的不必要的薄膜、粒子等异物的清洗工艺。尤其，进行化学机械研磨工艺的基板在表面残留很多异物，因此要求用于残留异物的多个清洗工艺。在基板的清洗工艺中，基板支撑装置支撑基板的边缘，从而使基板旋转。在旋转的基板表面喷射洗涤液，喷射出的洗涤液通过根据基板旋转的离心力从基板表面喷射。另外，基板通过基板支架得以支撑，基板支架通过中心轴得以旋转，在旋转过程中坚固地维持设定位置的同时，为了防止由于冲击造成的基板损伤，支架包括多种材料。以往，与旋转轴连接的部位由具有高硬度的材料形成，与基板接触的部位由相对地硬度低且摩擦力高的材料形成，各部位互相连接从而形成基板支架。但是，当连接材料不同的多个部件时，问题在于，在旋转过程中由于冲击，各部件的连接状态被解除，从而基板的旋转速度不均一，基板的清洗效率低下。作为前述的
技术介绍
而说明的内容是专利技术人在本技术的导出过程中所拥有或掌握的，不能认定为是在本技术申请之前向普通公众公开的公知技术。
技术实现思路
根据一个实施例的目的在于，提供一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置，通过增加支撑部及旋转部的接触面积，有效地防止在旋转过程中支撑部及旋转部分离。根据一个实施例的目的在于，提供一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置，通过第一紧固连接部及第二紧固连接部的紧固连接，确保沿水平方向的摇动功能和沿竖直方向的摇动功能。根据一个实施例的基板支架，可包括：旋转部，其以旋转轴为中心旋转；支撑部，其以包裹在所述旋转部的外周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。另一方面，所述旋转部包括外面互相有段差的下部部分和上部部分，所述下部部分及上部部分之间可形成有段差面。另一方面，以与所述旋转轴平行的截面为基准，所述下部部分及上部部分的外面与所述旋转轴平行，所述段差面可与所述旋转轴垂直。另一方面，所述第一紧固连接部形成于所述段差面，所述第二紧固连接部可形成于对于所述段差面的所述支撑部的接触部位。另一方面，所述第一连接部形成于所述下部部分或上部部分的外面，可在对于形成有所述第一紧固连接部的所述旋转部的所述支撑部的接触部位形成。另一方面，所述第一紧固连接部及第二紧固连接部中一个包括在所述旋转部及支撑部的接触部位凸出形成的凸出部件，另一个可包括在所述接触部位凹陷形成的收容槽，以便收容所述凸出部件。另一方面，所述凸出部件分别形成于所述下部部分或上部部分的外侧面和所述段差面，所述收容槽可分别形成于与所述各个凸出部件所形成的所述旋转部的外面接触的所述支撑部的接触部位。另一方面，在所述旋转部及支撑部的接触部位涂布粘合剂，可在所述收容槽收容所述粘合剂。另一方面，以从上部观看的状态为基准，所述凸出部件及收容槽可以是环形。另一方面，在所述支撑部的外面可形成有供所述基板的边缘安装的安装槽。另一方面，所述旋转部包括第一材料，所述支撑部可包括比第一材料硬度低的第二材料。根据一个实施例的基板支撑装置，包括多个基板支架，所述多个基板支架分别支撑基板边缘的多个部位，可通过以相同的速度旋转而使所述基板旋转。根据一个实施例的基板支架及包括该支架的基板支撑装置，可通过增加支撑部及旋转部的接触面积，有效地防止在旋转过程中支撑部及旋转部分离。根据一个实施例的基板支架及包括该支架的基板支撑装置，可通过第一紧固连接部及第二紧固连接部的紧固连接，确保沿水平方向的摇动功能和沿竖直方向的摇动功能。根据一个实施例的基板支架及包括该支架的基板支撑装置的效果不限定于以上提及的效果，未提及的其他效果可通过下面的记载被一般的技术人员明确地理解。附图说明本说明书中附上的下图例示本技术的优选的一个实施例，同本技术的详细的说明一起发挥有助于进一步理解本技术的技术思想的作用，因此不应解释为本技术仅限定于这样的附图所记载的事项。图1是根据一个实施例的基板支撑装置的立体图。图2是根据一个实施例的基板支撑装置的平面图。图3是根据一个实施例的基板支架的立体图。图4是根据一个实施例的基板支架的截面图。图5是根据一个实施例的基板支架的截面图。图6是根据一个实施例的基板支架的截面图。图7是根据一个实施例的基板支架的截面图。图8是根据一个实施例的基板支架的截面图。标号说明W：基板1：基板支撑装置10：基板支架100：旋转部110：支撑部具体实施方式以下，通过例示的附图对实施例进行详细地说明。当在各附图的构成要素上附加参照标号时，应留意对于相同的构成要素即使标记在其他附图上也尽可能具有相同的标号。此外，就说明实施例而言，对于相关公知构成或功能的具体的说明，如果判断为妨害对于实施例的理解，则省略其详细的说明。此外，就说明实施例的构成要素而言，可使用第一、第二、A、B、a、b等用语。这样的用语仅用于区分该构成要素与其他的构成要素，通过该用语不限定该构成要素的本质或次序或顺序。当记载某个构成要素与其他构成要素“连接”、“结合”或“接合”时，该构成要素可以与其他构成要素直接地连接或接合，但应理解为也可以在各构成要素之间与另一个构成要素“连接”、“结合”或“接合”。在某一个实施例中包含的构成要素和包括共同的功能的构成要素，在其他的实施例中使用相同的名称而进行说明。除非有相反的记载，在任意一个实施例中记载的说明也可适用于其他的实施例，在重复的范围内省略详细的说明。图1是根据一个实施例的基板支撑装置的立体图，图2是根据一个实施例的基板支撑装置的平面图。参照图1及图2，根据一个实施例的基板支撑装置1为了基板W的清洗工艺可支撑基板W。基板支撑装置1在维持基板W的位置的状态下，可使得基板W旋转。在被基板支撑装置1支撑的基板W的表面，可供给用于去除残留异物的洗涤液、药液等。被基板支撑装置1支撑的基板W可以是成为半导体基板W的硅晶圆(Siliconwafer)。但是，基板W的种类并非限定于此，基板W可以是类似液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)或等离子显示板(plasmadisplaypanel，PFD)的平板显示器(FlatPanelDisplay，FPD)装置用的玻璃基板W。基板W具有圆形的形态，其大小可根据适用目的，从小型到大型多样地形成。基板支撑装置1可包括多个基板支架10。各个基板支架10可支撑基板W的边缘的多个部位。附图中图示了基板支撑装置1包括了4个的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板支架，包括：/n旋转部，其以旋转轴为中心旋转；/n支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；/n第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。/n

【技术特征摘要】
20190614 KR 10-2019-00707661.一种基板支架，包括：
旋转部，其以旋转轴为中心旋转；
支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；
第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。


2.根据权利要求1所述的基板支架，
所述旋转部包括外面互相段差的下部部分和上部部分，所述下部部分及上部部分之间形成有段差面。


3.根据权利要求2所述的基板支架，
以与所述旋转轴平行的截面为基准，
所述下部部分及上部部分的外面与所述旋转轴平行，
所述段差面可与所述旋转轴垂直。


4.根据权利要求2所述的基板支架，
所述第一紧固连接部形成于所述段差面，所述第二紧固连接部形成于对于所述段差面的所述支撑部的接触部位。


5.根据权利要求2所述的基板支架，
所述第一紧固连接部形成于所述下部部分或上部部分的外面，在对于形成有所述第一紧固连接部的所述旋转部的所述支撑部的接触部位形成。


6....

【专利技术属性】
技术研发人员：申寅澈，金贤五，
申请(专利权)人：凯斯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国;KR